磁头定位装置以及使用它的磁盘装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种磁头定位装置以及使用它的磁盘装置，其中磁头定位装置具有通过在构成微动作动器（５２）的压电元件内流过的电流，检出微动作动器（５２）劣化的劣化检出部（６３），在检测出劣化时用于恢复其劣化的性能恢复部（６４）。微动驱动部（６９）除了生成微动驱动信号功能之外，也有产生用于检出劣化的预定电压的功能或输出用于恢复劣化的高电压的功能。由此，即使发生由电短路产生的定位性能劣化，也能提供实现长寿命、稳定的定位控制。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有二级构造的作动器的磁头定位装置以及使用它的磁盘装置。主作动器主要用于搜索动作或多个磁道跳跃等的大移动，通过音圈马达等以安装在金属架上的轴为中心使磁头支持机构旋转，使磁头支持机构，磁头以及磁头滑动架等移动。辅助作动器主要用于进行磁道跟踪或1磁道跳跃等的高速微小的定位，通过作为压电元件的压电(piezo)元件等，在磁头支持机构前端部可动范围窄而被宽带域控制，对磁头以及磁头滑动架进行驱动。具有主作动器和辅助作动器的作动器部一般称为二级作动器或称为级联控制作动器，主作动器称为粗动作动器，辅助作动器称为微动作动器。在现有的磁盘装置中，以磁头作为移动部件，通常使用只利用音圈马达(以下称为VCM)的作动器。可是，在用于横切数千、数万道磁道，使磁头高速移动的作动器中，以1磁道的几十分之一精度进行磁头定位是有限度的。因此，提出了依靠二级作动器的磁头定位机构(例如，特开平10-255418号公报)，即，如前所示，作为磁头定位部件，在以VCM作为驱动部件的粗动作动器驱动的磁头支持机构上，作为微动作动器，还装载由控制电压微动驱动压电元件的压电作动器或装载与VCM类似构造的电磁型微动作动器的二级作动器。此外，也提出了在用粗动作动器驱动的磁头支持机构上，作为微动作动器，装载作为压电元件的压电(piezo)元件，利用压电元件的压电效果和反压电效果两功能，可高速高精度定位控制的二级驱动控制方法(例如，特开昭60-35383号公报)。可是，近年来伴随电子设备小型化，便携化，小型磁盘的利用急速发展。因此，在磁盘装置用的驱动机的小型化也在发展，例如，也提出了利用使用压电薄膜的压电元件，实现小型微动作动器的方法。图4是示出依靠用压电薄膜的压电元件的微动作动器一例的图。如图4所示，微动作动器90的一端固定在磁头支持机构99的前端部分上。压电元件借助中心材料91具有2片压电薄膜92、93。这些压电薄膜92、93的外侧上，分别通过电镀等形成电极92a，93a，分别向任意方向施以极化处理。压电元件如以上所示地构成，作为微动作动器90动作。一旦在压电元件的电极92a，93a上施加电压，则压电薄膜93伸张，而压电薄膜92则缩小。这样，通过压电薄膜92，93的缩小、伸张作用产生的变位，压电元件如图4所示地弯曲。即，例如在压电元件的前端部上设置磁头，通过由施加电压产生的变位，使压电元件的前端部的磁道移动等的动作成为可能。换言之，使微动作动器90通过这样的动作进行定位成为可能。这样的压电元件相对施加相同电压，压电薄膜厚度越薄，则得到越高的电场。因此，希望压电薄膜92，93尽可能薄。一方面，厚度越薄，则其压电薄膜92，93的机械强度或电气绝缘性越低。因此，压电薄膜92，93的厚度通过综合地评估畸变特性和机械强度、绝缘特性等决定。即，形成薄膜状的压电薄膜92，93在另一方面非常脆，也具有所谓通过对其处理容易产生裂痕等缺陷。因此，检测在压电薄膜92，93上产生裂痕等极其重要。由于检测这样的压电薄膜92，93产生的裂痕等缺陷，通过金属显微镜等的表面观测非常困难，所以使用超声波探伤计。此外，提出检测由压电元件变位产生的电流，通过显示其检测结果，发现其异常的方法(例如，特开平11-354852号公报)。此外，在压电元件制造工序中，如在压电薄膜内混入杂质，在混入该杂质的部分变得容易产生这样的缺陷。由杂质混入产生的缺陷部分除了引起上述的裂痕之外，也有所谓引起绝缘破坏特性的劣化的问题。即，一旦绝缘破坏特性劣化，压电元件不能充分地进行伸缩动作，作为微动作动器的定位精度下降，使定位动作变得不可能。因此，也提出了一种方法，即，对于因混入杂质等使绝缘破坏特性劣化，在检查阶段通过绝缘破坏除去与压电薄膜缺陷部对应部分，在压电薄膜的缺陷部上局部地不施加电压(例如，特开平2001-88310号公报)。然而，在现有例中说明的检测微动作动器缺陷的方法或通过绝缘破坏除去缺陷部分的方法在压电元件的检查阶段进行。因此，对于在压电薄膜内部潜在地存在，而在检查阶段不显现的潜在缺陷，不能在检查阶段防止于未然。此外，一旦有潜在缺陷的压电元件用于微动作动器，则微动驱机构自身的定位动作因该缺陷部分而加速劣化，存在所谓短时间内产生变位特性劣化的问题。