本实用新型专利技术涉及一种支撑机构，包括至少两个支撑组件及至少两根承载杆。每一承载杆一端沿之套筒的轴向插入对应的套筒内，另一端突出于支撑件远离套筒的一端，也就是说至少两根承载杆沿X方向间隔布设，而所有的承载杆的承载面形成用于承载石墨舟承载位，且每一承载杆相对承载面的配接面支撑于对应的支撑件的支撑面，从而提高对承载杆的支撑能力，进而提高了承载杆自身的承载能力，使得至少两根承载杆能够承载重量重以及尺寸大的石墨舟，提高了加工效率。本实用新型专利技术还涉及推料装置、装载机台及PECVD设备。PECVD设备。PECVD设备。
【技术实现步骤摘要】
支撑机构、推料装置、装载机台及PECVD设备
[0001]本技术涉及光伏生产设备
，特别是涉及一种支撑机构、推料装置、装载机台及PECVD设备。
技术介绍
[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)设备主要用于在硅片上沉积一层减反膜，以提高太阳能电池片的发电效率。
[0003]目前PECVD设备一般是在竖直方向布置多根反应炉管，每根反应炉管对应一套推舟机构，推舟机构用于将机械手输送来的石墨舟推入反应炉管内。但是现有的推舟机构中支撑石墨舟的支撑杆的支撑能力较差，只能支撑重量轻、尺寸小的石墨舟，即每次推入反应炉管内的石墨舟小而轻，导致加工效率低。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对现有的推舟机构中的支撑杆的支撑能力较差的问题，提供一种能够支撑较大重量及尺寸的石墨舟，以提高加工效率的支撑机构、推料装置、装载机台及PECVD设备。
[0005]一种支撑机构，包括：
[0006]至少两组支撑组件，每一所述支撑组件包括套筒及支撑件，至少两个所述套筒沿垂直自身轴向的方向依次间隔设置且彼此固定，每一所述支撑组件中的所述支撑件沿所述套筒的轴向与所述套筒刚性连接，且每一所述支撑件具有朝向同一侧的支撑面；及
[0007]至少两根承载杆每一所述承载杆一端沿所述套筒的轴向插入对应的所述套筒内，另一端突出于所述支撑件远离所述套筒的一端，每一所述承载杆具有支撑于所述支撑面的配接面以及与所述配接面相对的承载面，所有的所述承载杆的所述承载面形成支撑石墨舟的承载位。
[0008]每一承载杆一端沿之套筒的轴向插入对应的套筒内，另一端突出于支撑件远离套筒的一端，也就是说至少两根承载杆沿X方向间隔布设，而所有的承载杆的承载面形成用于承载石墨舟承载位，且每一承载杆相对承载面的配接面支撑于对应的支撑件的支撑面，从而提高对承载杆的支撑能力。
[0009]相较于传统的支撑石墨舟的支撑杆，上述的支撑机构中的承载杆一端插入套筒内固定，而伸出套筒的部分可通过支撑件的支撑面进行支撑，从而提高了对承载杆的支撑能力，进而提高了承载杆自身的承载能力，使得至少两根承载杆能够承载重量重以及尺寸大的石墨舟，提高了加工效率。
[0010]在其中一个实施例中，所述支撑机构还包括中间杆，所述中间杆设置于相邻的两组所述支撑组件之间，且沿所述套筒的轴向纵长延伸，所述中间杆一端与相邻的两个所述套筒固定连接，另一端与相邻的两根所述承载杆固定连接。
[0011]在其中一个实施例中，所述支撑机构还包括至少两个紧固件，至少两个所述紧固
件的其中一部分连接于所述中间杆与相邻的两个所述套筒，至少两个所述紧固件的其中另一部分连接于所述中间杆有相邻的两根所述承载杆。
[0012]在其中一个实施例中，所述支撑机构还包括二力杆组件，所述二力杆组件设置于相邻的两组所述支撑组件之间，且所述二力杆组件与相邻的两个所述套筒固定连接，所述二力杆组件具有支撑端，所述支撑端用于支撑与所述二力杆组件相邻的两根所述承载杆。
[0013]在其中一个实施例中，所述二力杆组件包括连接板、支撑块、撑杆及拉杆，所述连接板同时与相邻的两个所述套筒固定连接，所述支撑块与所述连接板沿所述套筒的轴向间隔排布，且所述支撑块具有所述支撑端，所述撑杆沿所述套筒的轴向纵长延伸，且两端分别于所述连接板及所述支撑块连接，所述拉杆沿与至少两个所述套筒的排列方向垂直且与所述套筒的轴向呈角度的方向纵长延伸，所述拉杆的两端分别与所述连接板及所述支撑块连接。
[0014]在其中一个实施例中，所述支撑机构还包括连接盘，至少两个所述套筒的一端均固定连接于所述连接盘的同一侧，每一所述支撑件连接于对应的一所述套筒远离所述连接盘的另一端。
[0015]在其中一个实施例中，所述支撑件一端可拆卸地连接于所述套筒的一端。
[0016]一种推料装置，包括如上所述的支撑机构。
[0017]一种装载机台，包括如上所述的推料装置。
[0018]一种PECVD设备，包括如上所述的装载机台。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术一实施例提供的支撑机构的支撑组件的结构示意图；
[0021]图2为本技术另一实施例提供的支撑机构与石墨舟的配合关系示意图；
[0022]图3为图2所示的支撑机构的二力杆组件和套筒的连接关系示意图；
[0023]图4为本技术又一实施例提供的支撑机构的结构示意图。
具体实施方式
[0024]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0025]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装
置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0027]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种支撑机构，其特征在于，包括：至少两组支撑组件，每一所述支撑组件包括套筒及支撑件，至少两个所述套筒沿垂直自身轴向的方向依次间隔设置且彼此固定，每一所述支撑组件中的所述支撑件沿所述套筒的轴向与所述套筒刚性连接，且每一所述支撑件具有朝向同一侧的支撑面；及至少两根承载杆，每一所述承载杆一端沿所述套筒的轴向插入对应的所述套筒内，另一端突出于所述支撑件远离所述套筒的一端，每一所述承载杆具有支撑于所述支撑面的配接面以及与所述配接面相对的承载面，所有的所述承载杆的所述承载面形成支撑石墨舟的承载位。2.根据权利要求1所述的支撑机构，其特征在于，所述支撑机构还包括中间杆，所述中间杆设置于相邻的两组所述支撑组件之间，且沿所述套筒的轴向纵长延伸，所述中间杆一端与相邻的两个所述套筒固定连接，另一端与相邻的两根所述承载杆固定连接。3.根据权利要求2所述的支撑机构，其特征在于，所述支撑机构还包括至少两个紧固件，至少两个所述紧固件的其中一部分连接于所述中间杆与相邻的两个所述套筒，至少两个所述紧固件的其中另一部分连接于所述中间杆有相邻的两根所述承载杆。4.根据权利要求1所述的支撑机构，其特征在于，所述支撑机构还包括二力杆组件，所述二力杆组件设置于相邻的两组所述支撑组件之间...
【专利技术属性】
技术研发人员：王荣，严大，黎微明，李翔，胡磊，左敏，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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