装载机台及PECVD设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种装载机台，包括机架、推料装置、存放机构、运料装置及转运装置。推料装置设置于所述机架，用于将物料推入加工炉管以及将所述加工炉管内的物料取出；存放机构设置于所述机架，用于存放所述物料；运料装置设置于所述存放机构及所述推料装置的上游，用于输送所述物料；转运装置设置于所述机架，用于在所述运料装置、所述推料装置和所述存放机构之间转运所述物料。通过设置上述装载机台，仅通过转运装置即可完成石墨舟在运料装置、存放机构及推料装置之间的转运，无需设置专门的机械手，简化了结构，降低了生产成本。本实用新型专利技术还涉及一种PECVD设备。还涉及一种PECVD设备。还涉及一种PECVD设备。

【技术实现步骤摘要】
装载机台及PECVD设备


[0001]本技术涉及光伏生产设备
，特别是涉及一种装载机台及PECVD设备。

技术介绍

[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)设备主要用于在硅片上沉积一层减反膜，以提高太阳能电池片的发电效率。
[0003]目前PECVD设备一般是在竖直方向布置多根用于加工石墨舟的反应炉管，每根反应炉管对应一套推舟机构，推舟机构用于将机械手输送来的石墨舟推入反应炉管内，也可以将在反应炉管中加工完成的石墨舟推出，而加工完成的石墨舟在冷却平台以及其他机构之间的流转同样需要设置专门的机械手实现。因此，现有的PECVD设备的结构较复杂，生产成本高。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对现有的PECVD设备结构复杂，生产成本高的问题，提供一种结构简单，生产成本低的装载机台及PECVD设备。
[0005]一种装载机台，其特征在于，包括：
[0006]机架；
[0007]推料装置，设置于所述机架，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种装载机台，其特征在于，包括：机架；推料装置，设置于所述机架，用于将物料推入加工炉管以及将所述加工炉管内的物料取出；存放机构，设置于所述机架，用于存放所述物料；运料装置，设置于所述存放机构及所述推料装置的上游，用于输送所述物料；及转运装置，设置于所述机架，用于在所述运料装置、所述推料装置和所述存放机构之间转运所述物料。2.根据权利要求1所述的装载机台，其特征在于，所述运料装置用于沿第一方向输送所述物料，所述加工炉管位于所述推料装置沿所述第一方向的一侧，所述推料装置用于沿所述第一方向将所述物料推入所述加工炉管内，以及沿所述第一方向将所述物料从所述加工炉管内取出；所述转运装置和所述推料装置在与所述第一方向垂直的第二方向上间隔设置，所述存放机构和所述运料装置在与所述第一方向及所述第二方向垂直的第三方向上间隔设置，且位于所述转运装置沿所述第二方向远离所述推料装置的一侧。3.根据权利要求2所述的装载机台，其特征在于，所述运料装置包括输送架及输送载板，所述输送架设置于所述机架，所述输送载板沿所述第一方向可往复移动地连接于所述输送架，用于承载所述物料，所述输送载板沿所述第一方向往复移动的过程中具有送料位置；当所述输送载板位于所述送料位置，所述转运装置可获取所述输送载板上的所述物料。4.根据权利要求3所述的装载机台，其特征在于，所述运料装置包括运料驱动件、第一主动轮、第一从动轮及第一同步带，所述运料驱动件设置于所述输送架，所述第一主动轮与所述运料驱动件的驱动端固定连接，所述第一从动轮可转动地设置于所述输送架，且与所述第一主动轮沿所述第一方向间隔设置，所述第一同步带绕设于所述第一主动轮和...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘强，左敏，吴兴华，胡彬，黎微明，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：