光记录介质的反射膜用的银合金制造技术

光记录介质的反射膜用的银合金，其特征在于，含有作为主要成分的银，作为添加元素的铟及／或锡。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及适合作为光记录介质的反射膜的构成材料的银合金。特别地涉及长期使用，也能抑制反射率低下的反射膜用的银合金。
技术介绍
CD-ROM、DVD-ROM等的光记录介质通常通过在基板上的记录层、反射膜层、保护层(overcoat)而形成。作为该反射层，考虑到成本方面、反射率，通常采用铝合金，但是，随着光记录介质的主流向着增添·重写型的介质(CD-R/RW、DVD-R/RW/RAM)的推移，人们需要使用高反射率的材料。作为增添·重写型介质的记录层的构成材料，有机色素材料被渐渐广泛应用，因有机色素材料会使光束的衰减增大，所以要通过提高反射层的反射率补足该衰减。从反射率的角度看，较好使用银作为光记录介质的反射层的材料。银的反射率不仅高，而且和具有同样高反射率的金相比，银便宜，所以是适合的材料。但是，银存在耐氧化性、耐硫化性差，氧化、硫化会使其腐蚀，变色为黑色，使反射率降低的问题。相对于增添·重写型的光记录介质的记录层所用的有机色素材料，银特别存在耐腐蚀性差，长期使用会使反射率下降的问题。为了解决光记录介质的使用所伴随着的反射率低下的问题，一直以来，人们不断进行将能确保反射率并且提高耐腐蚀性的银合金用作反射层的光记录介质的开发。其中大多数是将银作为主要成分，并添加1种或2种以上的各种添加元素的银合金，例如公开了在银中添加0.5-10原子％的钌以及0.1-10原子％的铝的银合金；在银中添加0.5-4.9原子％的钯的银合金等。这些银合金的耐腐蚀性良好，在使用环境下也能保持反射率，适合作为反射层(关于这些现有技术的详细情况，参考日本特许公开公报平11-134715号和日本特许公开公报2000-109943号)。对于以上的银合金，可看出耐腐蚀性有了一定程度的改善，但是，这些银合金不能说在使用环境下就完全不受到腐蚀。对于反射率的下降，也不能完全保证不下降，所以人们需要更高层次的能够维持反射率的材料。在光记录装置的领域中，现在，作为记录用光源采用红色的半导体激光(波长为650nm)，但是最近蓝色激光(波长为405nm)的应用已成趋势。若采用该蓝色的激光的话，因可确保现有光记录装置的5-6倍的记忆容量，所以采用蓝色激光的光记录装置将成为新一代光记录装置的主流。目前，本专利技术者已确认反射层的反射率会因所照射的激光的波长的不同而变化，较多的场合是特别是对于短波长的激光照射，不管有无腐蚀反射率都降低，因腐蚀引起反射率降低比起长波长激光照射的情况也更加明显。因此，为了制造能够对应今后记录用光源的变化的记录介质，人们希望即使对于短波长区域的激光照射，也能具有高反射率并将其维持在更加实用范围的材料的开发。本专利技术就是在以上的背景下产生的，本专利技术的目的在于提供一种构成光记录介质的反射层的银合金，即，具有即使长期使用，也不降低反射率的功能的反射层用的材料。还提供一种即使对于短波长的激光，也具有高反射率的材料。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术者沿用以往的技术，即，以银为主体，从与以往技术不同的方向发现了适合的反射层用材料。以银为主要成分是考虑到银具有如上所述的优点(高反射率、低成本)。而本专利技术者所采用的不同于以往技术的方法，是指以往技术相应于通过添加元素的添加仅将耐腐蚀性提高的方法。即，使用过程的反射层的腐蚀(氧化)实际上是无法避免的。因此，本专利技术者认为只要是在使用过程中存在氧化，该氧化也不产生反射率低下的银合金，可适合作为反射层用材料。作为即使该氧化也不降低反射率的银合金，本专利技术者发现添加了，优先于银发生氧化并且即使被氧化，也不影响反射率的铟及/或锡的银合金，终于想到了本专利技术。本专利技术是以银为主成分，含有添加元素的铟及/或锡的光记录介质的反射膜用的银合金。在本专利技术中作为添加元素添加的铟、锡的氧化物，从一直以来被广泛用作透明电极材料可知，它们是透明的。