一种蓝宝石衬底退火炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种蓝宝石衬底退火炉，涉及退火炉技术领域，该一种蓝宝石衬底退火炉，包括退火炉体以及用于支撑退火炉体的支撑架，所述支撑架的上表面沿横向方向滑动连接有输送平台，所述输送平台的顶部设置有物料架，所述物料架上插接有硅钼棒，所述输送平台的数量两个，一个所述输送平台位于退火炉体的内部，另外一个所述输送平台位于退火炉体的外部；传动螺杆转动时，两个输送平台同步向左运动，直至位于退火炉体内部的输送平台横向移动至退火炉体的外部，而位于退火炉体外部的输送平台横向移动至退火炉体的内部，可替换使用两个输送平台上的硅钼棒，保证对蓝宝石衬底加热的连续性，提高了蓝宝石衬底的加工效率。提高了蓝宝石衬底的加工效率。提高了蓝宝石衬底的加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石衬底退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，具体是一种蓝宝石衬底退火炉。

技术介绍

[0002]蓝宝石晶体具有独特优良的理化性能，其透光范围为0.14～6.0μm，覆盖真空紫外、可见、近红外到中红外波段，且在3～5μm波段具有很高的光学透过率；具有高硬度(仅次于金刚石)、高强度、高热导率、高抗热冲击品质因子的力学及热学性能。蓝宝石以其综合性能最好，成为使用最广泛的氧化物衬底材料。同时蓝宝石晶体还是红外军用装置、导弹、潜艇、卫星空间技术、探测和高功率强激光等的优良窗口材料，优质光学材料，耐磨轴承材料等，尤其在导弹整流罩、潜艇窗口和原子钟等军品中具有不可替代的作用。随着智能手机和可穿戴设备的大规模普及流行，使用蓝宝石屏幕也将是其一大亮点。
[0003]在授权公告号为CN212895089U的中国专利中公开了一种高温蓝宝石晶体退火炉，包括退火炉体，退火炉体的内腔设置有支撑架，且支撑架的两端设置在退火炉体的两侧，支撑架的右端设置有控制箱，支撑架的两端均前后对称焊接有支撑侧板，两组支撑侧板之间横向安装有传动螺杆，且传动螺杆的两端分别贯穿两组支撑侧板的侧壁，本技术通过将硅钼棒均匀插接在物料架的顶部，且物料架与输送平台之间为插接固定，通过输送平台在传动螺杆上滑动，将带有硅钼棒的物料架运送到升降平台的部位，通过控制升降平台的升降，实现对硅钼棒的安装和拆卸，且能够同步在另一侧进行第二批硅钼棒的安装，方便对硅钼棒的更换，提高退火炉体的工作效率。
[0004]但是，上述技术方案还存在以下缺陷，通过传动螺杆的转动以及其与输送平台之间的螺纹作用，使输送平台能够向右滑动，在拆卸物料架的过程中，不能对蓝宝石衬底进行加热，只有在安装第二批物料架和硅钼棒后，并再次启动传动螺杆使输送平台向左滑动至退火炉炉体的内部，才能继续对蓝宝石衬底进行加工，不能保证加工蓝宝石衬底的连续性，降低了蓝宝石衬底的加工效率。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种蓝宝石衬底退火炉，旨在解决现有技术中退火炉加工蓝宝石衬底的效率较低的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种蓝宝石衬底退火炉，包括退火炉体以及用于支撑退火炉体的支撑架，所述支撑架的上表面沿横向方向滑动连接有输送平台，所述输送平台的顶部设置有物料架，所述物料架上插接有硅钼棒，所述输送平台的数量两个，一个所述输送平台位于退火炉体的内部，另外一个所述输送平台位于退火炉体的外部，两个所述输送平台的底部均固定连接有螺纹块，所述螺纹块的内部螺纹连接有传动螺杆，所述传动螺杆靠近其两端的位置均固定连接有轴承座，所述支撑架的一端固定连接有用于驱动传动螺杆转动的电机。
[0007]为了使得本技术具有横向滑动输送平台的作用，本技术的进一步的技术
方案为，所述支撑架的上表面沿横向方向固定安装有两个相互平行的导轨，所述输送平台的下表面固定安装有与导轨相适配的滑块。
[0008]为了使得本技术具有便于安装物料架的作用，本技术的进一步的技术方案为，所述输送平台的上表面开设有定位孔，所述物料架的下表面固定连接有与定位孔相对应的定位杆。
[0009]为了使得本技术具有安装硅钼棒的作用，本技术的进一步的技术方案为，所述物料架的上表面均匀开设有用于安装硅钼棒的插槽。
[0010]为了使得本技术具有固定物料架的作用，本技术的进一步的技术方案为，所述物料架具有四个侧面，所述输送平台的上表面固定连接有四组用于固定物料架的固定组件，四组所述固定组件分别设置在物料架的四侧。
