【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种纳米长度计量部件的校准装置，特别是公开一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置。
技术介绍
1、纳米位移台是集成电路产业、超精密加工、精密科学仪器等领域中精密位移测量的关键零部件。随着集成电路特征尺寸不断缩小、精密零件尺寸越来越小，对超精密定位技术的要求也越来越高，对纳米位移台的精确校准是保证其性能可靠的关键。
2、常用的精密位移测量技术有激光干涉仪和光栅干涉仪。激光干涉仪具有非接触、可溯源、精度高、量程大的优点，具有广泛的应用。激光干涉仪是以激光的波长作为长度测量的标准，具有很高的精度。基于该测量原理，激光干涉仪对激光波长的稳定性要求很高，波长的变化直接影响测量的精度。而激光的波长受环境因素的影响，温度、湿度、压力发生变化时，引起激光波长的变动。为减小环境误差带来的影响，使用激光干涉仪的方法对环境条件的要求非常苛刻。在实际现场使用过程中，往往需要复杂的补偿系统来减小环境因素的影响。光栅干涉仪采用光栅作为长度测量的标准，相比于激光波长，光栅的物理结构对环境因素的变化不敏感、抗干扰能力强、稳定性高。随着光栅工艺...
【技术保护点】
1.一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置，其特征在于：包括准直光源、置于所述准直光源光路上的光电探测模块、与所述光电探测模块位置对应的待校准的纳米位移台、置于所述待校准的纳米位移台上的光栅、与所述光电探测模块电路连接的信号处理系统以及与所述待校准的纳米位移台电路连接的位移台驱动系统，所述位移台驱动系统驱动待校准的纳米位移台带动光栅同步运动，所述的光电探测模块设有用于采集干涉信号的光电探测器。
2.根据权利要求 1 所述的一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置，其特征在于：所述的光栅通过可调整的支架固定在待校准的纳米位移台上，通过支架实现光栅在待校...
【技术特征摘要】
1.一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置，其特征在于：包括准直光源、置于所述准直光源光路上的光电探测模块、与所述光电探测模块位置对应的待校准的纳米位移台、置于所述待校准的纳米位移台上的光栅、与所述光电探测模块电路连接的信号处理系统以及与所述待校准的纳米位移台电路连接的位移台驱动系统，所述位移台驱动系统驱动待校准的纳米位移台带动光栅同步运动，所述的光电探测模块设有用于采集干涉信号的光电探测器。
2.根据权利要求 1 所述的一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置，其特征在于：所述的光栅通过可调整的支架固定在待校准的纳米位移台上，通过支架实现光栅在待校准的纳米位移台上的俯仰及旋转角度调整，所述的位移台驱动系统与待校准的纳米位移台之间、所述的信号处理系统与光电探测器之间分别通过各自相应的通信电缆连接。
3.根据权利要求 1 所述的一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置，其特征在于：所述的光电探测模块包括依次设于准直光源向待校准的纳米位移台的入射光路上的第一平面反射镜、第一波片和偏振分光棱镜，入射光路经所述偏振分光棱镜后等比例地分为垂直偏振光路和水平偏振光路，所述垂直偏振光路依次设有第三波片和第三平面反射镜，所述水平偏振光...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘丽琴，雷李华，沈瑶琼，管钰晴，邹文哲，郭创为，张玉杰，傅云霞，徐瑞书，
申请(专利权)人：上海市计量测试技术研究院，
类型：新型
国别省市：
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