用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，涉及perc电池加工技术领域，其结构包括覆膜系统，覆膜系统包括布置有反应腔的容器、布置在反应腔内部的镀膜组件、开设在容器表面的至少一个第一豁口和与第一豁口对应设置的可以开关闭合的观察窗；架体，架体包括柱体和在柱体表面布置的至少一个沿柱体侧边设置的凸起，凸起开设有多个豁槽，硅片放置在凸起位置处；轨迹系统包括在第一豁口二侧布置的第一轨道和第二轨道，第一轨道在反应腔外部设置，第二轨道在反应腔内部设置；载具布置为沿轨迹系统移动往返于架体和反应腔外部空间之间，相比于现有技术，本实用新型专利技术可以通过快速的将硅片放置在设备内进行覆膜，覆膜效率高，减轻工作人员负担。减轻工作人员负担。减轻工作人员负担。

【技术实现步骤摘要】
用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机


[0001]本技术涉及perc电池加工
，尤其涉及到用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机。

技术介绍

[0002]为了提高光伏晶硅电池光电转换效率和使用寿命，提高光伏电池的光吸收率，在光伏晶硅电池表面制备减反射薄膜主要采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)，同时还起到体钝化和面钝化作用，降低光伏电池组件的衰减速度，等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)是制备薄膜材料的几种方法中技术最为成熟、操作较为简单的一种，联续自动化生产，现阶段的覆膜方式有时需要人工将硅片放置在设备内部进行覆膜，影响覆膜的效率且加重工作人员的负担。
[0003]为此，本技术公开了用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，相比于现有技术，本技术可以通过快速的将硅片放置在设备内进行覆膜，覆膜效率高，减轻工作人员负担。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供了用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，相比于现有技术，本技术可以通过快速的将硅片放置在设备内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，其特征在于，包括：覆膜系统(1)，所述覆膜系统(1)包括布置有反应腔的容器(11)、布置在反应腔内部的镀膜组件、开设在容器(11)表面的至少一个第一豁口和与第一豁口对应设置的可以开关闭合的观察窗(12)；架体(2)，所述架体(2)包括柱体(22)和在柱体(22)表面布置的至少一个沿柱体(22)侧边设置的凸起(23)，所述凸起(23)开设有多个豁槽，硅片放置在凸起(23)位置处，硅片与所述豁槽对应设置；轨迹系统(3)，所述轨迹系统(3)包括在第一豁口二侧布置的第一轨道(31)和第二轨道(32)，第一轨道(31)在反应腔外部设置，第二轨道(32)在反应腔内部设置；载具(4)，布置为沿所述轨迹系统(3)移动往返于架体(2)和反应腔外部空间之间，所述载具(4)包括移动部件、在移动部件上设置的升降组件(43)和连接所述升降组件(43)的板体(44)；其中，所述升降组件(43)带动所述板体(44)运动，板体(44)与凸起(23)的数目相同，当板体(44)运动到架体(2)位置处时，所述板体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：何飞，蔡鹏，李亚楠，
申请(专利权)人：江苏宏润光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：