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为在活性气体发生器中点燃和维持等离子体的供电方法和装置制造方法及图纸
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下载为在活性气体发生器中点燃和维持等离子体的供电方法和装置的技术资料
文档序号:3148527
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一种供电以在活性气体发生器中点燃等离子体的方法,包括: 将包括谐振电感和谐振电容的串联谐振电路耦合在开关电源和变压器之间,所述变压器具有变压器主动部分和等离子体继发部分; 从横跨变压器主动部分的谐振电容提供基本谐振的AC电压,由此在变压器主...
该专利属于MKS仪器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过MKS仪器股份有限公司授权不得商用。
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