【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】为在活性气体发生器中点燃和维持等离子体的供电方法和装置 专利
本专利技术总地涉及产生含离子、自由基、原子和分子的活性气体的领域，以及 为在活性气体发生器中点燃等离子体供电的装置和方法。专利技术背景等离子体放电可用来激发气体以产生含离子、自由基、原子和分子的活性气 体。活性气体用于多种工业和科学场合，包括加工例如半导体晶片的固体材料、粉 末和其它气体。活性气体的一个实例是原子氟，它用来清洗将薄膜沉积在衬底表面上的化学气相沉积(CVD)腔室。CVD腔室需要被例行清洗以去除建立在除衬底表面以外 的腔室部分的表面上的沉积物。腔室的湿洗对工作人员而言是高强度并且危险的， 而用等离子体源产生的原子氟清洗腔室则允许不向大气开启腔室地去除沉积物，提 高工具生产力和改善工作条件。原子氟的典型源气体包括诸如NF3、 CF4、 CHF3、 C2F6和QF8全氟化物(PFC)。活性气体的另一实例是原子氧，它可用于微电子制造中的光阻材料去除。在 布图形成后，通过将晶片表面暴露在通过等离子体源产生的原子氧而去除光阻材 料。原子氧快速并有选择地与光阻材料反应，从而允许在真空和相对低温状态下...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种供电以在活性气体发生器中点燃等离子体的方法，包括将包括谐振电感和谐振电容的串联谐振电路耦合在开关电源和变压器之间，所述变压器具有变压器主动部分和等离子体继发部分；从横跨变压器主动部分的谐振电容提供基本谐振的AC电压，由此在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流以产生等离子体继发部分；以及一旦产生等离子体继发部分，谐振电感限制流至开关电源的电流。2. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，还包括横跨串联谐振电路提供来自开关电源的第一AC电压，所述第一^C电压的频 率等于串联谐振电路的基本谐振频率；响应第一 AC电压，从横跨变压器主动部分的谐振电容提供基本谐振的AC电 压，由此在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流以产生等离子体继发部分；将来自开关电源的第一 AC电压的频率调制到大于串联谐振电路的基本谐振 频率的一个频率以进一步限制在产生等离子体继发部分后流至开关电源的电流。3. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，还包括提供一个或多个谐振电感与谐振电容串联的串联谐振电路，所述谐振电容并 联耦合于变压器主动部分；一旦产生等离子体继发部分后通过一个或多个电感限制流至开关电源的电流。4. 如权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括提供串联谐振电路，所述串联谐振电路进一步包括在一个或多个谐振电感和 谐振电容之间或在谐振电容和变压器之间串联耦合的第二电容，所述第二电容作为 隔直电容或第二谐振电容。一5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括横跨串联谐振电路提供来自开关电源的第一AC电压，所述第一AC电压的频 率等于串联谐振电路的基本谐振频率；响应第一AC电压，横跨变压器主动部分从谐振电容提供基本谐振的AC电压， 由此在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流以产生等离子体继发部分；将来自开关电源的第一 AC电压的频率调制到大于串联谐振电路的基本谐振频率的一个频率以进一步限制在产生等离子体继发部分后通过一个或多个电感流 至开关电源的电流。6. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，所述开关电源是半桥逆变器。7. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，所述开关电源是全桥逆变器。8. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，还包括将第二变压器主动部分耦合于变压器，所述第二变压器主动部分具有中心抽 头或基本中心抽头；将所述第二变压器主动部分的中心抽头接地以提供第二变压器主动部分的第 一引线和第二引线；将第一引线耦合至位于等离子体继发部分周围的第一位置的第一点燃电极， 并将第二引线耦合至位于等离子体继发部分周围的第二位置、与所述第一点燃电极对置的第二点燃电极；以及将第一极性的电压施加于第一引线并将第二极性的电压施加于第二引线，从 而导致横跨第一和第二电极之间横截面的电场通量以产生等离子体继发部分。9. 如权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括 提供包容等离子体继发部分的等离子体腔室；以及将第一引线耦合于等离子体腔室外表面上的第一点燃电极并将第二引线耦合 于等离子体腔室的外表面上与所述第一点燃电极对置的第二点燃电极；以及将第一极性的电压施加于第一引线并将第二极性的电压施加于第二引线，导 致电场通量横贯通过第一电极和第二电极之间等离子体腔室的横截面以产生等离 子体继发部分。10. 如权利要求l所述的方法，其特征在于，还包括 提供包容等离子体继发部分的等离子体腔室；以及将来自变压器主动部分的通量通过围绕一部分等离子体腔室和变压器主动部 分的磁心耦合于等离子体继发部分；使进入气体流过等离子体继发部分以将进入气体转化成活性气体。11. 一种在活性气体发生器中点燃等离子体的电源，包括 开关电源；变压器，所述变压器包括变压器主动部分和等离子体继发部分；以及 串联谐振电路，所述串联谐振电路包括耦合在开关电源和变压器主动部分之 间的谐振电感和谐振电容，所述谐振电容横跨变压器主动部分提供基本谐振AC电压，由此在变压器主动部分内感应出基本谐振的电流以产生等离子体继发部分； 一旦产生等离子体继发部分，谐振电感限制流至开关电源的电流。12. 如权利要求ll所述的电源，其特征在于，还包括 控制器；开关电源，所述开关电源横跨串联的谐振电路提供第一 AC电压，所述第一 AC电压具有串联谐振电路的基本谐振频率的频率；响应第一 AC电压，所述谐振电容横跨变压器主动部分提供基本谐振的AC电 压，由此在变压器主动部分中感应出基本谐振的电流以点燃等离子体继发部分；所述控制器提供信号给开关电源，将第一 AC电压的频率调制到大于串联谐 振电路的基本谐振频率的频率以进一步限制在产生等离子体继发部分后流至开关 电源的电流。13. 如权利要求ll所述的电源，其特征在于，所述串联谐振电路包...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·米尔纳，T·亚历山大，I·贝斯特亚克，K·泰兰，M·约什，
申请(专利权)人：MKS仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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