一种根据有证标准物质校准电子显微镜测量物质长度的方法技术

一种电子显微镜测量物质长度的方法，其特征是它包括如下步骤：　　　　ａ．校准电子显微镜；　　　　ｂ．用电子显微镜拍摄被测物质图像；　　　　ｃ．测量被测物质图像；　　　　ｄ．计算被测物质的长度值Ｌ。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及物质形态分析及计量测试
，尤其是涉及一种具有溯源值、并带有不确定度评估的电子显微镜测量物质长度的方法。
技术介绍
自从1992年ISO组织标准物质委员会(REMCO)第16次会议最后批准了国际化指南，ISO Guide 301992对有证标准物质有了明确的定义附有证书的标准物质，其一种或多种特性值用建立了溯源性的程序确定，使之可溯源到准确复现的用于表示该特性值的计量单位，而且每个标准值都附有给定置信水平的不确定度。国内外正在投入大量的人力和财力进行纳米技术研究和产业化探索。包括纳米粒子尺寸大小，化学成份，物相结构与宏观集合体所表现出的物理化学特性的研究。目前，具有溯源值、并带有不确定度评估的电子显微镜测量物质长度的方法尚属空白，这种情况大大制约了纳米材料领域的研究和产业化的发展。随着ISO9000系列等质量保证体系为人们越来越广泛的认可，国内外各单位企业普遍用质量保证体系来提高自己的产品和服务的质量，上述相关质量保证体系要求被认证的单位的产品规格技术数据和其它测量数据要有计量溯源性。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种具有溯源值、并带有不确定度评估的电子显微镜测量物质长度的方法。本专利技术解决其技术问题采用的技术方案是，它包括如下步骤a.校准电子显微镜；b.用电子显微镜拍摄被测物质图像；c.测量被测物质图像；d.计算被测物质的长度值L。本专利技术所提出的任务还可进一步通过如下技术方案加以实现所述的校准电子显微镜为①将有证标准物质放入被校准电子显微镜的放置样品的位置；②将被校准电子显微镜调整到正常的工作状态；③拍摄有证标准物质的记录图像，并在被校准电子显微镜的输出设备上输出被拍摄的有证标准物质的记录图像和记录拍摄有证标准物质的记录图像时电子显微镜的工作参数；④用在检定有效期内的长度计量工具测量记录图像上被拍摄的有证标准物质的长度测量值，并记录为DX；⑤用在检定有效期内的长度计量工具测量记录图像上的显微标尺的长度测量值，并记录为MX；⑥将记录图像上显微标尺的显示值记录为M0；⑦计算被校准电子显微镜的记录图像上的显微标尺校准值M，M的计算公式为M＝D0×MX/DX，式中M为显微标尺校准值；D0为有证标准物质的长度值；DX为记录图像上的有证标准物质的长度测量值；MX为记录图像上的显微标尺的长度测量值；⑧计算被校准电子显微镜的显微标尺校准值的不确定度u(M)，u(M)的计算公式为u(M)＝[u2(M)]1/2＝[(MX/DX)2u2(D0)+(D0/DX)2u2(MX)+(-D0MX/DX2)2u2(DX)]1/2，式中u(M)为显微标尺校准值的不确定度；MX为记录图像上的显微标尺长度测量值；DX为记录图像上的有证标准物质的长度测量值；u(D0)为有证标准物质的不确定度；D0为有证标准物质的长度值；u(MX)为记录图像上的显微标尺长度测量值的不确定度；u(DX)为记录图像上的有证标准物质长度测量值的不确定度、所述的用电子显微镜拍摄被测物质图像为①将校准有效期内的电子显微镜调整到正常的工作状态；②拍摄被测物质图像，并在校准有效期内的电子显微镜的输出设备上输出被测物质的电子显微镜图像、所述的测量被测物质图像为①用在检定有效期内的长度计量工具测量由校准有效期内的电子显微镜的输出设备上输出的电子显微镜图像上被测物质的长度测量值，并记录为LX；②用在检定有效期内的长度计量工具测量由校准有效期内的电子显微镜的输出设备上输出的被测物质的电子显微镜图像上的显微标尺长度测量值，并记录为MXX、所述的计算被测物质的长度值L的计算公式为L＝M×LX/MXX，式中L为被测物质的长度值；M为显微标尺校准值；LX为被测物质的长度测量值；MXX为被测物质的电子显微镜图像上显微标尺长度测量值、对被测物质的长度值L进行不确定度评估，评估不确定度u(L)的计算公式为u(L)＝[(LX/MXX)2u2(M)+(M/MXX)2u2(LX)+(-M×LX/MXX2)2u2(MXX)]1/2，式中u(L)为被测物质的长度值的不确定度；LX为被测物质的长度测量值；MXX为由校准有效期内的电子显微镜的输出设备上输出的被测物质的电子显微镜图像上显微标尺长度测量值；u(M)为显微标尺校准值的不确定度；M为显微标尺校准值；u(LX)为被测物质的长度测量值的不确定度；u(MXX)为由校准有效期内的电子显微镜的输出设备上输出的被测物质的电子显微镜图像上显微标尺长度测量值的不确定度。