护罩组件和气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术提出了一种护罩组件和气相沉积设备，其中，护罩组件包括：至少一个护罩，护罩包括相连接的罩体和第一延伸部，第一延伸部设置在罩体的一侧，第一延伸部背离罩体的一侧设置有第一凸沿，第一凸沿位于第一延伸部的下方；第一固定件，第一固定件设于第一延伸部的下方，第一固定件至少部分位于罩体和第一凸沿之间；第二固定件，罩体的底部放置于第二固定件。本实用新型专利技术提出的护罩组件，罩体可以通过第一延伸部和第一凸沿挂在第一固定件上，罩体的底部放置在第二固定件上，从而实现对护罩的固定，降低护罩倾斜的可能性，并且，在安装时，可以直接将护罩挂在第一固定件上，进而降低安装难度，提升装配效率。提升装配效率。提升装配效率。

【技术实现步骤摘要】
护罩组件和气相沉积设备


[0001]本技术涉及等离子体增强化学气相沉积设备
，具体而言涉及一种护罩组件和一种气相沉积设备。

技术介绍

[0002]等离子体增强化学气相沉积设备，需要对设备进行外观美化及防护，进而在设备上需要添加前护罩，在相关技术中，通常采用磁吸式护罩，但是，由于护罩的体积较大，重量较大，因此，磁吸式护罩容易倾斜，从而影响设备的美观性和安全性。

技术实现思路

[0003]本技术旨在解决或改善现有技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本技术的第一方面提出了一种护罩组件。
[0005]本技术的第二方面提出了一种气相沉积设备。
[0006]有鉴于此，根据本技术的第一方面，本技术提出了一种护罩组件，包括：至少一个护罩，护罩包括相连接的罩体和第一延伸部，第一延伸部设置在罩体的一侧，第一延伸部背离罩体的一侧设置有第一凸沿，第一凸沿位于第一延伸部的下方；第一固定件，第一固定件设于第一延伸部的下方，第一固定件至少部分位于罩体和第一凸沿之间；第二固定件，罩体的底部放置于第二固定件。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种护罩组件，其特征在于，包括：至少一个护罩，所述护罩包括相连接的罩体和第一延伸部，所述第一延伸部设置在所述罩体的一侧，所述第一延伸部背离所述罩体的一侧设置有第一凸沿，所述第一凸沿位于所述第一延伸部的下方；第一固定件，所述第一固定件设于所述第一延伸部的下方，所述第一固定件至少部分位于所述罩体和所述第一凸沿之间；第二固定件，所述罩体的底部放置于所述第二固定件。2.根据权利要求1所述的护罩组件，其特征在于，还包括：第三固定件，位于所述第二固定件的一侧，所述罩体设置在所述第三固定件和所述第二固定件之间。3.根据权利要求2所述的护罩组件，其特征在于，所述第一固定件设置有至少一个第一连接部，所述第一连接部用于所述第一固定件的固定；所述第二固定件设置有至少一个第二连接部，所述第二连接部用于所述第二固定件的固定；所述第三固定件设置有至少一个第三连接部，所述第三连接部用于所述第三固定件的固定。4.根据权利要求3所述的护罩组件，其特征在于，所述第一连接部为第一连接孔；所述第二连接部为第二连接孔，所述第二连接孔的长度大于宽度；所述第三连接部为第三连接孔，其中，由所述罩体的顶部到底部的方向为所述第二连接孔的长度方向。5.根据权利要求1至4中任一项所述的护罩组件，其特征在于，所述第一固定件为折弯结构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，梁建军，芦伟，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：