制造磁复制用主载体的方法技术

本发明专利技术涉及具有凹凸形状的主载体，该主载体制作简易、成本低、精度好，它用于把伺服信号类信息信号磁复制在磁记录媒体上的磁复制方法中。该主载体是由金属盘３１Ａ构成的，金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜１１的圆板转动的同时，对应于信息照射调节好的激光或电子束，光致抗蚀剂膜１１显影后，在具有凹凸的原盘上进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。金属盘３１Ａ是采用Ｎｉ为主成分电镀制作的，在表面上设置相应必要的软磁性层３２。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磁复制用主载体，该主载体用于从载有信息的主载体向从属媒体进行磁复制的磁复制方法中。在磁记录媒体中，一般希望能记录的媒体是所谓的高速存贮器，它能随着信息量的增加记录多种信息，容量大价格便宜，最好能在短时间内读出必要的地方。以众所周知的高密度软盘为例，为了发挥其大容量，在狭窄的磁道幅度范围内正确地进行磁头扫描，能以高S/N比值再生信号的所谓跟踪伺服技术承担着大部分任务。在盘的1周中，把间隔的跟踪用伺服信号、地址信息信号、再生时标信号等作为所谓的预先格式进行记录。磁头通过读取这种预先格式信号校正自身的位置就能设定在正确的磁道上移动。现在被制作的预先格式是使用专用伺服记录装置逐张光盘并逐个磁道记录制成。不过，由于伺服记录装置价高且预先格式制作时间长，所以，这种制造成本中工艺占大部分，人们希望能降低其成本。虽然也有人提出每个磁道不写入预先格式而利用磁复制的方法。例如，特开昭63-183623、特开平10-40544和特开平10-269566介绍的复制技术。不过，在上述以往技术中，实际上并没有公开具体的措施，特别是在复制时附加的磁场条件和产生磁场的具体装置构成等实际形态是完全不明确的。例如，在特开昭63-183623和特开平10-40544公报中，磁复制用主载体表面是具有在基板表面上形成相应于信息信号的凹凸形状，至少在凹凸形状的凸表面上形成有强磁性薄膜，把该磁复制用主载体表面与形成有强磁性薄膜或强磁性粉涂布层的片状或盘状磁记录媒体表面接触，有时还附加再生交流偏置磁场或直流磁场，提供通过激发构成凸表面的强磁性材料激发把与凹凸形状对应着的磁化图形记录在磁记录媒体上的方法。在这种方法中，通过使预先格式化时的主载体凸形表面密接磁记录媒体即从属媒体的同时，激发构成凸部的强磁性材料，所以，这种方法是在从属媒体上形成预先格式的复制方法，能静静地进行记录而不用对磁复制用主载体和从属媒体的相对位置进行变化，能进行正确的预先格式记录，并且，记录所需的时间也是极短的。在磁记录媒体上记录伺服信号中使用磁复制方法的情况下，经过3.5型磁记录媒体(直径为3.5英寸)或2.5型磁记录媒体(直径为2.5英寸)的整个面积，在主载体的任意位置处都必须高精度配制形成1um单位以下的伺服图形。并且，因各个伺服图形能用信息编号表示，所以，必须能制作完全不同的图形形状。上述类型的微小图形虽然能根据半导体·磁头的石印技术来制作，但由于这种技术缩小原图的精度要求高，每次曝光中能制作的图形范围只能限定在2cm的角度范围内。在制作大面积图形的情况下，虽然能够重复记录这种2cm角图形形成范围，但由于只能制作同一图形，不能用于伺服记录方式中来形成前述完全不同的图形。在磁复制方法中，前述主载体能与从属媒体密接着进行磁复制，在反复的磁复制中，承载有信息的图形面形状磨损降低复制精度，或灰尘介入损伤都会缩短寿命，必须要更换主载体。因此，希望主载体制造容易且成本低。但在主载体基板上高精度曝光等形成每付微小图形时烦琐的质量管理不利于质量稳定性和降低生产成本。鉴于这些问题，本专利技术的目的是提供价格便宜、制作简单的磁复制用主载体。本专利技术的磁复制用主载体，是具有与复制信息相应的凹凸形状的磁复制用主载体，其特征在于该主载体是由金属盘构成的，该金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜的圆板进行转动的同时对应着信息照射调节好的激光或电子束，该光致抗蚀剂膜显影后在有凹凸的原盘上进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。本专利技术的另一种磁复制用主载体，是具有与复制的信息对应着的凹凸形状的磁复制用主载体，其特征在于该磁复制用主载体是金属盘构成的，该金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜的圆板进行转动的同时，对应着信息照射调节好的激光或电子束，该光致抗蚀剂膜显影后，对具有凹凸的第1原盘进行电镀，剥离第1原盘后对第2原盘进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。本专利技术还有一种磁复制用主载体，是具有与复制的信息对应着的凹凸形状的磁复制用主载体，其特征在于该磁复制用主载体是金属盘构成的，该金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜的圆板进行转动的同时，对应着信息照射调节好的激光或电子束，该光致抗蚀剂膜显影后，对带有凹凸的第1原盘进行电镀，剥离第1原盘后对第2原盘压付上树脂液进行硬化或进行电镀，剥离第2原盘后对第3原盘进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。本专利技术还有一种磁复制用主载体，是具有与复制的信息对应着的凹凸形状的磁复制用主载体，其特征在于该磁复制用主载体是金属盘构成的，该金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜的圆板进行转动的同时，对应着信息照射调节好的激光或电子束，该光致抗蚀剂膜显影的同时进行蚀刻处理，形成了凹凸后对除去了光致抗蚀剂膜且带有凹凸的原盘进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。本专利技术还有一种磁复制用主载体，是具有与复制的信息对应着的凹凸形状的磁复制用主载体，其特征在于该磁复制用主载体是金属盘构成的，该金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜的圆板进行转动的同时，对应着信息照射调节好的激光或电子束，该光致抗蚀剂膜显影的同时进行蚀刻处理，形成了凹凸后对除去光致抗蚀剂膜且带有凹凸的第1原盘压付树脂液进行硬化或进行电镀，剥离第1原盘后对第2原盘进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。本专利技术还有一种磁复制用主载体，是具有与复制的信息对应着的凹凸形状的磁复制用主载体，其特征在于该磁复制用主载体是金属盘构成的，该金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜的圆板进行转动的同时，对应着信息照射调节好的激光或电子束，该光致抗蚀剂膜显影的同时进行蚀刻处理，形成了凹凸后对除去光致抗蚀剂膜且带有凹凸的第1原盘压付树脂液进行硬化或进行电镀，剥离第1原盘后给第2原盘压付树脂液进行硬化或进行电镀，剥离第2原盘后对第3原盘进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。前述圆板是玻璃或石英；前述金属盘的主成分为Ni；前述凹凸深度为80nm-800nm，最好为150nm-600nm。在去掉前述模体后的金属盘凹凸形状上设置有软磁性层；在前述金属盘凹凸形状和软磁性层之间设置有非磁性层；前述软磁性层的厚度为50nm-500nm，最好为150nm-400nm；在最上层设置有类似金刚石碳的保护膜。前述凹凸形状在半径方向上是长的，这种凹凸形状半径长度为0.3-20um，圆周长为0.2-5um，可以选择这个范围内的半径方向为长型的形状作为承载伺服信号信息的形状。前述电镀适用于包括无电解电镀、电铸、溅喷、离子电镀各种金属成膜法。使用前述的磁复制用主载体的磁复制方法，是使承载有主载体信息的面和从属媒体表密接并附加复制用磁场来进行的。例如，使用磁复制用主载体和接受复制的从属媒体，该磁复制用主载体是由金属盘构成的，该金属盘是由具有与上述信息相应的凹凸形状的强磁性金属制作的，或者该金属盘的凹凸形状表面部分中形成有软磁性层，预备着的从属媒体磁化时沿磁道方向进行初期直流磁化，使前述主载体与前述初期直流磁化了的从属媒体密接，在与该从属媒体面的初期直流磁化方向近相反的方向中附加复制用磁场进行磁复制。前述金属盘的凹凸形状相应于激光或电子束照射图形既可以是正状图形也可以是反状图形，也就是说，即使凹凸反向，在磁复制工序中如果使初期磁化和复制用磁场方向相反，也能得到相同的磁复制图形。根据上本文档来自技高网...

