一种真空镀膜机的镀膜组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机的镀膜组件，包括腔体和防尘盖，所述腔体的顶端安装有鼓风机，且鼓风机的外侧端部设置有过滤室，所述腔体的右侧设置有真空泵，所述防尘盖安置于过滤室的外侧端部，所述鼓风机的后端设置有水箱，且水箱的中端上方设置有进水口，所述水箱的左右两端设置有侧边冷却盒，所述腔体的内部安装有加热腔，且腔体的正前端设置有活动门扇，所述活动门扇的前端表面安置有抽拉防烫板，所述加热腔的内部底端安装有转盘。该真空镀膜机的镀膜组件采用拆装结构，可以对装置的部分零件进行拆卸，可以及时的清理和更换，同时具有双重降温结构，可以对工作结束后的腔体进行快速降温，方便工作人员对物件的拿取。方便工作人员对物件的拿取。方便工作人员对物件的拿取。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的镀膜组件


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种真空镀膜机的镀膜组件。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构
‑
迷走结构
‑
层状生长)形成薄膜。
[0003]市场上的镀膜组件存在烫伤的隐患，工作结束后，装置不能快速降温，在工作人员拿取物件的时候会产生烫伤的问题，为此，我们提出一种真空镀膜机的镀膜组件。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种真空镀膜机的镀膜组件，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜机的镀膜组件，包括腔体、防尘盖和抽拉防烫板，所述腔体的顶端安装有鼓风机，且鼓风机的外侧端部设置有过滤室，所述腔体的右侧设置有真空泵，所述防尘盖安置于过滤室的外侧端部，所述鼓风机的后端设置有水箱，且水箱的中端上方设置有进水口，所述水箱的左右两端设置有侧边冷却盒，所述腔体的内部安装有加热腔，且腔体的正前端设置有活动门扇，所述抽拉防烫板安置于活动门扇的前端表面，所述加热腔的内部底端安装有转盘，且转盘的底端安装有电机。
[0006]优选的，所述过滤室与防尘盖套接连接，且过滤室设置有两组。
[0007]优选的，所述腔体的底端外侧设置有支撑座，且支撑座的表面开设有限位槽，所述腔体的后端表面安置有衔接水箱，所述衔接水箱的表面设置有观察区，且衔接水箱的下方设置有支撑柱。
[0008]优选的，所述支撑柱与限位槽卡合连接，且限位槽关于支撑座的中心位置对称设有两组，而且支撑座呈U字状。
[0009]优选的，所述过滤室的侧边表面设置有用于过滤空气的辅助组件，且辅助组件包括槽孔、卡块和过滤网，所述槽孔的内部安置有卡块，且卡块的前端设置有过滤网，所述过滤室的表面开设有槽口。
[0010]优选的，所述槽口关于过滤室的中心呈环形状分布，且槽口设置有八个。
[0011]优选的，所述卡块与槽孔卡合连接，且卡块与过滤网呈垂直状分布。
[0012]本技术提供了一种真空镀膜机的镀膜组件，具备以下有益效果：该真空镀膜机的镀膜组件，采用拆装结构，可以对装置的部分零件进行拆卸，可以及时的清理和更换，保证零件表面的整洁性，同时具有双重降温结构，可以对工作结束后的腔体进行快速降温，方便工作人员对物件的拿取。
[0013]1、本技术通过防尘盖的设置可以使得过滤室形成一个密封状态，在不使用的时候，可以有效防止灰尘落到过滤室的内部，不会产生灰尘堆积的情况，保证了过滤室内部的整洁，通过鼓风机的吸力可以将空气输送到加热腔的内部，便可以对加热腔进行风冷，并且水箱、侧边冷却盒和衔接水箱可以通过灌满水，对腔体进行水冷却，多重冷却结构，可以加快装置的降温效果。
[0014]2、本技术通过支撑座的设置可以将腔体与地面分离，减少二者之间的摩擦力，同时支撑座的表面有限位槽，且限位槽方便将支撑柱与支撑座卡合起来，便可以对支撑柱限位，从而可以对衔接水箱起到一定的支撑作用，避免长时间使用导致衔接水箱产生晃动的情况。
[0015]3、本技术通过槽口的设置方便工作人员将除味棒放到过滤室的内部，在过滤空气的同时也可以对空气进行除味工作，槽孔和卡块的设置便于将过滤网与过滤室的侧面表面连接限位，同时也便于对其拆装，过滤网可以对空气进行过滤，将较大的杂质截留住，避免工作的时候杂质粘覆在物件的表面上。
附图说明
[0016]图1为本技术一种真空镀膜机的镀膜组件的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术一种真空镀膜机的镀膜组件的后视结构示意图；
