光记录介质的反射层形成用的银合金溅射靶制造技术

本发明专利技术提供的银合金溅射靶由以下银合金构成，（１）含有Ｚｎ：０．１～２０质量％、Ａｌ：０．１～３质量％，剩余部为Ａｇ的组成的银合金，（２）含有Ｚｎ：０．１～２０质量％、Ａｌ：０．１～３质量％，还含有Ｃａ、Ｂｅ、Ｓｉ中任选一种或两种以上的合计：０．００５～０．０５质量％，剩余部为Ａｇ的组成的银合金，或者，（３）含有Ｃｕ：０．５～５质量％、Ｎｉ：０．０５～２质量％，剩余部为Ａｇ的组成的银合金。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种银合金溅射靶，用于通过溅射法形成使用半导体激光等的激光束而对声音、图像、文字等的情报信号进行播放或记录·播放·消去的光记录磁盘(CD-RW、DVD-RAM)等的光记录介质的全反射层以及半透明反射层(以下，包含两者总称为反射层)。
技术介绍
在光记录磁盘等的光记录介质中，具有激光入射侧的第一的记录层和与第一的记录层相比在距激光源远处存在的第二的记录层这两个记录层，此记录层中使用相变记录材料，反复进行记录·播放·消去。在上述光记录介质中，为了达到记录高密度化，使用作为激光束的短波长的青紫激光的研究广泛进行。此光记录介质，为了在第二的记录层对记录信号进行记录·播放·消去，有必要使激光高效地透过与上述第二的记录层相比设于激光入射侧的半透明反射层。另外，为了在激光入射侧的第一的记录层对记录信号进行记录·播放·消去，付与半透明反射层充分的冷却效果，并且具有充分的反射率十分必要。作为满足所述条件的光记录磁盘(CD-RW、DVD-RAM)等的光记录介质的全反射层以及半透明反射层等的反射层，以往，使用的是Ag或Ag合金层，此Ag或Ag合金层在400～830nm的宽幅的波长区域中的反射率高，特别是因为对于用于光记录介质的高密度化记录的短波长的激光反射率大，所以适于使用。在上述Ag或Ag合金层的形成中，Ag、或Ag-Zn合金、Ag-Cu合金、Ag-Ni合金等的Ag合金构成的靶，通过溅射而形成，这为大家所熟识(参照特开昭57-186244号公报，以及特开2001-35014号公报)。但是，现有的Ag或Ag合金层作为全反射层进行使用时，随着记录·播放·消去的反复进行的次数的增加，其反射率下降，不能得到长时间的充分的记录播放耐性。此原因之一被认为是对光记录介质反复进行记录·播放·消去，则受激光照射的全反射层的加热、冷却反复进行，由此Ag或Ag合金层再结晶化，晶粒粗大化，所以反射率下降。此外，现有的Ag或Ag合金层作为半透明反射层进行使用时，还有激光的透过、反射效率不充分，半透明反射层消耗激光能的问题。还有，随着记录·播放·消去的反复进行的次数的增加，反射率·透过率发生变化，不能得到充分的记录播放耐性。作为此原因之一被认为是对光记录介质反复进行记录·播放·消去，则受激光照射的半透明反射层的加热、冷却反复进行，由此半透明反射层的晶粒之间伴有扩散的凝集使得再结晶化进行，此外由于半透明反射层的膜厚很薄，所以由扩散原子移动，因为原子没有了提供源，所以膜发生欠损、出现孔洞。
技术实现思路
本专利技术的第一的形态，光记录介质的反射层形成用的银合金溅射靶，由以下所示(1)～(4)的任一种的银合金构成。(1)含有Zn0.1～20质量％、Al0.1～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。(2)含有Zn0.1～20质量％、Al0.1～3质量％，此外还含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的合计0.005～0.05质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。(3)含有Zn0.1～20质量％、Al0.1～3质量％，此外还含有Dy、La、Nd、Tb、Gd中任选一种或两种以上的合计0.1～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。(4)含有Zn0.1～20质量％、Al0.1～3质量％，此外还含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的合计0.005～0.05质量％，此外还含有Dy、La、Nd、Tb、Gd中任选一种或两种以上的合计0.1～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。还有，使用上述第一的形态中所记载的银合金溅射靶，则能够形成光记录介质的反射膜，但是在光记录介质的特别是形成全反射膜中，优选使用调整为含有Zn为1质量％以上，含有Al为0.5质量％以上的银合金溅射靶。因此还有，本专利技术的第二的形态，形成光记录介质的全反射层用的银合金溅射靶，由以下所示(6)～(9)的任一种的银合金构成。(6)含有Zn1～20质量％、Al0.5～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。(7)含有Zn1～20质量％、Al0.5～3质量％，还含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的合计0.005～0.05质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。(8)含有Zn1～20质量％、Al0.5～3质量％，还含有Dy、La、Nd、Tb、Gd中任选一种或两种以上的合计0.1～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。(9)含有Zn1～20质量％、Al0.5～3质量％，还含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的合计0.005～0.05质量％，此外还含有Dy、La、Nd、Tb、Gd中任选一种或两种以上的合计0.1～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。另外，在形成光记录介质的半透明反射膜中，优选使用调整为含有Zn为低于1质量％，含有Al为低于0.5质量％，此外根据必要，含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的合计0.005～0.05质量％的银合金溅射靶。因此还有，本专利技术的第三的形态，形成光记录介质的半透明反射层用的银合金溅射靶，由以下所示(11)或(12)的任一种的银合金构成。(11)含有Zn0.1～低于1质量％、Al0.1～低于0.5质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。(12)含有Zn0.1～低于1质量％、Al0.1～低于0.5质量％，此外还含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的合计0.005～0.05质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。本专利技术的溅射靶由以下方法制造而成，作为原料准备了哪一个都是纯度为99.99质量％以上的高纯度Ag、Zn以及Al，还有任一纯度为99.9质量％以上的Dy、La、Tb以及Gd，这些原料在高真空或惰性气体氛围中溶解，所得到的熔融金属在真空或惰性气体氛围中进行铸造制成铸锭，对这些铸锭进行热加工后进行机械加工。在基本不向Ag固溶的Ca、Be以及Si中，各元素的浓度分别为0.20质量％与Ag进行配合后，通过高频真空溶解进行溶解，溶解后向炉内填充Ar气体使炉内压力达到大气压为止，在石墨制铸模中进行铸造，预制成含有Ca、Be以及Si的Ag的母合金，将此母合金通过在Ag中添加Zn以及Al进行溶解铸造制成铸锭，对所得到的铸锭通过热加工，机械加工制造而成。此外，本专利技术的第四的形态，光记录介质的反射层形成用的银合金溅射靶，由以下所示(13)～(16)的任一种的银合金构成。(13)含有Cu0.5～5质量％、Ni0.05～2质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。(14)含有Cu0.5～5质量％、Ni0.05～2质量％，还含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的合计0.005～0.05质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。(15)含有Cu0.5～5质量％、Ni0.05～2质量％，还含有Dy、La、Nd、Tb、Gd中任选一种或两种以上的合计0.1～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。(16)含有Cu0.5～5质量％、Ni0.05～2质量％，还含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的合计0.005～0.05质量％，此外还含有Dy、La、Nd、Tb、Gd任选一种或两种以上的合计0.1～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金。形成本专利技术的银合金反射层用的溅射靶由以下方法制造而成，作为原料准备了哪一个都是纯度为99.99质量％以上的高纯度Ag以及Cu，还有任一纯度为99.9质量％以上的Ni、D本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种银合金溅射靶，用于形成光记录介质的全反射层以及半透明反射层，以下，包含两者总称为反射层，其特征在于，由具有Ｚｎ：０．１～２０质量％、Ａｌ：０．１～３质量％，剩余部为Ａｇ的组成的银合金构成。