【技术保护点】
磁复制用主载体，具有与复制的信息对应着的凹凸形状，其特征在于该磁复制用主载体是金属盘构成的，该金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜的圆板进行转动的同时，对应着信息照射调节好的激光或电子束，该光致抗蚀剂膜显影后，对带有凹凸的原盘进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。

【技术特征摘要】
JP 2000-3-10 2000-0661221.磁复制用主载体，具有与复制的信息对应着的凹凸形状，其特征在于该磁复制用主载体是金属盘构成的，该金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜的圆板进行转动的同时，对应着信息照射调节好的激光或电子束，该光致抗蚀剂膜显影后，对带有凹凸的原盘进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。2.磁复制用主载体，具有与复制的信息对应着的凹凸形状，其特征在于该磁复制用主载体是金属盘构成的，该金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜的圆板进行转动的同时，对应着信息照射调节好的激光或电子束，该光致抗蚀剂膜显影后，对具有凹凸的第1原盘进行电镀，剥离第1原盘后对第2原盘进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。3.磁复制用主载体，具有与复制的信息对应着的凹凸形状，其特征在于该磁复制用主载体是金属盘构成的，该金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜的圆板进行转动的同时，对应着信息照射调节好的激光或电子束，该光致抗蚀剂膜显影后，对带有凹凸的第1原盘进行电镀，剥离第1原盘后对第2原盘压付上树脂液进行硬化或进行电镀，剥离第2原盘后对第3原盘进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。4.磁复制用主载体，具有与复制的信息对应着的凹凸形状，其特征在于该磁复制用主载体是金属盘构成的，该金属盘的制作是把涂布有光致抗蚀剂膜的圆板进行转动的同时，对应着信息照射调节好的激光或电子束，该光致抗蚀剂膜显影的同时进行蚀刻处理，形成了凹凸后对除去了光致抗蚀剂膜且带有凹凸的原盘进行电镀，去掉金属模体后进行最终剥离。5.磁复制用主载体，具有与复制的信息对应着的凹凸形状，其特征在于该磁复制用主载体是金属盘构成的，该金属盘的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：长尾信，渡辺清一，西川正一，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]