半导体设备制造技术

本申请公开了一种半导体设备。半导体设备包括壳体、多个第一支撑件、抽拉件及第二支撑件。壳体包括基板，基板包括安装面。第一支撑件设置在壳体，以支撑壳体，第一支撑件与所述安装面之间的距离可调节。抽拉件可移动地设置在安装面。及第二支撑件与抽拉件连接，抽拉件可带动第二支撑件移动，以使得第二支撑件在壳体的两端之间移动，第二支撑件与安装面之间的距离可调节。本申请实施方式的半导体设备中，当半导体设备需要做高度调节时，若存在位于死角的第一支撑件时，可通过抽拉件拉出第二支撑件，以调整第二支撑件与安装面之间的距离，并将第二支撑件移动至位于死角的第一支撑件附近，以替代该第一支撑件，从而完成对半导体设备的高度调节，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
半导体设备


[0001]本申请涉及半导体设备
，更具体而言，涉及一种半导体设备。

技术介绍

[0002]在处理工件时，为保证处理工件的效率，需要调节多个机台的高度相同。在调节机台的过程中，需要调节机台周围脚轮的高度，以调节机台的高度。然而，当机台放置在角落时，需要花费大量的时间改变机台的放置位置，以调节位于角落的脚轮的高度，导致工作效率降低。

技术实现思路

[0003]本申请实施方式提供一种半导体设备。
[0004]本申请实施方式的半导体设备包括壳体、多个第一支撑件、抽拉件及第二支撑件。所述壳体包括基板，所述基板包括安装面。所述第一支撑件设置在所述壳体，以支撑所述壳体，所述第一支撑件与所述安装面之间的距离可调节。所述抽拉件可移动地设置在所述安装面。及所述第二支撑件与所述抽拉件连接，所述抽拉件可带动所述第二支撑件移动，以使得所述第二支撑件在所述壳体的两端之间移动，所述第二支撑件与所述安装面之间的距离可调节。
[0005]本申请实施方式的半导体设备中，由于抽拉件可带动第二支撑件在壳体的两端之间移动，且第二支撑件与安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备，其特征在于，包括：壳体，所述壳体包括基板，所述基板包括安装面；多个第一支撑件，所述第一支撑件设置在所述壳体，以支撑所述壳体，所述第一支撑件与所述安装面之间的距离可调节；抽拉件，所述抽拉件可移动地设置在所述安装面；及第二支撑件，所述第二支撑件与所述抽拉件连接，所述抽拉件可带动所述第二支撑件移动，以使得所述第二支撑件在所述壳体的两端之间移动，所述第二支撑件与所述安装面之间的距离可调节。2.根据权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，所述第一支撑件包括：安装件，所述安装件设置在所述壳体的侧壁，所述安装件开设有第一连接孔；第一连接件，所述第一连接件的可移动的设置在所述第一连接孔；第一脚轮，所述第一脚轮与所述第一连接件连接，所述第一脚轮用于移动所述半导体设备，所述第一连接件移动时，可带动第一脚轮靠近或远离所述安装件。3.根据权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，所述半导体设备包括支撑板，所述支撑板设置在所述壳体的侧壁，所述支撑板开设有滑槽，所述抽拉件可移动的设置在所述滑槽内。4.根据权利要求3所述的半导体设备，其特征在于，所述滑槽沿第一方向或第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向垂直，所述第一方向平行于所述基板的短边方向或长边方向。5.根据权利要求3或4所述的半导体设备，其特征在于，所述滑槽内开设有多个开口，所述开口的延伸方向与所述滑槽的延伸方向一致。6.根据权利要求3或4所述的半导体设备，其特征在于，所述第二支撑件包括：第一连接板，所述第一连接板可移动地设置在所述滑槽内，所述第一连接板包...

【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，黄有为，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：