[0011]为了使得本技术具有使物料架稳固的作用，本技术的进一步的技术方案为，所述固定组件包括固定安装在输送平台上表面边缘处的螺纹套，所述螺纹套的内部螺纹连接有锁紧螺杆，所述锁紧螺杆靠近物料架的一端固定连接有限位盘。
[0012]为了使得本技术具有防护的作用，本技术的进一步的技术方案为，所述退火炉体两侧均设置有防护门，所述防护门的顶部固定连接有连接杆，所述连接杆的顶部固定连接有顶板，所述顶板的上表面固定安装有用于带动顶板升降的伸缩部件。
[0013]为了使得本技术具有带动防护门升降的作用，本技术的进一步的技术方案为，所述伸缩部件为气缸或液压缸。
[0014]本技术的有益效果是：
[0015]1、位于退火炉体内部的硅钼棒需要更换时，通过启动电机带动传动螺杆转动，使得两个输送平台同步向左运动，直至位于退火炉体内部的输送平台横向移动至退火炉体的外部，而位于退火炉体外部的输送平台横向移动至退火炉体的内部，此时可拆卸并更换硅钼棒，在拆卸并更换一个物料架上的硅钼棒的过程中，另外一个物料架上的硅钼棒可使退火炉体继续工作，因此能够保证对蓝宝石衬底加热的连续性，提高了蓝宝石衬底的加工效率。
[0016]2、四组固定组件分别固定物料架的四个侧面，在横向移动输送平台的过程中，使得物料架固定的比较稳固，防止物料架固定不稳定导致硅钼棒产生晃动并损坏的问题，通过伸缩部件带动防护门下降，使得防护门能够遮挡住部分退火炉体，避免工作人员将手伸入至退火炉体的内部导致受伤的问题，有效的起到防护作用，同时也具有保温的作用。
附图说明
[0017]图1是本技术的具体实施例的立体结构示意图；
[0018]图2是本技术的具体实施例的输送平台结构示意图；
[0019]图3是本技术的具体实施例的硅钼棒结构示意图；
[0020]图4是图3正视结构示意图；
[0021]图5是本技术的具体实施例的定位孔结构示意图；
[0022]图6是本技术的具体实施例的物料架结构示意图；
[0023]图7是本技术的具体实施例的固定组件结构示意图；
[0024]图8是本技术的具体实施例的防护门结构示意图。
[0025]图中：1、退火炉体；2、支撑架；3、输送平台；4、物料架；5、硅钼棒；6、螺纹块；7、传动螺杆；8、轴承座；9、电机；10、导轨；11、滑块；12、定位孔；13、定位杆；14、插槽；15、固定组件；151、螺纹套；152、锁紧螺杆；153、限位盘；16、防护门；17、连接杆；18、顶板；19、伸缩部件。
具体实施方式
[0026]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明。
[0027]如图1
‑
8所示，一种蓝宝石衬底退火炉，包括退火炉体1以及用于支撑退火炉体1的支撑架2，支撑架2的上表面沿横向方向滑动连接有输送平台3，输送平台3的顶部设置有物料架4，物料架4上插接有硅钼棒5，输送平台3的数量两个，一个输送平台3位于退火炉体1的内部，另外一个输送平台3位于退火炉体1的外部，两个输送平台3的底部均固定连接有螺纹块6，螺纹块6的内部螺纹连接有传动螺杆7，传动螺杆7靠近其两端的位置均固定连接有轴承座8，支撑架2的一端固定连接有用于驱动传动螺杆7转动的电机9。
[002本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石衬底退火炉，包括退火炉体(1)以及用于支撑退火炉体(1)的支撑架(2)，所述支撑架(2)的上表面沿横向方向滑动连接有输送平台(3)，所述输送平台(3)的顶部设置有物料架(4)，所述物料架(4)上插接有硅钼棒(5)，其特征在于：所述输送平台(3)的数量两个，一个所述输送平台(3)位于退火炉体(1)的内部，另外一个所述输送平台(3)位于退火炉体(1)的外部，两个所述输送平台(3)的底部均固定连接有螺纹块(6)，所述螺纹块(6)的内部螺纹连接有传动螺杆(7)，所述传动螺杆(7)靠近其两端的位置均固定连接有轴承座(8)，所述支撑架(2)的一端固定连接有用于驱动传动螺杆(7)转动的电机(9)。2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底退火炉，其特征在于，所述支撑架(2)的上表面沿横向方向固定安装有两个相互平行的导轨(10)，所述输送平台(3)的下表面固定安装有与导轨(10)相适配的滑块(11)。3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底退火炉，其特征在于，所述输送平台(3)的上表面开设有定位孔(12)，所述物料架(4)的下表面固定连接有与定位孔(12)相对应的定位杆(13)。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：王慧芳，林传宝，
申请(专利权)人：焦作华瀚光电有限公司，
类型：新型
国别省市：