本实用新型专利技术公开了一种尾气冷却装置，包括：石英反应管、与石英反应管相连接的冷却机构以及与冷却机构相连接的真空泵，冷却机构包括冷却箱体以及设置于冷却箱体内的冷却组件，冷却箱体的上端设置有冷却介质注入口，冷却箱体的下端设置有冷却介质出口，冷却组件为设置于冷却箱体内部的螺旋金属管，螺旋金属管的输入端与石英反应管的输出端相连接，螺旋金属管的输出端与真空泵的输入端相连接，冷却介质注入口将恒温冷却介质注入冷却箱体内对进入螺旋金属管内的尾气进行冷却降温，本实用新型专利技术的尾气冷却装置，结构简单，可以延长真空泵及螺旋管的使用寿命，降低真空泵的维护频次及附件的安装难度。的安装难度。的安装难度。
【技术实现步骤摘要】
一种尾气冷却装置
[0001]本技术涉及泛半导体及光伏行业的
，特别是涉及一种尾气冷却装置。
技术介绍
[0002]目前太阳能电池制造技术日趋完善，已经大规模的应用于各个领域，目前国内外太阳能电池片生产所用工艺炉尾部设置有尾气冷却装置，在工艺过程中，为了使石英反应管内形成负压环境需要通过真空泵增加尾部排风（即往石英管外抽气），并配备压力调节器，使得反应管内形成特定的负压环境，真空泵为尾气处理装置中的关键部件，由于反应气体刚导出石英反应管时温度很高，尾气直接进入真空泵很容易造成真空泵内零部件的损坏，从而影响真空泵的使用寿命，严重时会损坏真空泵。
[0003]目前主流使用的为螺旋冷却器及轴流式散热风扇对尾气进行冷却处理，但是由于螺旋冷却器本身冷却通道长度有限，冷却效果也未能达到最佳，故对安装及生产环境要求较高，因而在安装及生产使用过程中需要频繁维护真空泵，因此造成较大的大量的人力，物力的浪费，从而降低了企业的生产效率及增加了生产成本。
技术实现思路
[0004]本技术针对现有技术的不足，本技术提供一种尾气冷却装置，结构简单，使用钢制的多圈螺旋管，并使用冷却介质的对螺旋管进行水浴换热，可极大的降低生产过程中的易损件的更换频率。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是一种尾气冷却装置，包括：石英反应管、与石英反应管相连接的冷却机构以及与冷却机构相连接的真空泵，所述冷却机构包括冷却箱体以及设置于冷却箱体内的冷却组件，所述冷却箱体的上端设置有冷却介质注入口，所述冷却箱体的下端设置有冷却介质出口，所述冷却组件为设置于冷却箱体内部的螺旋金属管，所述螺旋金属管的输入端与所述石英反应管的输出端相连接，所述螺旋金属管的输出端与所述真空泵的输入端相连接，所述冷却介质注入口将恒温冷却介质注入所述冷却箱体内对进入所述螺旋金属管内的尾气进行冷却降温。
[0006]在本技术一个较佳实施例中，所述螺旋金属管为钢制多圈螺旋管。
[0007]在本技术一个较佳实施例中，所述螺旋金属管通过两根支撑柱设置于所述冷却箱体内。
[0008]在本技术一个较佳实施例中，所述螺旋金属管的输入端通过第一金属连接器与所述石英反应管的输出端密封连接，所述螺旋金属管的输出端通过第二金属连接器与所述真空泵的输入端密封连接。
[0009]在本技术一个较佳实施例中，所述真空泵的输入端上设置有温度传感器。
[0010]在本技术一个较佳实施例中，所述冷却介质为恒温的冷却水或冷却液。
[0011]本技术的有益效果是：本实用的尾气冷却装置，使用钢制的多圈螺旋管，并使
用冷却介质对螺旋管进行水浴换热，可极大的降低生产过程中易损件的更换频率，使高温尾气能更加快速的冷却，可以延长真空泵的使用寿命，降低真空泵的维护频次及降低附件成本。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
[0013]图1为本技术的结构示意图。
实施方式
[0014]下面将对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]请参阅图1，本技术一种尾气冷却装置，包括：石英反应管1、与石英反应管相连接的冷却机构2以及与冷却机构相连接的真空泵3，冷却机构包括冷却箱体21以及设置于冷却箱体内的冷却组件22，其中，冷却箱体的上端设置有冷却介质注入口4，冷却箱体的下端设置有冷却介质出口5，冷却组件为设置于冷却箱体内部的螺旋金属管，螺旋金属管的输入端通过第一金属连接器6与石英反应管的输出端相连接，螺旋金属管的输出端通过第二金属连接器7与真空泵的输入端相连接，其中，第一金属连接器、第二金属连接器均为现有技术，例如卡箍件，冷却介质注入口将恒温冷却介质注入冷却箱体内对进入螺旋金属管内的尾气进行水浴冷却降温。
[0016]具体的，螺旋金属管为钢制多圈螺旋管，螺旋金属管通过两根支撑柱8设置于冷却箱体内，将钢制多圈螺旋管固定于冷却箱体中，将石英反应管及真空泵通过金属连接器与预留的多圈螺旋管接口进行连接，高温气体通过钢制螺旋管，通过冷却介质注入口将恒温冷却水或冷却液注入冷却箱体对螺旋管内的高温气体进行水浴冷却，从而使进入真空泵的气体由高温转为低温后进入真空泵，不容易造成真空泵内零部件的损坏，可极大的降低生产过程中的易损件的更换频率。
[0017]具体的，真空泵的输入端上设置有温度传感器9，温度传感器监测进入真空泵的气体温度，通过相应后台控制系统(如PID)，以调节注入冷却箱体的冷却介质温度使得高温气体的温度可控。
[0018]本技术的有益效果是：使用钢制的多圈螺旋管，并使用冷却介质对螺旋管进行水浴换热，可极大的降低生产过程中易损件的更换频率，使高温尾气能更加快速的冷却，可以延长真空泵及附件的使用寿命，降低真空泵的维护频次及附件的安装更换频次。
[0019]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种尾气冷却装置，其特征在于，包括：石英反应管、与石英反应管相连接的冷却机构以及与冷却机构相连接的真空泵，所述冷却机构包括冷却箱体以及设置于冷却箱体内的冷却组件，所述冷却箱体的上端设置有冷却介质注入口，所述冷却箱体的下端设置有冷却介质出口，所述冷却组件为设置于冷却箱体内部的螺旋金属管，所述螺旋金属管的输入端与所述石英反应管的输出端相连接，所述螺旋金属管的输出端与所述真空泵的输入端相连接，所述冷却介质注入口将恒温冷却介质注入所述冷却箱体内对进入所述螺旋金属管内的尾气进行冷却降温。2.根据权利要求1所述的一种尾气冷却装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈向阳，吴建芬，张宝锋，王玉明，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。