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本实用新型提供了一种LDI光机系统及其遮光罩，涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域，其中，一种LDI光机系统遮光罩，包括：第一腔体，第一腔体固设于聚焦组件安装底板之上，聚焦组件安装底板开设有通光孔，第一腔体通过通光孔连通外部，且第一腔体的...
该专利属于天津津芯微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津津芯微电子科技有限公司授权不得商用。

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