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本技术为一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置，包括准直光源、置于所述准直光源光路上的光电探测模块、与所述光电探测模块位置对应的待校准的纳米位移台、置于所述待校准的纳米位移台上的光栅、与所述光电探测模块电路连接的信号处理系统以及与所述待...
该专利属于上海市计量测试技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过上海市计量测试技术研究院授权不得商用。

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