装载机台及PECVD设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种装载机台，包括机架、推料装置、存放机构、运料装置及转运装置。推料装置设置于所述机架，用于将物料推入加工炉管以及将所述加工炉管内的物料取出；存放机构设置于所述机架，用于存放所述物料；运料装置设置于所述存放机构及所述推料装置的上游，用于输送所述物料；转运装置设置于所述机架，用于在所述运料装置、所述推料装置和所述存放机构之间转运所述物料。通过设置上述装载机台，仅通过转运装置即可完成石墨舟在运料装置、存放机构及推料装置之间的转运，无需设置专门的机械手，简化了结构，降低了生产成本。本实用新型专利技术还涉及一种PECVD设备。还涉及一种PECVD设备。还涉及一种PECVD设备。

【技术实现步骤摘要】
装载机台及PECVD设备


[0001]本技术涉及光伏生产设备
，特别是涉及一种装载机台及PECVD设备。

技术介绍

[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)设备主要用于在硅片上沉积一层减反膜，以提高太阳能电池片的发电效率。
[0003]目前PECVD设备一般是在竖直方向布置多根用于加工石墨舟的反应炉管，每根反应炉管对应一套推舟机构，推舟机构用于将机械手输送来的石墨舟推入反应炉管内，也可以将在反应炉管中加工完成的石墨舟推出，而加工完成的石墨舟在冷却平台以及其他机构之间的流转同样需要设置专门的机械手实现。因此，现有的PECVD设备的结构较复杂，生产成本高。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对现有的PECVD设备结构复杂，生产成本高的问题，提供一种结构简单，生产成本低的装载机台及PECVD设备。
[0005]一种装载机台，其特征在于，包括：
[0006]机架；
[0007]推料装置，设置于所述机架，用于将物料推入加工炉管以及将所述加工炉管内的物料取出；
[0008]存放机构，设置于所述机架，用于存放所述物料；
[0009]运料装置，设置于所述存放机构及所述推料装置的上游，用于输送所述物料；及
[0010]转运装置，设置于所述机架，用于在所述运料装置、所述推料装置和所述存放机构之间转运所述物料。
[0011]通过设置上述装载机台，仅通过转运装置即可完成石墨舟在运料装置、存放机构及推料装置之间的转运，无需设置专门的机械手，简化了结构，降低了生产成本。
[0012]在其中一个实施例中，所述运料装置用于沿第一方向输送所述物料，所述加工炉管位于所述推料装置沿所述第一方向的一侧，所述推料装置用于沿所述第一方向将所述物料推入所述加工炉管内，以及沿所述第一方向将所述物料从所述加工炉管内取出；
[0013]所述转运装置和所述推料装置在与所述第一方向垂直的第二方向上间隔设置，所述存放机构和所述运料装置在与所述第一方向及所述第二方向垂直的第三方向上间隔设置，且位于所述转运装置沿所述第二方向远离所述推料装置的一侧。
[0014]在其中一个实施例中，所述运料装置包括输送架及输送载板，所述输送架设置于所述机架，所述输送载板沿所述第一方向可往复移动地连接于所述输送架，用于承载所述物料，所述输送载板沿所述第一方向往复移动的过程中具有送料位置；
[0015]当所述输送载板位于所述送料位置，所述转运装置可获取所述输送载板上的所述物料。
[0016]在其中一个实施例中，所述运料装置包括运料驱动件、第一主动轮、第一从动轮及第一同步带，所述运料驱动件设置于所述输送架，所述第一主动轮与所述运料驱动件的驱动端固定连接，所述第一从动轮可转动地设置于所述输送架，且与所述第一主动轮沿所述第一方向间隔设置，所述第一同步带绕设于所述第一主动轮和所述第一从动轮，所述输送载板固定连接于所述第一同步带。
[0017]在其中一个实施例中，所述存放机构包括支撑架及多个存放平台，所述支撑架设置于所述机架，多个所述存放平台沿与所述第一方向及第二方向垂直的第三方向间隔布设于所述支撑架，且每一所述存放平台均可用于存放所述物料。
[0018]在其中一个实施例中，多个所述存放平台包括散热平台及暂存平台，所述散热平台与所述暂存平台沿所述第三方向交替设置。