【技术特征摘要】
1.一种银合金溅射靶，用于形成光记录介质的全反射层以及半透明反射层，以下，包含两者总称为反射层，其特征在于，由具有Zn0.1～20质量％、Al0.1～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金构成。2.一种银合金溅射靶，用于形成光记录介质的反射层，其特征在于，由含有Zn0.1～20质量％、Al0.1～3质量％，还含有选自Ca、Be、Si中的一种或两种以上的合计0.005～0.05质量％，剩余部为Ag的组成的银合金构成。3.一种银合金溅射靶，用于形成光记录介质的反射层，其特征在于，由含有Zn0.1～20质量％、Al0.1～3质量％，还含有Dy、La、Nd、Tb、Gd中任选一种或两种以上的合计0.1～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金构成。4.一种银合金溅射靶，用于形成光记录介质的反射层，其特征在于，由含有Zn0.1～20质量％、Al0.1～3质量％，还含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的合计0.005～0.05质量％，此外还含有Dy、La、Nd、Tb、Gd中任选一种或两种以上的合计0.1～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金构成。5.一种光记录介质的反射层，其特征在于，由使用权利要求1、2、3或4所述的银合金溅射靶制作而成的蒸镀膜构成。6.一种银合金溅射靶，用于形成光记录介质的全反射层，其特征在于，由含有Zn1～20质量％、Al0.5～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金构成。7.一种银合金溅射靶，用于形成光记录介质的全反射层，其特征在于，由含有Zn1～20质量％、Al0.5～3质量％，还含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的合计0.005～0.05质量％，剩余部为Ag的组成的银合金构成。8.一种银合金溅射靶，用于形成光记录介质的全反射层，其特征在于，由含有Zn1～20质量％、Al0.5～3质量％，还含有Dy、La、Nd、Tb、Gd中任选一种或两种以上的合计0.1～3质量％，剩余部为Ag的组成的银合金构成。9.一种银合金溅射靶，用于形成光记录介质的全反射层，其特征在于，由含有Zn1～20质量％、Al0.5～3质量％，还含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的...

【专利技术属性】
技术研发人员：三岛昭史，藤田悟史，小路雅弘，
申请(专利权)人：三菱麻铁里亚尔株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]