光学信息记录介质用银合金反射膜,为此的银合金溅射靶和光学信息记录介质制造技术

技术编号:3055110 阅读:153 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种银合金反射膜用于光学信息记录介质并包含作为主成分的Ag、总共1-10原子%的选自Nd、Gd、Y、Sm、La和Ce中的至少一种,以及总共2-10原子%的选自Li、Mg、Al、Zn、Cu、Pt、Au、Pd、Ru和Rh中的至少一种。反射膜优选还包含0.01-3原子%的Bi和Sb中的至少一种和/或2-10原子%的选自In、Sn和Pb中的至少一种。一种光学信息记录介质包括该银合金反射膜。一种银合金溅射靶具有与该银合金反射膜相同的组成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于光学信息记录介质的银(Ag)合金反射膜,用于沉积该反射膜的银合金溅射靶,以及光学信息记录介质。更具体地说,本专利技术涉及反射膜,其具有低热导率、低熔化温度、高反射系数和高耐腐蚀性,从而能在光学信息记录介质如CD、DVD、蓝光光盘和HD-DVD的制备后,典型用激光在该介质上标记,如典型地根据色同步切断区(BCA)规格,标记号的标记。本专利技术还涉及用于沉积该反射膜的溅射靶,以及具有该反射膜的光学信息记录介质。
技术介绍
光学信息记录介质(光盘)包括各种类型,归类为写/读系统的三种主要类型是只读、一次性写入和可重写光盘。在这些光盘中,只读光盘在制备光盘时将由凹陷和凸起坑形成的数据记录在诸如聚碳酸酯基材的透明塑料基材上,并在所记录数据上设置主要包含例如Al、Ag或Au的反射层,如图1所示。通过检测施加在光盘上的激光束的相差或反射系数差异来读取数据。某些光盘包括包含记录坑和布置在记录坑上的反射层的基材,以及带有记录坑和布置在该记录坑上的半反射层的另一种基材。将这两种基材层压,读取记录在两层上的数据。记录在这种记录/读取系统的一面上的数据是只读数据,它不能再写和改变,采用这种系统的光盘包括CD-ROM、DVD-ROM和DVD-Video。图1是只读光盘剖面结构的示意图。图1中的光盘包括聚碳酸酯基材1和5、半反射层(Au、Ag合金和Si)2、粘合剂层3和总反射层(Ag合金)4。这些只读光盘被大量制造,并通过用带有信息图案的压模按压制造光盘来记录信息。因此,ID不能有效赋予单个光盘。然而,光盘制备后单独具有用诸如标签闸门系统或色同步切断区(BCA)系统的专用系统形成的ID的只读光盘被标准化,典型地为了防止未授权拷贝,提高产品分销中的示踪能力,并提高产品的附加值。ID标记(记录)主要通过制造后在光盘上施加激光束,以熔化反射膜中的Al合金,并在膜中形成孔的方法进行。铝合金如根据日本工业标准(JIS)6061的Al-Mg合金被大量制造作为常用的结构材料,而且很便宜,因此广泛用作只读光盘的反射膜。相反,具有更高反射系数的Ag合金被广泛用于可记录的(一次性写入和可再写的)光盘。然而这些材料都具有高热导率,需要高的激光功率来标记,从而损坏包括聚碳酸酯基材和粘合剂层的基底材料。另外,它们的耐腐蚀性低,而且当激光标记后置于高温和高湿条件下时,激光标记形成的孔隙招致反射膜腐蚀。包含Ag合金的反射膜在高温下由Ag的热稳定性差而导致的Ag反射膜内聚而使反射系数降低。此外,这些Ag合金反射膜在它们通常用于只读介质中并长时间暴露在太阳光或荧光下时,其反射系数会降低并变色。这也许是因为Ag溶解或由于反射膜与的其它成分如聚碳酸酯基材界面处的反应而形成了反应产物层。日本公开(未审查)专利申请公布(JP-A)1992-252440(Hei 04-252440)公开了通过在Ag中结合Ge、Si、Sn、Pb、Ga、In、Tl、Sb或Bi来降低Ag合金的热导率的方法。JP-A 1992-28032(Hei 04-28032)公开了通过在Ag中结合Cr、Ti、Si、Ta、Nb、Pt、Ir、Fe、Re、Sb、Zr、Sn或Ni来降低Ag合金的热导率的方法。然而,根据这些技术得到的反射膜往往不能通过激光照射熔化和消除,且其中某些随着其热导率降低还表现出熔化温度提高。仍然没有提供满足作为激光标记用Ag合金的要求的银合金(Ag合金)。本专利技术人通过在Ag中结合例如Nd、Sn、Gd和/或In,已经开发出了具有改进的热导率、激光束吸收率和防腐性能并适于激光标记的Ag合金(日本专利申请2004-208686和2005-67262)。然而,采用这些材料的薄膜随着所加入的元素含量的增加,尽管它们显示出热导率降低且激光束吸收率提高,但光稳定性降低。因此,仍然需要提供既有优异的激光标记能力,又有较高的耐候性和耐光性的材料。激光束吸收率、耐光性和耐候性是起以下作用的反射膜的性能。具体而言,激光束吸收率提高更容易用激光束标记反射膜,即它改善了激光标记能力。耐光性提高抑制了暴露在太阳光或荧光下造成的反射系数降低和变色。耐候性提高防止了由于高温和高湿条件下Ag的腐蚀或内聚造成的反射系数的降低。因此,为激光标记提供的Ag合金反射膜应该具有低热导率、高激光束吸收率、优异的耐候性和优异的耐光性。如上所述,为激光标记提供的Ag合金反射膜必须具有低热导率、高激光束吸收率、优异的耐候性和优异的耐光性。现有的只读光盘用反射膜采用JIS 6061系列的Al合金,但这些Al合金不满足激光标记对热导率和耐腐蚀性(耐候性)的要求。
