LDI光机系统及其遮光罩技术方案

本实用新型专利技术提供了一种LDI光机系统及其遮光罩，涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域，其中，一种LDI光机系统遮光罩，包括：第一腔体，第一腔体固设于聚焦组件安装底板之上，聚焦组件安装底板开设有通光孔，第一腔体通过通光孔连通外部，且第一腔体的一对侧壁开设有固定孔，并通过固定孔与大理石龙门固定，第一腔体至少开设有一个散热孔，散热孔平行且高于固定孔；第二腔体，第二腔体与第一腔体连通，并位于第一腔体中固定孔所在侧壁的邻侧壁，且第二腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。解决了现有技术的LDI光机系统仅能实现部分避光不能有效防尘的技术问题，实现了LDI光机系统的有效避光和防尘。

LDI opto mechanical system and its baffle

The utility model provides a LDI optical system and its hood, which relates to the lithography technology, display and projection lithography machine, a LDI optical system includes a first baffle cavity, the first cavity is fixedly arranged on the focusing assembly base plate component mounting plate is provided with a through focusing light hole through the first cavity light hole communicated with the outside, and a pair of side walls of the first cavity is provided with a fixing hole, and fixing holes and fixed by marble in Longmen, at least the first cavity is provided with a heat radiating hole hole, parallel and higher than the fixed hole; second cavity, second cavity communicated with the first cavity, and is located in the adjacent side wall of the first cavity fixed the side wall of the hole, and the side wall of the second cavity is provided with a plurality of laser wiring board. The utility model solves the technical problems that the LDI optical and mechanical system of the prior art can only achieve part of the avoidance of light and can not effectively prevent dust, and realizes the effective light avoidance and dust prevention of the LDI optical and mechanical system.