[0018]图3为本技术一种真空镀膜机的镀膜组件的支撑座立体结构示意图；
[0019]图4为本技术一种真空镀膜机的镀膜组件的过滤室侧面结构示意图；
[0020]图5为本技术一种真空镀膜机的镀膜组件的图4中A处放大结构示意图。
[0021]图中：1、腔体；2、鼓风机；3、过滤室；4、防尘盖；5、水箱；6、进水口；7、侧边冷却盒；8、加热腔；9、活动门扇；10、抽拉防烫板；11、转盘；12、电机；13、支撑座；14、衔接水箱；15、观察区；16、限位槽；17、支撑柱；18、槽口；19、辅助组件；1901、槽孔；1902、卡块；1903、过滤网；20、真空泵。
具体实施方式
[0022]如图1所示，一种真空镀膜机的镀膜组件，包括腔体1、防尘盖4和抽拉防烫板10，腔体1的顶端安装有鼓风机2，且鼓风机2的外侧端部设置有过滤室3，腔体1的右侧设置有真空泵20，防尘盖4安置于过滤室3的外侧端部，过滤室3与防尘盖4套接连接，且过滤室3设置有两组，防尘盖4的设置可以使得过滤室3形成一个密封状态，在不使用的时候，可以有效防止灰尘落到过滤室3的内部，不会产生灰尘堆积的情况，保证了过滤室3内部的整洁，通过鼓风机2的吸力可以将空气输送到加热腔8的内部，便可以对加热腔8进行风冷；鼓风机2的后端设置有水箱5，且水箱5的中端上方设置有进水口6，水箱5的左右两端设置有侧边冷却盒7，腔体1的内部安装有加热腔8，且腔体1的正前端设置有活动门扇9，活动门扇9的前端表面安置有抽拉防烫板10，加热腔8的内部底端安装有转盘11，且转盘11的底端安装有电机12，并且水箱5、侧边冷却盒7和衔接水箱14可以通过灌满水，对腔体1进行水冷却，多重冷却结构，可以加快装置的降温效果。
[0023]如图2
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图3所示，一种真空镀膜机的镀膜组件，腔体1的底端外侧设置有支撑座13，且支撑座13的表面开设有限位槽16，所述腔体1的后端表面安置有衔接水箱14，所述衔接水
箱14的表面设置有观察区15，且衔接水箱14的下方设置有支撑柱17，支撑柱17与限位槽16卡合连接，且限位槽16关于支撑座13的中心位置对称设有两组，而且支撑座13呈U字状，支撑座13的设置可以将腔体1与地面分离，减少二者之间的摩擦力，同时支撑座13的表面有限位槽16，且限位槽16方便将支撑柱17与支撑座13卡合起来，便可以对支撑柱17限位，从而可以对衔接水箱14起到一定的支撑作用，避免长时间使用导致衔接水箱14产生晃动的情况。
[0024]如图4
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图5所示，过滤室3的侧边表面设置有用于过滤空气的辅助组件19，且辅助组件19包括槽孔1901、卡块1902和过滤网1903，槽孔1901的内部安置有卡块1902，且卡块1902的前端设置有过滤网1903，卡块1902与槽孔1901卡合连接，且卡块1902与过滤网1903呈垂直状分布，过滤室3的表面开设有槽口18，槽口18关于过滤室3的中心呈环本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的镀膜组件，包括腔体(1)、防尘盖(4)和抽拉防烫板(10)，其特征在于，所述腔体(1)的顶端安装有鼓风机(2)，且鼓风机(2)的外侧端部设置有过滤室(3)，所述腔体(1)的右侧设置有真空泵(20)，所述防尘盖(4)安置于过滤室(3)的外侧端部，所述鼓风机(2)的后端设置有水箱(5)，且水箱(5)的中端上方设置有进水口(6)，所述水箱(5)的左右两端设置有侧边冷却盒(7)，所述腔体(1)的内部安装有加热腔(8)，且腔体(1)的正前端设置有活动门扇(9)，所述抽拉防烫板(10)安置于活动门扇(9)的前端表面，所述加热腔(8)的内部底端安装有转盘(11)，且转盘(11)的底端安装有电机(12)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的镀膜组件，其特征在于，所述过滤室(3)与防尘盖(4)套接连接，且过滤室(3)设置有两组。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的镀膜组件，其特征在于，所述腔体(1)的底端外侧设置有支撑座(13)，且支撑座(13)的表面开设有限位槽(16)，所述腔体(1)的后端表面安置有衔接水箱(14)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘超，
申请(专利权)人：镇江超威纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：