一种七轴机械手臂及去胶机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种七轴机械手臂及去胶机，所述七轴机械手臂包括：五轴夹取装置，包括：旋转机构和转动连接所述旋转机构的四个夹取机构；水平运动机构，所述水平运动机构滑动连接所述旋转机构；竖直运动机构，所述竖直运动机构滑动连接所述水平运动机构。本实用新型专利技术解决了晶圆的夹取机构自由度低，水平移动范围较小的问题。较小的问题。较小的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种七轴机械手臂及去胶机


[0001]本技术涉及半导体行业晶片领域，尤其涉及一种七轴机械手臂及去胶机。

技术介绍

[0002]目前，在晶圆的去胶、清洗工艺中，需要对晶圆进行转移。具体的，晶圆在去胶后，晶圆上沾有去胶液及其他杂质，通过晶圆夹取装置将晶圆依次放入片盒中，再将片盒放入浸泡装置中清洗晶圆。
[0003]现有的晶圆夹取装置，通过旋转机构以及旋转机构上的直线运动机构实现夹取机构在水平方向的运动，但是旋转机构上的直线运动机构尺寸受旋转机构尺寸限制，直线运动机构的运动范围较小，不能长距离水平运动，因此不能用于大型去胶机或组合式去胶机。

技术实现思路

[0004]因此，本技术实施例提供一种七轴机械手臂，解决了晶圆的夹取机构自由度低，水平移动范围较小的问题。
[0005]一方面，本技术实施例提供一种七轴机械手臂，包括：五轴夹取装置，包括：旋转机构和转动连接所述旋转机构的四个夹取机构；水平运动机构，所述水平运动机构滑动连接所述旋转机构；竖直运动机构，所述竖直运动机构滑动连接所述水平运动机构。
[0006]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述水平运动机构能够带动所述五轴夹取装置在水平面上进行直线运动，从而扩大了所述七轴机械手臂的夹取范围，弥补了所述旋转机构上，所述夹取机构本身的直线运动范围有限的问题。
[0007]在本技术第一个实施例中，所述水平运动机构包括：支撑板；滑动板，位于所述支撑板的一侧；水平运动支架，位于所述支撑板相对所述滑动板的另一侧，并连接所述滑动板。
[0008]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述水平运动支架卡设于所述支撑板上，实现了所述五轴夹取装置的固定；所述滑动板用于传递动力，带动所述水平运动支架运动。
[0009]在本技术第一个实施例中，所述水平运动机构还包括：至少一个水平从动组件，滑动连接所述水平运动支架；水平驱动组件，连接所述水平运动支架，能够带动所述水平运动支架在所述水平从动组件上滑动。
[0010]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述水平从动组件用于固定所述五轴夹取装置，所述水平驱动组件用于给水平运动支架和/或所述五轴夹取装置提供水平运动的动力。
[0011]在本技术第一个实施例中，所述水平从动组件包括拖链组件和/或至少一个滑块导轨组件。
[0012]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述拖链用于保护线路，使线路能够跟随所述五轴夹取装置移动；所述滑块导轨组件能够支撑所述滑动板。
[0013]在本技术第一个实施例中，所述水平驱动组件包括：同步带组件，包括：同步
带、以及配合所述同步带的同步带轮和齿条；其中，所述齿条连接所述滑动板。
[0014]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述同步带轮用于接收电机的动力，带动所述同步带运动，所述齿条跟随所述同步带运动，并带动所述滑动板运动。
[0015]在本技术第一个实施例中，所述旋转机构还包括：转轴以及驱动所述转轴的电机；其中，所述电机位于所述水平运动支架内，所述转轴连接并伸出所述水平运动支架。
[0016]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述转轴用于带动四个所述夹取机构旋转；所述电机安装于所述水平运动支架内能够充分利用安装空间。
[0017]在本技术第一个实施例中，所述五轴夹取装置还包括：底板，与所述转轴伸出所述水平运动支架的一端固定；其中，所述夹取机构连接所述底板的顶面和/或底面。