本专利技术权利要求2的①中提及的有证标准物质的定义是1992年ISO组织标准物质委员会(REMCO)第16次会议最后批准的国际化指南，ISOGuide 301992对有证标准物质的定义附有证书的标准物质，其一种或多种特性值用建立了溯源性的程序确定，使之可溯源到准确复现的用于表示该特性值的计量单位，而且每个标准值都附有给定置信水平的不确定度。本专利技术权利要求2的②中将被校准电子显微镜调整到正常的工作状态是指将被校准电子显微镜开机；调整仪器的工作参数，如加速电压、放大倍率等工作参数到要求的工作状态；将图像聚焦到正确；用消像散装置消去像散。本专利技术权利要求2的③中被校准电子显微镜的输出设备指被校准电子显微镜所附带的照相装置或各类高分辨力打印机等；有证标准物质的电子显微镜图像指照相装置拍摄的图像胶片或打印机打印的数字图像；电子显微镜的工作参数是指电子显微镜的加速电压、放大倍率等。本专利技术权利要求2的④中在检定有效期内指该长度计量工具被计量检定合格并在计量检定有效期内；长度计量工具可以是工具显微镜、游标卡尺、钢直尺(150mm)等。本专利技术权利要求2的⑤图像上的显微标尺指电子显微镜记录图像上的一段标明长度计量值的线段。本专利技术权利要求2的⑧被校准电子显微镜的显微标尺校准值的不确定度u(M)由下式(不确定度传播律)导出u2(M)＝∑(f/Xi)2u2(Xi)其中M＝f(D0，MX，DX)＝D0×MX/DX；f/D0＝MX/DX；f/MX＝D0/DX；f/DX＝-D0MX/DX2由于各分量互不相关，因而合成方差u2(M)为u2(M)＝(f/D0)2u2(D0)+(f/MX)2u2(MX)+(f/DX)2u2(DX)＝(MX/DX)2u2(D0)+(D0/DX)2u2(MX)+(-D0MX/DX2)2u2(DX)u(M)＝[u2(M)]1/2[(MX/DX)2u2(D0)+(D0/DX)2u2(MX)+(-D0MX/DX2)2u2(DX)]1/2本专利技术权利要求3的①中将校准有效期内的电子显微镜指该电子显微镜的放大倍率用有证标准物质校准并在有效使用期内；调整到正常的工作状态指将该电子显微镜开机；调整仪器的工作参数，如加速电压、放大倍率等工作参数到有校准值的工作状态；将图像聚焦到正确；用消像散装置消去像散。本专利技术权利要求6中的不确定度u(L)的计算公式为u(L)＝[u2(L)]1/2[(LX/MXX)2u2(M)+(M/MXX)2u2(LX)+(-M×LX/MXX2)2u2(MXX)]1/2与本专利技术权利要求2的⑧的解释相同。本专利技术由于采用上述技术方案实现了用电子显微镜测量物质长度、使用有证标准物质来校准与最终图像的放大倍率具有唯一关联的电子显微镜输出图像上的显微标本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子显微镜测量物质长度的方法，其特征是它包括如下步骤a.校准电子显微镜；b.用电子显微镜拍摄被测物质图像；c.测量被测物质图像；d.计算被测物质的长度值L。2.根据权利要求1所述的一种电子显微镜测量物质长度的方法，其特征是所述的校准电子显微镜为①将有证标准物质放入被校准电子显微镜的放置样品的位置；②将被校准电子显微镜调整到正常的工作状态；③拍摄有证标准物质的记录图像，并在被校准电子显微镜的输出设备上输出被拍摄的有证标准物质的记录图像和记录拍摄有证标准物质的记录图像时电子显微镜的工作参数；④用在检定有效期内的长度计量工具测量记录图像上被拍摄的有证标准物质的长度测量值，并记录为Dx；⑤用在检定有效期内的长度计量工具测量记录图像上的显微标尺的长度测量值，并记录为Mx；⑥将记录图像上显微标尺的显示值记录为M0；⑦计算被校准电子显微镜的记录图像上的显微标尺校准值M，M的计算公式为M＝D0×Mx/Dx，式中M为显微标尺校准值；D0为有证标准物质的长度值；Dx为记录图像上的有证标准物质的长度测量值；Mx为记录图像上的显微标尺的长度测量值；⑧计算被校准电子显微镜的显微标尺校准值的不确定度u(M)，u(M)的计算公式为u(M)＝[u2(M)]1/2＝[(Mx/Dx)2u2(D0)+(D0/Dx)2u2(Mx)+(-D0Mx/Dx2)2u2(Dx)]1/2，式中u(M)为显微标尺校准值的不确定度；Mx为记录图像上的显微标尺长度测量值；Dx为记录图像上的有证标准物质的长度测量值；u(D0)为有证标准物质的不确定度；D0为有证标准物质的长度值；u(Mx)为记录图像上的显微标尺长度测量值的不确定度；u(Dx)为记录图像上的有证标准物质长度测量值的不确定度。3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛克平，丁听生，张利明，
申请(专利权)人：上海市计量测试技术研究院，
类型：发明
国别省市：