半自动UV解胶机制造技术

本申请涉及一种半自动UV解胶机，包括机柜、载物台以及照射灯；载物台设置在机柜上，载物台上设置有晶圆放置区，晶圆放置区处开设有照射孔；照射灯位于载物台下方；照射灯一侧还设置有光强检测仪；机柜上还设置有用于控制光照时间的自动控制系统。光强检测仪能够对照射灯的光照强度进行准确检测，自动控制系统根据额定光照能量自动计算光照时间，从而对照射灯的光照能量进行精准计算，提升UV解胶效果。提升UV解胶效果。提升UV解胶效果。

【技术实现步骤摘要】
半自动UV解胶机


[0001]本申请涉及晶圆加工设备的领域，尤其是涉及一种半自动UV解胶机。

技术介绍

[0002]目前，在晶圆切割后，需要将UV膜进行解胶处理，降低UV膜的黏性，以便于将切割后的单粒晶片从UV膜上取下，从而便于后续加工。
[0003]常规的解胶方法是使用解胶机，UV解胶机内部设置有照射灯，UV膜在照射灯的照射下黏性降低，以便于晶片从UV膜上剥落。
[0004]对于不同尺寸的UV膜来说，解胶所需的光照能量不同，而光照能量是由光照强度和光照时间决定。但是常规的UV解胶机中照射灯的光照强度不便于测量，因此照射灯的光照能量不便于测量，因此所需光照能量和实际光照能量之间容易存在误差，影响解胶效果。

