本发明公开了一种管式PECVD设备的抓舟倾斜后报警结构，包括：底板、龙门架、两组微动开关、转接块以及两组用于触发微动开关的触发机构，龙门架的顶部支撑板上设置有轴承座，轴承座内设置有转动轴，转动轴的两端与所述转接块相连接，触发机构包括贯穿...

本实用新型公开了一种舟载盘进出料防偏移卡顿机构，包括：用于承载舟载盘的舟载盘框架，舟载盘框架的前后两端设置有轴承安装座，轴承安装座上设置有防偏移机构以减少与输送线两侧限位挡板内表面的摩擦力，防偏移机构为设置于轴承安装座两端上的防偏移轴承...

本实用新型公开了一种应用于加热炉支护调节机构，包括：支护调节机构及加热炉本体，其中，支护调节机构包括：支护座

本实用新型公开了一种碳化硅桨调节装置，包括：推舟桨、回转调节机构及水平调节机构，水平调节机构包括左支架连接板、右支架连接板、滑动板、水平安装板及拉块，水平安装板的前后两侧分别设置有前加强板、后加强板，后加强板上设置有驱动推舟桨上、下摆动...

本实用新型公开了一种尾气冷却装置，包括：石英反应管、与石英反应管相连接的冷却机构以及与冷却机构相连接的真空泵，冷却机构包括冷却箱体以及设置于冷却箱体内的冷却组件，冷却箱体的上端设置有冷却介质注入口，冷却箱体的下端设置有冷却介质出口，冷却...

本发明实施例提供了一种钝化接触结构及其制备方法、太阳电池，其中所述钝化接触结构包括：第一多晶层，所述第一多晶层包括多晶硅或多晶硅化物；第二多晶层，形成在所述第一多晶层上，所述第二多晶层为掺杂多晶硅层；其中，所述第一多晶层的成膜质量优于所...

本发明实施例提供了一种形成氮化物薄膜的方法、太阳电池制备方法和等离子体处理设备，其中所述形成氮化硅薄膜的方法，包括：向处理腔室通入处理气体，所述处理气体包括含氮气体；使所述处理腔室内的所述含氮气体等离子体离化，从而使得所述处理腔室内的硅...

本实用新型公开了一种适用于氢燃料电池设备的堆叠取放料夹具，包括：取放料夹爪组件、安装连接与位置检测组件、真空吸附组件以及浮动吸附导向组件，安装连接与位置检测组件包括第一安装连接板、设置于第一安装连接板上的第二安装连接板以及用于检测真空吸...

本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的送舟设备组件，包括：上机架以及下机架，上机架内设置有上送舟模组，下机架内设置有下送舟模组，上送舟模组与下送舟模组的结构相同，包括：升降主动模组、升降从动模组、送舟左右运动组件以及承载石墨舟的碳化...

本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的真空抽口匀流板机构，包括：反应室、匀流板机构、设置于反应室尾部的抽气口及设置于反应室头部的进气口，匀流板机构设置于反应室尾口且位于所述抽气口的内侧，其包括：匀流板安装钣金、法兰、第一匀流板及...

本实用新型公开了一种适用多合一镀膜的炉体结构，包括：加热炉体以及环绕设置于加热炉体内的多组炉丝，炉丝通过限位机构设置于加热炉体内，所述限位机构包括陶瓷绝缘子、穿丝杆以及穿丝杆支撑环，穿丝杆支撑环包括两组且分别设置于加热炉体的两端，陶瓷绝...

本实用新型公开了一种适用于氢燃料电池电堆堆叠及定位的机构，包括：内定位杆组、外定位杆组、电池底板、预压机构、上插杆导向机构、下插杆导向机构、螺杆夹持机构以及螺杆下挡板机构；电池底板用于承载堆叠完成的电池电堆，内定位杆组与外定位杆组相配合...

本实用新型公开了一种适用于氢燃料电池设备的自动螺杆上料机构，包括：底板、设置于底板上的错位滑动机构、螺杆旋转机构及螺杆料盒，错位滑动机构包括设置于底板上的两条滑轨及错位气缸，所述滑轨上方设置有错位出料板，错位气缸可带动错位出料板沿滑轨往...

本发明实施例提供了一种半导体处理设备，包括：至少一个第一电极片；至少一个第二电极片，所述第二电极片与所述第一电极片交替设置，且与所述第一电极片之间保持间距；第一固定部，用于固定所述第一电极片，且与所述第二电极片保持间距；第二固定部，用于...

本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构，包括：旋转驱动器；连杆模组，其与所述旋转驱动器的动力输出端传动连接；以及炉门组件，其与所述开合驱动器的动力输出端传动连接；其中，所述旋转驱动器通过所述连杆模组驱动所述炉门组...

本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的炉门缓冲机构，包括：驱动模组；转接模组，其与所述驱动模组传动连接；以及炉门模组，其与所述转接模组固定连接；其中，所述炉门模组包括：炉门；以及支架，其固定安装于所述炉门的前端；所述炉门与所述支...

本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的臭氧输送及喷淋双层石英管道，包括：内部中空的管体，所述管体包括：内部中空的外管；以及内部中空的内管，所述内管设于所述外管内部；所述外管与所述内管之间限定出氮气通道，所述内管内部设有臭氧通道，所述...

本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的炉体防窜动加固机构，包括：炉体；以及至少两个密封法兰，两所述密封法兰分别设置于所述炉体沿左右方向两侧；其中，所述炉体与所述密封法兰之间设有防窜动模组。根据本实用新型，其通过在炉体与所述密封法...

本发明实施例提供了一种间歇等离子体氧化方法、TOPCon太阳电池的制备方法、间歇等离子体氧化装置及计算机可读存储介质，其中所述间歇等离子体氧化方法包括：通过激发信号使得等离子体处理腔室内的处理气体等离子体离化，从而使得所述处理腔室内的待...

本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的气态三甲基铝冷热分离尾气处理机构，包括：底座；内部中空的筒体，其安装于所述底座的顶端；以及盖板，其安装于所述筒体的顶端；其中，所述底座、所述筒体及所述盖板之间限定出一反应腔体；所述筒体内部的设有...