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本实用新型提出了一种护罩组件和气相沉积设备,其中,护罩组件包括:至少一个护罩,护罩包括相连接的罩体和第一延伸部,第一延伸部设置在罩体的一侧,第一延伸部背离罩体的一侧设置有第一凸沿,第一凸沿位于第一延伸部的下方;第一固定件,第一固定件设于第一...该专利属于常州捷佳创精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州捷佳创精密机械有限公司授权不得商用。
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本实用新型提出了一种护罩组件和气相沉积设备,其中,护罩组件包括:至少一个护罩,护罩包括相连接的罩体和第一延伸部,第一延伸部设置在罩体的一侧,第一延伸部背离罩体的一侧设置有第一凸沿,第一凸沿位于第一延伸部的下方;第一固定件,第一固定件设于第一...