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本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构，包括：旋转驱动器；连杆模组，其与所述旋转驱动器的动力输出端传动连接；以及炉门组件，其与所述开合驱动器的动力输出端传动连接；其中，所述旋转驱动器通过所述连杆模组驱动所述炉门组件转...
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