一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构，包括：旋转驱动器；连杆模组，其与所述旋转驱动器的动力输出端传动连接；以及炉门组件，其与所述开合驱动器的动力输出端传动连接；其中，所述旋转驱动器通过所述连杆模组驱动所述炉门组件转动。根据本实用新型专利技术，其通过开合驱动器驱动炉门组件沿X轴方向往复运动，通过旋转驱动器驱动炉门组件转动，以进行炉门的开启及关闭，减小了机台的占地空间，同时以减少旋转驱动器及开合驱动器驱动炉门活动时产生的冲击力，使得炉门得到较好的缓冲，增强了结构的可靠性，从而大大提高了设备的稳定性及便捷性。设备的稳定性及便捷性。设备的稳定性及便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构


[0001]本技术涉及管式PECVD设备领域。更具体地说，本技术涉及一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构。

技术介绍

[0002]在管式PECVD设备领域中，采用不同结构形式的炉门开合机构来实现炉门的开合是众所周知的。在研究和实现炉门的开合的过程中，专利技术人发现现有技术中的炉门开合机构至少存在如下问题：
[0003]首先，现有的炉门开启方式均为驱动炉门分别沿横向及纵向活动进行炉门的开启及关闭，此种方式机台占地空间较大；其次，现有的炉门开合机构稳定性较差，不能够降低炉门开合时产生的冲击力，使得炉门产生损伤。
[0004]有鉴于此，实有必要开发一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构，用以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的不足之处，本技术的主要目的是，提供一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构，其通过开合驱动器驱动炉门组件沿X轴方向往复运动，通过旋转驱动器驱动炉门组件转动，以进行炉门的开启及关闭，减小了机台的占地空间，同本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构，其特征在于，包括：旋转驱动器(11)；连杆模组(12)，其与所述旋转驱动器(11)的动力输出端传动连接；以及炉门组件(14)，其与所述开合驱动器(14)的动力输出端传动连接；其中，所述旋转驱动器(11)通过所述连杆模组(12)驱动所述炉门组件(14)转动。2.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构，其特征在于，所述连杆模组(12)包括：转接板(121)，其与所述旋转驱动器(11)的动力输出端传动连接；以及长臂板(122)，其包括：铰接部(1221)及与所述铰接部(1221)一体成型的固定部(1222)；其中，所述铰接部(1221)与所述转接板(121)相铰接。3.如权利要求2所述的适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构，其特征在于，所述转接板(121)的表面开设有第一铰接孔(1231)，所述铰接部(1221)的表面开设有第二铰接孔(1222)，所述转接板(121)与所述铰接部(1221)之间通过第一铰接孔(1231)、第二铰接孔(1223)及铰接轴(123)之间的配合相铰接。4.如权利要求2所述的适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构，其特征在于，还包括：开合驱动器(13)，其固定安装于所述固定部(1222)的表面，且所述开合驱动器(13)的动力输出端与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：仲冕，谢利华，杨演春，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：