[0018]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述底板用于能够固定所述转轴、支撑四个所述夹取机构、并且传递所述转轴的动力。
[0019]在本技术第一个实施例中，每个所述夹取机构包括：第二滑块导轨组件，连接所述底板的顶面或底面；夹取臂，连接所述第二滑块导轨组件。
[0020]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述底板的顶面或底面均能够用于安装第二滑块导轨组件；其中，所述底板的顶面或底面各设置1
‑
2个所述第二滑块导轨组件能够充分利用所述底板的安装空间，相比将所有所述第二滑块导轨组件设于同一侧，所述底板的尺寸更小。
[0021]在本技术第一个实施例中，所述竖直运动机构包括：丝杆组件和至少一个第三滑块导轨组件。
[0022]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述竖直运动机构通过电机和所述丝杆组件驱动所述水平运动机构，并通过所述第三滑块导轨组件支撑所述水平运动机构。
[0023]另一方面，本技术实施例提供一种去胶机，包括上述任意一个实施例所述的七轴机械手臂。
[0024]采用该技术方案后所达到的技术效果：所述去胶机在搬运晶圆时，具有更大的运动范围和自由度。
[0025]综上所述，本申请上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：
[0026]i)所述七轴机械手臂通过所述水平运动机构能够实现水平方向的直线运动，增加了所述夹取装置的运动自由度以及运动范围。
[0027]ii)所述水平运动支架能够支撑所述五轴夹取装置，传递所述水平驱动组件的动力，并且为所述旋转机构提供安装空间。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1为本技术第一实施例提供的一种七轴机械手臂100的结构示意图。
[0030]图2为图1中水平运动支架123和旋转机构111的连接示意图。
[0031]图3为图1中水平运动机构120的结构示意图。
[0032]图4为图3中水平运动机构120另一视角的结构示意图。
[0033]图5为图4中A
‑
A方向的剖视图。
[0034]图6为图1中滑动板122与水平从动组件124、水平驱动组件125的连接示意图。
[0035]图7为图6中I区域的放大图。
[0036]图8为图6中水平驱动组件125和水平运动支架123的连接示意图。
[0037]图9为图1中五轴夹取装置110的结构示意图。
[0038]图10为图9中夹取机构112和底板113的连接示意图。
[0039]图11为图1中竖直运动机构130的结构示意图。
[0040]图12为本技术第二实施例提供的一种去胶机200的结构示意图。
[0041]主要元件符号说明：
[0042]100为七轴机械手臂；110为五轴夹取装置；111为旋转机构；1111为转轴；1112为限位套件；112为夹取机构；1121为第二滑块导轨组件；1122为夹取臂；113为底板；120为水平运动机构；121为支撑板；122为滑动板；1221为齿条安装槽；123为水平运动支架；1231为侧板；1232为连接板；123本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种七轴机械手臂，其特征在于，包括：五轴夹取装置，包括：旋转机构和转动连接所述旋转机构的四个夹取机构；水平运动机构，所述水平运动机构滑动连接所述旋转机构；竖直运动机构，所述竖直运动机构滑动连接所述水平运动机构。2.根据权利要求1所述的七轴机械手臂，其特征在于，所述水平运动机构包括：支撑板；滑动板，位于所述支撑板的一侧；水平运动支架，位于所述支撑板相对所述滑动板的另一侧，并连接所述滑动板。3.根据权利要求2所述的七轴机械手臂，其特征在于，所述水平运动机构还包括：至少一个水平从动组件，滑动连接所述水平运动支架；水平驱动组件，连接所述水平运动支架，能够带动所述水平运动支架在所述水平从动组件上滑动。4.根据权利要求3所述的七轴机械手臂，其特征在于，所述水平从动组件包括拖链组件和/或至少一个滑块导轨组件。5.根据权利要求3所述的七轴机械手臂，其特征在于，所述水平驱动组件包括：同步带组件，包...

【专利技术属性】
技术研发人员：王冲，沈云清，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：