技术实现思路

[0005]为了提升解胶效果，本申请提供一种半自动UV解胶机。
[0006]本申请提供的半自动UV解胶机采用如下的技术方案：
[0007]一种半自动UV解胶机，包括机柜、设置在机柜上的载物台以及照射灯；所述载物台上设置有晶圆放置区，所述晶圆放置区处开设有照射孔；所述照射灯位于载物台下方；所述照射灯一侧还设置有光强检测仪；所述机柜上还设置有用于控制光照时间的自动控制系统。
[0008]通过采用上述技术方案，照射灯打开后，光强检测仪能够对照射灯的光照强度进行准确检测，将光照强度数据传输给自动控制系统后，自动控制系统根据额定光照能量自动计算光照时间，因此能够对照射灯的光照能量进行精准计算，从而提升UV解胶效果。
[0009]优选的，所述机柜内部设置有导轨，所述导轨上设置有灯座，所述照射灯设置在灯座上；所述导轨的一侧设置有用于驱动灯座沿导轨移动的电机；所述自动控制系统还用于控制电机的转速。
[0010]通过采用上述技术方案，电机能够带动灯座沿导轨移动，从而实现照射灯对UV膜的扫射，有效提升灯光照射的均匀性。
[0011]优选的，所述照射灯呈长条形设置，并且所述照射灯的长度方向与导轨的长度方向垂直。
[0012]通过采用上述技术方案，长条状的照射灯能够便于进行扫射，提升灯光照射的均匀性。
[0013]优选的，所述载物台上开设有通光孔，所述光强检测仪设置在载物台的上方，并且所述光强检测仪位于通光孔的正上方。
[0014]通过采用上述技术方案，光强检测仪通过通光孔对照射灯的光照强度进行检测，以便于降低其他光源对光强检测仪的影响，提升光强检测的精准度。
[0015]优选的，所述光强检测仪与载物台之间设置有遮光板，并且所述遮光板设置在通
光孔的周侧。
[0016]通过采用上述技术方案，遮光板能够对光强探测仪和载物台之间的缝隙进行遮挡，从而提升光强探测仪检测的精度。
[0017]优选的，所述遮光板呈锥筒状设置，并且所述遮光板的的小端朝向光强检测仪，所述遮光板大端固定在载物台上。
[0018]通过采用上述技术方案，能够提升光强检测仪对照射灯光照强度检测的精准性。
[0019]优选的，所述载物台位于机柜内部，所述载物台两侧均设置有滑轨，所述滑轨与机柜连接，并且所述载物台设置在滑轨上，并且所述机柜上开设有供载物台通过的通道。
[0020]通过采用上述技术方案，载物台能够滑动至机柜外侧，便于放置产品，并且机柜能够将照射灯与机柜外接隔绝，从而降低机柜外界光源对光强检测仪检测精度的影响。
[0021]优选的，所述机柜内部还设置有喷头和用于控制喷头工作的控制阀。
[0022]通过采用上述技术方案，能够通过喷头向机柜内部通入氮气等惰性气体，从而降低氧气和水汽对UV解胶的影响
[0023]优选的，所述喷头呈圆盘状设置并位于晶圆放置区上方。
[0024]通过采用上述技术方案，有助于提升喷气的均匀性。
[0025]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0026]1.光强检测仪能够对照射灯的光照强度进行准确检测，将光照强度数据传输给自动控制系统后，自动控制系统根据额定光照能量自动计算光照时间，因此能够对照射灯的光照能量进行精准计算，从而提升UV解胶效果；
[0027]2.电机能够带动灯座沿滑轨移动，并且长条状的照射灯有助于对UV膜进行扫射，提升灯光照射的均匀性；
[0028]3.遮光板能够对光强探测仪和载物台之间的缝隙进行遮挡，降低其他光源对光强检测仪的影响，从而提升光强探测仪检测的精度。
附图说明
[0029]图1是本申请实施例1中半自动UV解胶机的结构示意图；
[0030]图2是本申请实施例1中用于展示载物台和机柜之间连接关系的示意图；
[0031]图3是本申请实施例1中用于展示灯座和导轨的结构示意图；
[0032]图4是本申请实施例2中半自动UV解胶机的结构示意图；
[0033]图5是图4中A部分的局部放大示意图。
[0034]附图中标记：1、机柜；11、导轨；12、灯座；13、电机；14、第一皮带轮；15、第二皮带轮；16、同步带；17、滑轨；2、载物台；21、晶圆放置区；22、遮光板；23、通光孔；3、照射灯；4、光强检测仪；5、自动控制系统；6、喷头；7、控制阀。
具体实施方式
[0035]以下结合附图1
‑
5对本申请作进一步详细说明。
[0036]实施例1：
[0037]本申请实施例公开一种半自动UV解胶机。参照图1和图2，半自动UV解胶机包括机柜1，机柜1内部设置有载物台2，载物台2两侧均设置有滑轨17，滑轨17设置为多级抽屉滑轨
并安装在机柜1内壁上，并且机柜1上开设有供载物台2通过的通道，因此工作人员能够拉动载物台2。载物台2上设置有晶圆放置区21，晶圆放置区21上能够放置粘附有晶圆或晶片的UV膜。晶圆放置区21的中心位置上开设有照射孔，照射孔的尺寸与晶圆的尺寸对应。
[0038]参照图2和图3，载物台2的下方设置有照射灯3，照射灯3设置为紫外线灯。照射灯3的灯光通过照射孔照射在放置于载物台2上的UV膜，从而完成UV膜的解胶。
[0039]参照图2和图3，载物台2的上方设置有光强检测仪4，载物台2上开设有通光孔23，光强检测仪4能够通过通光孔23对照射灯3的光强进行检测，机柜1上设置有自动控制系统5，自动控制系统5用于接收光强检测仪4的检测数据，并根据光强检测数据自动测算出UV解胶所需光照时间。
[0040]参照图3，机柜1的底部设置有导轨11，导轨11的长度方向与滑轨17的长度方向一致。导轨11上设置有灯座12，使得灯座12能够沿导轨11移动。照射灯3呈长条形设置并固定在灯座12上，照射灯3的长度方向与滑轨17的长度方向垂直。机柜1内壁上还安装有电机13，电机13的输出端固定有第一皮带轮14，机柜1内壁上安装有第二皮带轮15，第一皮带轮14和第二皮带轮15沿导轨11长度方向分布并且第一皮带轮14和第二皮带轮15通过同步带16连接，灯座12固定在同步带16上，因此电机13能够带动灯座1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半自动UV解胶机，其特征在于：包括机柜(1)、设置在机柜(1)上的载物台(2)以及照射灯(3)；所述载物台(2)上设置有晶圆放置区(21)，所述晶圆放置区(21)处开设有照射孔；所述照射灯(3)位于载物台(2)下方；所述照射灯(3)一侧还设置有光强检测仪(4)；所述机柜(1)上还设置有用于控制光照时间的自动控制系统(5)。2.根据权利要求1所述的半自动UV解胶机，其特征在于：所述机柜(1)内部设置有导轨(11)，所述导轨(11)上设置有灯座(12)，所述照射灯(3)设置在灯座(12)上；所述导轨(11)的一侧设置有用于驱动灯座(12)沿导轨(11)移动的电机(13)；所述自动控制系统(5)还用于控制电机(13)的转速。3.根据权利要求2所述的半自动UV解胶机，其特征在于：所述照射灯(3)呈长条形设置，并且所述照射灯(3)的长度方向与导轨(11)的长度方向垂直。4.根据权利要求1所述的半自动UV解胶机，其特征在于：所述载物台(2)上开设有通光孔(23)，所述光强检测仪(4)设置在载物台(2)的上...

【专利技术属性】
技术研发人员：戚孝峰，
申请(专利权)人：争丰半导体科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：