即，在压电薄膜内部初期不显现的缺陷在检查阶段不能被察觉。一方面由于在微动作动器那样的定位动作中利用压电元件的方法是利用机械畸变，所以压电元件自身处于由该动作频繁地受到机械应力的状态。一旦压电元件自身受这样的机械应力，则进行由杂质等引起缺陷部分放大等的缺陷部分变形。通过重复该过程，初期不显现的缺陷作为变位特性的劣化有可能显现。换言之，即使在检查阶段是正常的，压电元件自身变位的重复，加速了杂质等缺陷部分引起的特性劣化，与正常情况下的寿命相比，成为短寿命。这样，利用压电元件的微动作动器与电容器等电子部件比较，利用了机械的畸变。因此，压电元件自身变位的重复加速了在初期阶段不能发现的缺陷产生的特性劣化。其结果，例如有可能产生薄膜内的缺陷部分引起的静电容量或电阻降低等变位特性劣化或进一步产生压电元件的破坏。因此，一旦在构成磁头定位装置的微动作动器中使用具有潜在缺陷的压电元件，则在短时间内定位精度劣化，接着存在不能进行定位动作那样的问题。为了解决上述任务，本专利技术的磁头定位装置作为磁头定位部件，具有由压电元件进行微定位的微动作动器部和进行粗定位的粗动作动器部构成的作动器。此外，还具有通过测定压电元件的电特性，检测电特性有无劣化，检出由压电元件缺陷部分产生的微动作动器部性能劣化的劣化检测部件，和在检测压电元件电特性劣化时，通过在压电元件上施加高电压、恢复由压电元件缺陷部分产生的微动作动器部性能劣化的性能恢复部件。通过该构成，即使构成微动作动器部的压电元件在装入本磁头定位装置内的状态下引起变位特性劣化，劣化检测部件也以该变位特性劣化作为电特性劣化检测出。此外，在产生这样的电特性劣化的情况下，性能恢复部件把高电压施加在压电元件上。由此，可恢复微动作动器部性能的劣化。即，劣化检测部件在预先设定磁头定位装置的启动时间等时，测定微动作动器部的电特性。此外，根据该测定结果，检出构成微动作动器部的压电元件有无劣化。在检出劣化的情况下，在预定的期间在压电元件上施加由性能恢复部件生成的高电压。其结果，在劣化因素是由于压电元件内的电短路或绝缘破坏特性劣化引起时，通过加的高电压能够除去其因素。因此，根据本专利技术，检出由压电元件潜在的缺陷引起的微动作动器部的性能劣化，此外，因为在检出劣化的情况下，可使劣化的性能恢复，所以能够实现长寿命稳定的定位控制。本专利技术的磁头定位装置的构成是这样的，上述劣化检测部件将在压电元件内流过的电流作为电特性来测定，在测定的前述电流值超过正常电流值范围时，检出由压电元件缺陷部分引起微动作动器部性能的劣化。通过该构成，劣化检测部件在预先设定磁头定位装置的启动时间等时，检出在微动作动器部内流过的电流值。此外，根据该电流值，检测出构成微动作动器部的压电元件有无劣化。在检测出劣化的情况下，在预定时间内向在压电元件上施加由性能恢复部件生成的高电压。其结果，在劣化原因是由于压电元件内的电短路或绝缘破坏特性劣化引起时，通过所加的高电压能够除去该原因。因此，根据本发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁头定位装置，其包括作为磁头定位部件的、由通过压电元件进行微定位的微动作动器部和进行粗定位的粗动作动器部构成的作动器，其特征为，具有：通过测定所述压电元件的电特性、检测所述电特性有无劣化，来检测由所述压电元件的缺陷部分引起的所述微动 作动器部性能劣化的劣化检测部件，以及在检测出所述压电元件的所述电特性劣化时，通过在所述压电元件上施加高电压，使由所述压电元件的所述缺陷部分引起的所述微动作动器部性能劣化恢复的性能恢复部件。

【技术特征摘要】
JP 2001-11-5 2001-3391061.一种磁头定位装置，其包括作为磁头定位部件的、由通过压电元件进行微定位的微动作动器部和进行粗定位的粗动作动器部构成的作动器，其特征为，具有通过测定所述压电元件的电特性、检测所述电特性有无劣化，来检测由所述压电元件的缺陷部分引起的所述微动作动器部性能劣化的劣化检测部件，以及在检测出所述压电元件的所述电特性劣化时，通过在所述压电元件上施加高电压，使由所述压电元件的所述缺陷部分引起的所述微动作动器部性能劣化恢复的性能恢复部件。2.根据权利要求1所述的磁头定位装置，其特征为，构成所述微动作动器的所述压电元件由压电薄膜构成。3.根据权利要求2所述的磁头定位装置，其特征为，在所述性能恢复部件检测出由所述压电元件的缺陷部分引起的所述微动作动器部性能劣化时，在所述压电元件上施加所述交流高电压。4.根据权利要求1所述的磁头定位装置，其特征为，所述劣化检测部件以所述压电元件内流过的电流作为所述电特性进行测定，在测定的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高祖洋，桑岛秀树，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]