一种铁环翻转搬运装置制造方法及图纸

本技术公开了一种铁环翻转搬运装置，包括X轴伺服模组，X轴伺服模组上设有与之移动连接的Y轴伺服模组，Y轴伺服模组下端设有与之连接的铁环搬运架，铁环搬运架一端对称设有搬运臂，两个搬运臂远离铁环搬运架的另一端设有与之连接的翻转机构，两个翻转机构之间吸附有铁环。本技术的有益效果：使用真空吸盘和防掉落一体式结构，可以有效的避免铁环在拿取时的变形和在翻转过程中产品掉落的问题，减少产品的损坏，降低了企业的生产成本，提升了企业的生产良率，实现了铁环的翻转搬运。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体晶圆，具体为一种铁环翻转搬运装置。

技术介绍

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

2、晶圆铁环可以很好的将晶圆固定，使其在生产过程中周转运输时不会把昂贵的晶圆片碰伤或刮花，如申请号为：cn201921805345.9所公开的“一种晶圆铁环放置推车”，该方法只能实现晶圆贴片的堆叠存放，在制程使用时，还需人工拿取或通过夹持、吸附机械臂对铁片进行操作，人工在拿取时，存在对铁环损伤的风险，而夹持机械臂由于其在夹取铁环时，夹持力量不可控，而且铁环较薄，容易在夹持时将铁环夹持变形，影响后续的使用；吸附机械臂在吸附铁环时，虽不易对铁环造成损伤，但由于铁环在后续制程中还需进行翻转作业，在翻转的同时，吸附机械臂就容易导致铁环的掉落，从而导致铁环的损伤，影响铁环后续的使用。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种铁环翻转搬运装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种铁环翻转搬运装置，包括x轴伺服模组，所述x轴伺服模组上设有与之移动连接的y轴伺服模组，所述y轴伺服模组下端设有与之连接的铁环搬运架，所述铁环搬运架一端对称设有搬运臂，两个所述搬运臂远离所述铁环搬运架的另一端设有与之连接的翻转机构，两个所述翻转机构之间吸附有铁环。

3、进一步优化的，所述x轴伺服模组与所述y轴伺服模组之间设有相连接的固定板，通过x轴伺服模组带动固定板及y轴伺服模组运动。

4、进一步优化的，两个所述搬运臂与所述铁环搬运架连接端的内壁均设有与之固定连接的加强筋，保证铁环在搬运时的稳定。

5、进一步优化的，所述翻转机构包括设置于所述搬运臂一端的翻转气缸，所述翻转气缸驱动端设有与之连接的转轴，且所述转轴远离所述翻转气缸的另一端依次设有轴座及翻转架，翻转气缸通过转轴驱动，带动翻转架进行翻转。

6、进一步优化的，所述翻转架两侧对称设有向下延伸的防掉落延伸架，所述翻转架底部设有防掉落承接板，防掉落延伸架及防掉落承接板防止铁环在翻转时掉落损伤。

7、进一步优化的，所述翻转架位于两个所述防掉落延伸架的内侧对称设有至少两个真空吸管，两个所述真空吸管远离所述翻转架的下端均设有吸嘴，所述真空吸管与设置于所述翻转架内的气源管连接，通过真空吸管及吸嘴将铁环吸附搬运。

8、有益效果

9、本技术所提供的铁环翻转搬运装置，使用真空吸盘和防掉落一体式结构，可以有效的避免铁环在拿取时的变形和在翻转过程中产品掉落的问题，减少产品的损坏，降低了企业的生产成本，提升了企业的生产良率，实现了铁环的翻转搬运。

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【技术保护点】

1.一种铁环翻转搬运装置，其特征在于：包括X轴伺服模组(1)，所述X轴伺服模组(1)上设有与之移动连接的Y轴伺服模组(2)，所述Y轴伺服模组(2)下端设有与之连接的铁环搬运架(4)，所述铁环搬运架(4)一端对称设有搬运臂(5)，两个所述搬运臂(5)远离所述铁环搬运架(4)的另一端设有与之连接的翻转机构(6)，两个所述翻转机构(6)之间吸附有铁环(14)。

2.根据权利要求1所述的铁环翻转搬运装置，其特征在于：所述X轴伺服模组(1)与所述Y轴伺服模组(2)之间设有相连接的固定板(3)。

3.根据权利要求1所述的铁环翻转搬运装置，其特征在于：两个所述搬运臂(5)与所述铁环搬运架(4)连接端的内壁均设有与之固定连接的加强筋(15)。

4.根据权利要求1所述的铁环翻转搬运装置，其特征在于：所述翻转机构(6)包括设置于所述搬运臂(5)一端的翻转气缸(7)，所述翻转气缸(7)驱动端设有与之连接的转轴，且所述转轴远离所述翻转气缸(7)的另一端依次设有轴座(8)及翻转架(9)。

5.根据权利要求4所述的铁环翻转搬运装置，其特征在于：所述翻转架(9)两侧对称设有向下延伸的防掉落延伸架(10)，所述翻转架(9)底部设有防掉落承接板(11)。

6.根据权利要求5所述的铁环翻转搬运装置，其特征在于：所述翻转架(9)位于两个所述防掉落延伸架(10)的内侧对称设有至少两个真空吸管(12)，两个所述真空吸管(12)远离所述翻转架(9)的下端均设有吸嘴(13)，所述真空吸管(12)与设置于所述翻转架(9)内的气源管连接。

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【技术特征摘要】

1.一种铁环翻转搬运装置，其特征在于：包括x轴伺服模组(1)，所述x轴伺服模组(1)上设有与之移动连接的y轴伺服模组(2)，所述y轴伺服模组(2)下端设有与之连接的铁环搬运架(4)，所述铁环搬运架(4)一端对称设有搬运臂(5)，两个所述搬运臂(5)远离所述铁环搬运架(4)的另一端设有与之连接的翻转机构(6)，两个所述翻转机构(6)之间吸附有铁环(14)。

2.根据权利要求1所述的铁环翻转搬运装置，其特征在于：所述x轴伺服模组(1)与所述y轴伺服模组(2)之间设有相连接的固定板(3)。

3.根据权利要求1所述的铁环翻转搬运装置，其特征在于：两个所述搬运臂(5)与所述铁环搬运架(4)连接端的内壁均设有与之固定连接的加强筋(15)。

4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：周鹏程，
申请(专利权)人：争丰半导体科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：