【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的镀膜夹具
[0001]本技术涉及镀膜机
,具体为一种真空镀膜机的镀膜夹具。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,主要思路是分成蒸发和溅射两种,需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材,基片与靶材同在真空腔中,在真空镀膜机中,通过两组镀膜夹具对基片进行夹持固定。
[0003]现有装置的夹具普遍通过螺栓与连接板固定连接,但是螺栓体积较小,较难准确的将螺栓对准螺纹孔,且拧动体积较小的螺栓较为费力,为操作人员带来不便,使得操作人员安装夹具的难度较大,降低了装置的便捷性和实用性,因此亟需一种真空镀膜机的镀膜夹具来解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种真空镀膜机的镀膜夹具,以解决上述
技术介绍
中提出的现有装置夹具的安装操作较为不便的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种真空镀膜机的镀膜夹具,包括:
[0006]架体,所述架体的侧壁的上端固定有第一连接板,所述架体侧壁的中端固定 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的镀膜夹具,其特征在于,包括:架体(1),所述架体(1)的侧壁的上端固定有第一连接板(2),所述架体(1)侧壁的中端固定有第二连接板(3),所述第一连接板(2)和第二连接板(3)之间设置有第一夹板(4),且第一夹板(4)的一侧设置有第二夹板(8);限位机构(5),所述限位机构(5)包括固定座(51)和固定口(52),所述第二连接板(3)的顶端固定有固定座(51),且固定座(51)的内部开设有固定口(52),所述第一夹板(4)的底端固定有插块(53),且插块(53)插设在固定口(52)的内部,所述固定口(52)内壁的底端固定有固定板(54),且固定板(54)顶端的两侧固定有橡胶板(55),两组所述橡胶板(55)之间固定有第一弹簧(56);固定机构(6),所述固定机构(6)包括连接座(61)和贴合板(62),所述第一连接板(2)的底端固定有贴合板(62),所述连接座(61)的内部设置有贴合板(62);调距机构(7),所述调距机构(7)包括螺杆(71)和插杆(72),所述第一夹板(4)侧壁的两端通过轴承活动连接有螺杆(71)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的镀膜夹具,其特征在于:所述贴合板(62)的侧壁固定有插板(63),所述插板(63...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘超,
申请(专利权)人:镇江超威纳米科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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