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本实用新型提供一种管式PECVD辅助加热棒，属于PECVD设备技术领域，更具体地涉及一种管式PECVD炉腔内辅助加热棒的结构。包括辅助加热棒、温度控制器、电源和壳体，辅助加热棒包括高温护套管、高温电热丝、高温导热绝缘层；高温电热丝、第一不发...
该专利属于江苏奥崎电气科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏奥崎电气科技有限公司授权不得商用。

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