[0019]在其中一个实施例中，所述推料装置包括推料底座、推料座、承载组件及调节组件，所述加工炉管位于所述推料底座沿所述第一方向的一侧；
[0020]所述推料座沿所述第一方向可往复移动地连接于所述推料底座；
[0021]所述承载组件包括连接杆及承载件，所述连接杆与所述承载件固定连接，所述承载件用于承载物料；
[0022]所述调节组件设置于所述推料座，所述连接杆连接于所述调节组件，且所述调节组件被构造为可操作地调节所述连接杆相对所述第一方向倾斜的角度。
[0023]在其中一个实施例中，所述转运装置包括安装支架、伸缩机构及托料组件，所述伸缩机构沿与所述第一方向及所述第二方向垂直的第三方向可往复移动地连接于所述安装支架，且所述伸缩机构具有沿所述第二方向可往复移动的伸缩端，所述托料组件连接于所述伸缩端，用于承托物料。
[0024]在其中一个实施例中，所述装载机台还包括检测组件，所述检测组件设置于所述机架，用于检测所述推料装置上的所述物料的位置。
[0025]一种PECVD设备，包括如上所述的装载机台。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为本技术一实施例提供的装载机台各个结构的位置示意图；
[0028]图2为图1所示的装载机台中的转运装置的结构示意图；
[0029]图3为图2所示的转运装置中的拼接件的配合关系示意图；
[0030]图4为图2所示的转运装置中的部分结构的结构示意图；
[0031]图5为图1所示的装载机台中的部分结构的结构示意图；
[0032]图6为图1所示的装载机台中的推料装置的结构示意图；
[0033]图7为图6所示的推料装置与加工炉管的配合关系示意图；
[0034]图8为图6所示的推料装置中的推料座与调节组件的结构示意图；
[0035]图9为图8所示的推料座和调节组件的另一角度的结构示意图；
[0036]图10为图6所示的推料装置中的检测组件与机架的配合关系示意图。
具体实施方式
[0037]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0038]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0039]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种装载机台，其特征在于，包括：机架；推料装置，设置于所述机架，用于将物料推入加工炉管以及将所述加工炉管内的物料取出；存放机构，设置于所述机架，用于存放所述物料；运料装置，设置于所述存放机构及所述推料装置的上游，用于输送所述物料；及转运装置，设置于所述机架，用于在所述运料装置、所述推料装置和所述存放机构之间转运所述物料。2.根据权利要求1所述的装载机台，其特征在于，所述运料装置用于沿第一方向输送所述物料，所述加工炉管位于所述推料装置沿所述第一方向的一侧，所述推料装置用于沿所述第一方向将所述物料推入所述加工炉管内，以及沿所述第一方向将所述物料从所述加工炉管内取出；所述转运装置和所述推料装置在与所述第一方向垂直的第二方向上间隔设置，所述存放机构和所述运料装置在与所述第一方向及所述第二方向垂直的第三方向上间隔设置，且位于所述转运装置沿所述第二方向远离所述推料装置的一侧。3.根据权利要求2所述的装载机台，其特征在于，所述运料装置包括输送架及输送载板，所述输送架设置于所述机架，所述输送载板沿所述第一方向可往复移动地连接于所述输送架，用于承载所述物料，所述输送载板沿所述第一方向往复移动的过程中具有送料位置；当所述输送载板位于所述送料位置，所述转运装置可获取所述输送载板上的所述物料。4.根据权利要求3所述的装载机台，其特征在于，所述运料装置包括运料驱动件、第一主动轮、第一从动轮及第一同步带，所述运料驱动件设置于所述输送架，所述第一主动轮与所述运料驱动件的驱动端固定连接，所述第一从动轮可转动地设置于所述输送架，且与所述第一主动轮沿所述第一方向间隔设置，所述第一同步带绕设于所述第一主动轮和...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘强，左敏，吴兴华，胡彬，黎微明，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：