曝光用光源、曝光装置、曝光方法、以及面板基板的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术是关于一种曝光用光源、曝光装置、曝光方法、及显示用面板基板的制造方法，本发明专利技术的曝光用光源使用多个灯，一面来应对高亮度以及变更亮度的要求，一面使灯的表面温度均匀，以使曝光光束的照度稳定。使用多个灯（３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ）来作为产生曝光光束的光源，并且在各灯之间，设置着间隔壁（５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄ、５０ｅ），以防止各灯所产生的曝光光束向其他灯上照射，且抑制各灯所产生的热向其他灯上传送。在灯收纳室中，收纳着灯（３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ）以及聚光镜（３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ）及间隔壁（５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄ、５０ｅ），且在灯收纳室（３９）上，设置着冷却介质的吸气口（３９ａ）及排气口（３９ｂ），在各灯的周围形成冷却介质流以冷却各灯。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种在液晶显示装置等的显示用面板基板的制造中，进 行基板曝光时所使用的曝光用光源、曝光装置、曝光方法、以及使用上述 曝光用光源、曝光装置、曝光方法的显示用面板基板的制造方法。
技术介绍
作为显示用面板而使用的液晶显示器装置的TFT ( thin film transistor,薄膜晶体管)基板或彩色滤光片基板、等离子显示器面板用 基板、有机EL (electro luminescence)显示面板用基板等的制造是以如 下方式而进行的，即，使用曝光装置并利用光刻(photo lithography)技 术，在基板上形成图案。曝光装置是隔着掩膜(mask)向涂布着感光树脂 材料(photoresist,光致抗蚀剂)的基板照射上述曝光光束，由此，将掩 膜的图案转印到基板上。曝光装置的产生曝光光束的光源，使用如水银灯、囟素灯(halogen lamp)、以及氣气灯(xenon la即)等将高压气体密封进灯泡(bulb)内的 灯。由于上述灯的发热量多，并且，温度过高时灯泡将有可能破裂，因此， 必须一面对灯泡进行冷却一面使用。例如，在专利文献1中揭示有曝光用 照明装置的冷却^U本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光用光源，其特征在于包括：产生曝光光束的多个灯；多个聚光镜，设置在各灯的周围，并且对各灯所产生的曝光光束进行聚光；间隔壁，设置在各灯之间，防止各灯所产生的曝光光束向其他灯照射，且抑制各灯所产生的热向其他灯传送；以及灯收纳室，具有冷却介质的吸气口及排气口，且收纳着上述多个灯、上述多个聚光镜、以及上述间隔壁，在各灯周围形成冷却介质流，以对各灯进行冷却。

【技术特征摘要】
JP 2006-9-28 2006-2657171.一种曝光用光源，其特征在于包括产生曝光光束的多个灯；多个聚光镜，设置在各灯的周围，并且对各灯所产生的曝光光束进行聚光；间隔壁，设置在各灯之间，防止各灯所产生的曝光光束向其他灯照射，且抑制各灯所产生的热向其他灯传送；以及灯收纳室，具有冷却介质的吸气口及排气口，且收纳着上述多个灯、上述多个聚光镜、以及上述间隔壁，在各灯周围形成冷却介质流，以对各灯进行冷却。2. 如权利要求1所述的曝光用光源，其特征在于上述间隔壁具有流 动着冷却水的冷却水通路。3. —种曝光装置，其特征在于包括权利要求1或权利要求2所述的曝光用光源，且利用该曝光用光 源的上述多个灯所产生的曝光光束，对基板进行曝光。4. 一种曝光方法，其特征在于使用多个灯来作...

【专利技术属性】
技术研发人员：森顺一，
申请(专利权)人：株式会社日立高科技，
类型：发明
国别省市：JP[日本]