技术实现思路
在这些情况下,本专利技术的一个目的是提供一种光学信息记录介质用Ag合金反射膜,它在用于只读光盘时容易用激光束标记。本专利技术另一个目的是提供一种带有该反射膜的光学信息记录介质,以及一种用于沉积该反射膜的溅射靶。在为了实现以上目的进行的深入细致的研究后,本专利技术的专利技术人发现,包含Ag和特定含量的特定合金元素的Ag合金薄膜具有低热导率和高耐候性及耐光性,并用作适合作为光学信息记录介质用反射膜的反射薄层(薄金属层),所述的光学信息记录介质能满意地进行激光标记。本专利技术已基于这些结论而得以完成,并实现了以上目的。因此,本专利技术涉及光学信息记录介质用Ag合金反射膜、光学信息记录介质,以及用于沉积该Ag合金反射膜的Ag合金溅射靶,并在第一方面提供了光学信息记录介质用Ag合金反射膜,在第二方面提供了光学信息记录介质,并且在第三方面提供了用于沉积该Ag合金反射膜的Ag合金溅射靶。具体而言,本专利技术在第一方面提供了一种光学信息记录介质用Ag合金反射膜,其包含作为主成分的Ag、总共1-10原子%的选自Nd、Gd、Y、Sm、La和Ce中的至少一种,以及总共2-10原子%的选自Li、Mg、Al、Zn、Cu、Pt、Au、Pd、Ru和Rh中的至少一种。该Ag合金反射膜可还包含0.01-3原子%的Bi和Sb中的至少一种。该Ag合金反射膜还可包含2-10原子%的选自In、Sn和Pb中的至少一种以代替Bi和Sb中的至少一种,或除Bi和Sb中的至少一种外,还包含2-10原子%的选自In、Sn和Pb中的至少一种。本专利技术在第二方面还提供了一种包含根据第一方面的Ag合金反射膜的光学信息记录介质。在该光学信息记录介质中,Ag合金反射膜可具有由激光束的作用形成的识别标记。该光学信息记录介质可含两层或更多层Ag合金反射膜,且该两层或更多层可具有相同的组成。另外而且有益的是,本专利技术在第三方面提供了一种用于沉积光学信息记录介质用Ag合金反射膜的Ag合金溅射靶,其包含作为主成分的Ag、总共1-10原子%中的至少一种选自Nd、Gd、Y、Sm、La和Ce的元素,以及总共2-10原子%中的至少一种选自Li、Mg、Al、Zn、Cu、Pt、Au、Pd、Ru和Rh的元素的。该Ag合金溅射靶可还包含0.01-3原子%的Sb。该Ag合金溅射靶可还包含0.03-10原子%的Bi。该Ag合金溅射靶可还包含2-10原子%的选自In、Sn和Pb中的至少一种以代替Sb和/或Bi,或除Sb和/或Bi外,还可包含2-10原子%的选自In、Sn和Pb中的至少一种。根据本专利技术的光学信息记录介质用Ag合金反射膜在用于只读光盘时容易用激光束标记。根据本专利技术本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种光学信息记录介质用Ag合金反射膜,其包含:作为主成分的Ag;总共1-10原子%的选自Nd、Gd、Y、Sm、La和Ce中的至少一种;和总共2-10原子%的选自Li、Mg、Al、Zn、Cu、Pt、Au、Pd、Ru和Rh中的至少一种。

【技术特征摘要】
JP 2005-7-22 2005-2132031.一种光学信息记录介质用Ag合金反射膜,其包含作为主成分的Ag;总共1-10原子%的选自Nd、Gd、Y、Sm、La和Ce中的至少一种;和总共2-10原子%的选自Li、Mg、Al、Zn、Cu、Pt、Au、Pd、Ru和Rh中的至少一种。2.权利要求1的Ag合金反射膜,其还包含0.01-3原子%的Bi和Sb中的至少一种。3.权利要求1的Ag合金反射膜,其还包含2-10原子%的选自In、Sn和Pb中的至少一种。4.一种包含权利要求1的Ag合金反射膜的光学信息记录介质。5.权利要求4的光学信息记录介质,其中Ag合金反射膜具有由激光束...

【专利技术属性】
技术研发人员:中井淳一田内裕基藤井秀夫
申请(专利权)人:株式会社神户制钢所
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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