【技术实现步骤摘要】
LDI光机系统及其遮光罩
本技术涉及光刻直写曝光机及投影显示
，尤其是涉及一种LDI光机系统及其遮光罩。
技术介绍
光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等。在直写式光刻机的光刻系统中，特征图形由空间光调制器微镜阵列产生，这些微小镜面可以独立寻址单独受控以不同的倾斜方向反射照射的光束，以产生空间光强调制，最后将特征图形通过相应成像光路投影到印刷电路板(PrintedCircuitBoard，简称PCB板)上。因为光刻技术是在光机系统镜筒的基础上实现，为了保证光刻精度，镜筒不但需要避光，还需要始终处于高洁净度的空间环境内。现有光刻系统仅有部分避光功能，不能实现完全避光和有效防尘，光刻系统的成像质量容易受到自然光的影响，而且随着使用时间的增加，还容易受到灰尘的影响。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种LDI光机系统及其遮光罩，以解决现有技术的激光直接成像(LaserDirectImage，简称LDI)光机系统仅能实现部分避光不能有效防尘的技术问题。第一方面，本技术实施例提供了一种LDI光机系统遮光罩，包括第一腔体和第二腔体，底板中间开设有通光孔；第一腔体固设于聚焦组件安装底板之上，聚焦组件安装底板开设有通光孔，第一腔体通过通光孔连通外部，第一腔体的一对侧壁开设有固定孔，并通过固定孔与大理石龙门固定，第一腔体至少开设有一个散热孔，散热孔平行且高于固定孔；第二腔体与第一腔体连通，并位于第一腔体中固定孔所在侧壁的邻侧壁，且第二腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。第一腔体固定于聚焦组件安装底板和大理石龙门上，散热孔加快了遮光罩内外空气的对流速度，既有利于散热，又能使整个遮光罩内保持正压，进而避免了机台内部灰尘进入遮光罩内并使其内部的光学元件沾染灰尘；第二腔体设置的激光器接线插板既能有效地防尘，又能使激光通过光纤进入遮光罩内以完成光刻工作；整体结构简单，安装方便，实现了LDI光机系统的有效避光和防尘。结合第一方面，本技术实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，第一腔体开设有固定孔的一对侧壁均开设有平行于固定孔的散热孔。两侧壁上的散热孔相对设置，可以加快遮光罩内的空气与外界空气的对流速度，加快散热。结合第一方面的第一种可能的实施方式，本技术实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，散热孔安装有排风扇。排风扇加快了遮光罩内的空气对流速度，同时使整个遮光罩内保持正压，进而保证机台内部的灰尘不会进入遮光罩内，实现了LDI光机系统的有效地防尘。结合第一方面，本技术实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，第一腔体远离第二腔体的一侧设有DMD控制板支架。结合第一方面的第三种可能的实施方式，本技术实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，DMD控制板支架的顶端设有一折弯，折弯背离第一腔体。结合第一方面的第四种可能的实施方式，本技术实施例提供了第一方面的第五种可能的实施方式，其中DMD控制板支架的折弯上安装有DMD控制板。结合第一方面，本技术实施例提供了第一方面的第六种可能的实施方式，其中，第一腔体为长方体。结合第一方面的第六种可能的实施方式，本技术实施例提供了第一方面的第七种可能的实施方式，其中，第二腔体为长方体，且第二腔体的高度低于第一腔体的高度。结合第一方面及其可能的实施方式，本技术实施例提供了第一方面的第八种可能的实施方式，其中，第二腔体远离第一腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。激光器接线插板可以使激光器输出端的光纤进入遮光罩，进而使由激光器发出的激光进入遮光罩内的光路中。第二方面，本技术实施例还提供了一种LDI光机系统，包括激光器、照明光路、成像镜筒、聚焦组件以及第一方面及其可能的实施方式所述的遮光罩，照明光路、成像镜筒、聚焦组件设于遮光罩内，聚焦组件安装在聚焦组件安装底板上，且输出口正对通光孔，激光器输出端的光纤经由激光器接线插板进入遮光罩内，由激光器发出的激光依次进入照明光路和成像镜筒，然后通过聚焦组件射出。本技术实施例带来了以下有益效果：第一腔体固定于聚焦组件安装底板和大理石龙门上，散热孔加快了遮光罩内外空气的对流速度，既有利于散热，又能使整个遮光罩内保持正压，进而避免了机台内部灰尘进入遮光罩内并使其内部的光学元件沾染灰尘；第二腔体设置的激光器接线插板既能有效地防尘，又能使激光通过光纤进入遮光罩内以完成光刻工作；整体结构简单，安装方便，实现了LDI光机系统的有效避光和防尘。本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例1提供的LDI光机系统遮光罩的第一立体结构示意图；图2为本技术实施例1提供的LDI光机系统遮光罩的第二立体结构示意图；图3为本技术实施例1提供的LDI光机系统遮光罩的仰视图；图4为本技术实施例2提供的LDI光机系统的立体结构示意图；图5为本技术实施例2提供的LDI光机系统中的激光路径示意图。图标：1-遮光罩；11-第一腔体；111-散热孔；12-第二腔体；121-激光器接线插板；1211-光纤孔；2-聚焦组件安装底板；21-通光孔；3-大理石龙门；41-DMD控制板支架；42-DMD控制板；5-激光器；51-光纤；6-照明光路；7-成像镜筒；8-聚焦组件。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。目前现有LDI光机系统存在仅能部分避光不能有效防尘的技术问题，基于此，本技术实施例提供的LDI光机系统及其遮光罩，可以实现LDI光机系统的有效避光和防尘。为便于对本实施例进行理解，首先对本技术实施例所公开的一种LDI光机系统遮光罩进行详细介绍。实施例1：如图1和图2所示，本技术实施例提供了一种LDI光机系统遮光罩，包括第一腔体11和第二腔体12，第一腔体11固设于聚焦组件安装底板2之上，聚焦组件安装底板2开设有通光孔21，如图3所示，第一腔体11通过通光孔21连通外部，第一腔体11的一对侧壁开设有固定孔，并通过固定孔与大理石龙门3固定，第一腔体11至少开设有一个散热孔111，散热孔111平行且高于固定孔；第二腔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种LDI光机系统遮光罩，其特征在于，包括：第一腔体，所述第一腔体固设于聚焦组件安装底板之上，所述聚焦组件安装底板开设有通光孔，所述第一腔体通过所述通光孔连通外部，且所述第一腔体的一对侧壁开设有固定孔，并通过所述固定孔与大理石龙门固定，所述第一腔体至少开设有一个散热孔，所述散热孔平行且高于所述固定孔；第二腔体，所述第二腔体与所述第一腔体连通，并位于所述第一腔体中所述固定孔所在侧壁的邻侧壁，且所述第二腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。

【技术特征摘要】
1.一种LDI光机系统遮光罩，其特征在于，包括：第一腔体，所述第一腔体固设于聚焦组件安装底板之上，所述聚焦组件安装底板开设有通光孔，所述第一腔体通过所述通光孔连通外部，且所述第一腔体的一对侧壁开设有固定孔，并通过所述固定孔与大理石龙门固定，所述第一腔体至少开设有一个散热孔，所述散热孔平行且高于所述固定孔；第二腔体，所述第二腔体与所述第一腔体连通，并位于所述第一腔体中所述固定孔所在侧壁的邻侧壁，且所述第二腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。2.根据权利要求1所述的LDI光机系统遮光罩，其特征在于，所述第一腔体开设有所述固定孔的一对侧壁均开设有平行于所述固定孔的散热孔。3.根据权利要求2所述的LDI光机系统遮光罩，其特征在于，所述散热孔安装有排风扇。4.根据权利要求1所述的LDI光机系统遮光罩，其特征在于，所述第一腔体远离所述第二腔体的一侧设有DMD控制板支架。5.根据权利要求4所述的LDI光机系统遮光罩，其特征在于，所述DMD控制板支架的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王维娟，
申请(专利权)人：天津津芯微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12