本专利技术的银-铟/锡合金，使用过程中铟及/或锡被氧化而成的氧化物是透明的，不损害合金的反射率。在本专利技术的合金中，在合金内部分散有铟氧化物、锡氧化物，在合金表面形成有由铟氧化物、锡氧化物构成的氧化表面膜。该氧化表面膜具有作为合金进一步被氧化的保护层的功能，可抑制作为母材的银的氧化。利用本专利技术的合金形成的反射层通过如上所述作用可维持反射率。在光记录介质中，DVD-ROM为了记忆容量的确保，具有将记录层和反射膜层组合形成2层的2层结构。在具有该2层结构的DVD-ROM中，在读取上层的记录层的数据时，必须使入射激光的焦点变化，使其透过基板、下层的记录层和反射层。因此，对于DVD-ROM的反射膜，不仅要求其具有反射特性而且还需要其具有透过特性。本专利技术的合金也具有良好的透过率，所以也可适合用作具有2层结构的DVD-ROM的反射膜。本专利技术中的添加元素的铟、锡的含量，若考虑到只维持反射率的话，铟及锡的浓度都较好为0.1-25重量％。若未满0.1的添加量时，无反射率维持的效果，若添加元素浓度超过25％的话，反射率会因使用环境、入射激光的波长的不同，明显降低，会妨碍实际应用。所以特好浓度为0.1-5.0重量％。设定该范围是因为可不受使用环境、激光波长的影响，更高水平地维持反射率。上述浓度范围是所有添加元素的浓度范围，在含有铟、锡两者时，各元素的浓度合计为上述范围。本专利技术的银合金虽然适合用作光记录介质的反射层用的材料，但是反射层用的材料所具有的更好特性为高导热率。这是因为若反射层的导热率低的话，会降低记录介质的灵敏度。因此，具有能维持反射率和高导热率的最佳双重特性的本专利技术的银合金更好具有0.1-0.5重量％的铟、锡的添加元素浓度。本专利技术者认为这是因为超过0.5重量％的合金的导热率低，只有合金的主要成分银的数分之一的导热率。如上所述的作为反射层材料的本专利技术的银合金通过熔融铸造法制造而成。在用该融熔铸造法进行制造中，无特别难的地方，通过称量各种原料，熔融混合进行铸造的通常方法可制造而成。然而，反射层的实际制造多数是利用反射层用材料构成的靶材经溅射法形成薄膜而进行。如上所述，本专利技术的银合金所含的铟、锡优先氧化，此时所生成的氧化物作为保护膜，就可抑制其后的氧化和硫化。因此，将本专利技术的银合金形成反射膜时，在溅射法中，在导入溅射装置内的氩气中混合氧，进行反应性溅射，氧化并形成反射层可以从反射层形成初期的阶段就开始形成保护膜。另一方面，该反应性溅射，因要控制反射层的氧化的程度，就必须微控氧气的导入，有可能会影响反射层的制造效率。因此，针对本专利技术的合金，本专利技术者考虑通过预先使添加元素的铟、锡进行氧化，不进行所需氧气导入的微控，利用通常的溅射工序在反射层上形成保护层。即，针对以银为主要成分，含有添加元素的铟及/或锡的本专利技术的银合金，本专利技术者将添加元素的铟及/或锡的一部分或全部进行内部氧化。本专利技术者发现若将该内部氧化后的合金作为靶材制造薄膜时，可在薄膜制造时形成均匀地分散有铟、锡的氧化物的薄膜。由此，该内部氧化后的银合金的制造是通过制造以规定组成含有铟及/或锡的银合金，在高压氧气氛中对其加压，加热将合金中的一部分或全部的铟、锡氧化而制得。具体的氧化条件较好是在氧压为0.1-1MPa的气氛下，于700-800℃进行60-80小时的加压·加热处理。如上说明的本专利技术的银合金具有作为反射层的较好的特性，在使用过程中可抑制反射率的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.光记录介质的反射膜用的银合金，其特征在于，含有作为主要成分的银，作为添加元素的铟及/或锡。2.根据权利要求1所述的光记录介质的反射膜用的银合金，其特征在于，添加元素的浓度为0.1-25重量％。3.根据权利要求1所述的光记录介质的反射膜用的银合金，其特征在于，添加元素的浓度为0.1-5.0重量％。...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛冢弘之，柳原浩，
申请(专利权)人：田中贵金属工业株式会社，
类型：发明
国别省市：