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本实用新型公开了用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，涉及perc电池加工技术领域，其结构包括覆膜系统，覆膜系统包括布置有反应腔的容器、布置在反应腔内部的镀膜组件、开设在容器表面的至少一个第一豁口和与第一豁口对应设置的可以开关闭合的...
该专利属于江苏宏润光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宏润光电科技有限公司授权不得商用。

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