一种真空镀膜设备靶材强制冷却机构制造技术

本实用新型专利技术涉及金属镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜设备靶材强制冷却机构，包括镀膜装置主体，所述镀膜装置主体一侧设置有气体回收装置，所述气体回收装置右端和镀膜装置主体左端皆设置有回收管道，右侧所述气体回收装置上设置有回收管道，右侧所述气体回收装置上设置有拆装机构，所述拆装机构包括网架、活动套、固定块和螺套和右侧所述气体回收装置左端设置有网架，且网架内部设置有过滤网。本实用新型专利技术通过拆装机构的设计，解决了过滤网拆卸操作较为繁琐的问题，使得过滤网的拆装操作更为简便，提升了装置的便捷性。提升了装置的便捷性。提升了装置的便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备靶材强制冷却机构


[0001]本技术涉及金属镀膜
，具体为一种真空镀膜设备靶材强制冷却机构。

技术介绍

[0002]在一些金属零件生产出来后，会在上面镀上一层金属膜，这种膜可以让零件的拥有许多新的、良好的物理和化学性能，而真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺，所以现有的真空镀膜设备得到了不断的创新和发展，因此可知现在的真空镀膜设备基本满足人们需求，但是仍然存在一些问题。
[0003]现有的真空镀膜设备在控制回收惰性气体的管道内会设置有过滤网，防止回收气体时将过多的金属碎屑吸入，而滤网每隔一端时间需要清理防止堵塞，现有的过滤网拆卸操作较为繁琐，降低了装置便捷性，且镀膜设备一般采用自然降温，需要时间较长，间接地降低了装置的生产效率。

技术实现思路

[0004]为了克服上述的技术问题，本技术的目的在于提供一种真空镀膜设备靶材强制冷却机构，以解决上述
技术介绍
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备靶材强制冷却机构，包括镀膜装置主体(110)，其特征在于：所述镀膜装置主体(110)一侧设置有气体回收装置(120)，所述气体回收装置(120)右端和镀膜装置主体(110)左端皆设置有回收管道(121)，右侧所述气体回收装置(120)上设置有回收管道(121)，右侧所述气体回收装置(120)上设置有拆装机构，所述拆装机构包括网架(210)、活动套(220)、固定块(230)和螺套(240)和右侧所述气体回收装置(120)左端设置有网架(210)，且网架(210)内部设置有过滤网(130)，右侧所述回收管道(121)靠近气体回收装置(120)的一端固定连接有插块(211)，且网架(210)靠近镀膜装置主体(110)的一端开设有与插块(211)相互配合的插槽，所述回收管道(121)上套设有活动套(220)，右侧所述回收管道(121)侧表面外壁上固定连接有两组固定块(230)，左侧所述回收管道(121)侧表面外壁上螺纹连接有螺套(240)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备靶材强制冷却机构，其特征在于：所述镀膜装置主体(110)右侧设置有冷却机构，所述冷却机构包括通风板(310)、活动板(320)、抽风扇(330)、密封板(340)和固定板(350)，所述镀膜装置主体(110)右端设置有通风板(310)，且通风板(310)右端上侧开设有连通镀膜装置主体(110)内部的冷却槽(311)，所述通风板(310)中部通过转轴活动连接有活动板(320)，且活动板(320)一端固定连接有抽风扇(330...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘超，
申请(专利权)人：镇江超威纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：