【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种曝光机台框，主要包括一台框，该台框由上台框和下台框连接而成，其特征在于：所述上台框与下台框的连接处装设有轴承线轨组合装置；所述上台框上载有光学玻璃，该上台框的下端设有用于吸室真空的气封；而所述下台框上则设有吸室真空孔位。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：袁强，刘长征，
申请(专利权)人：东莞市海圣光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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