【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的工件转动机构
[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种真空镀膜机的工件转动机构。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。在镀膜过程中，需要通过旋转，从而实现全方位镀膜性能。
[0003]市场上的转动机构通常不具有稳定旋转的性能，并且对于加工件的承接性能不佳，为此，我们提出一种真空镀膜机的工件转动机构。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种真空镀膜机的工件转动机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜机的工件转动机构，包括主腔和承接组件，所述主腔的内部中端安装有用于工件转动的旋转组件，且旋转组件包括电机、转轴、转盘、主轴和防护杆，所述电机的底部安装有转轴，且转轴的底部安装有转盘，所述转盘的中部安装有主轴...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的工件转动机构，包括主腔(1)和承接组件(3)，其特征在于，所述主腔(1)的内部中端安装有用于工件转动的旋转组件(2)，且旋转组件(2)包括电机(201)、转轴(202)、转盘(203)、主轴(204)和防护杆(205)，所述电机(201)的底部安装有转轴(202)，且转轴(202)的底部安装有转盘(203)，所述转盘(203)的中部安装有主轴(204)，且转盘(203)左右端均焊接连接有防护杆(205)，用于工件盛放的所述承接组件(3)安装于旋转组件(2)的中部左右端，所述承接组件(3)包括承接挂杆(301)、限位块(302)、转块(303)、承接板(304)和定位孔(305)，且承接挂杆(301)的上下端外壁均穿设有限位块(302)，所述限位块(302)的端部安装有转块(303)，所述承接挂杆(301)的外壁固定连接有承接板(304)，且承接板(304)的中部开设有定位孔(305)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件转动机构，其特征在于，所述主腔(1)的左端外壁安装有铰链(7)，且铰链(7)的端部安装有活动门(5)，所述活动...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘超，
申请(专利权)人：镇江超威纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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