一种真空镀膜机的密封组件制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机的密封组件，包括镀膜箱，所述镀膜箱的一侧铰接安装有密封门，所述镀膜箱的底端固定安装有底板，所述底板底端的四个拐角固定安装有承重轮，所述底板的顶端固定安装有防护机构，所述镀膜箱的一侧转动安装有控制面板；密封机构，包括回型橡胶圈，所述镀膜箱一侧的开口固定安装有尼龙凸板。本实用新型专利技术通过设置有防护机构，通过回型橡胶圈和尼龙凸板形成密封包裹，尼龙凸板的耐热性好，不易变形，挤压卡合板，使得密封门被稳定的卡在镀膜箱的一侧，增加回型橡胶圈和尼龙凸板的挤压贴合度，便于增加真空镀膜机密封性，避免镀膜箱内部真空被破坏。空被破坏。空被破坏。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的密封组件


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种真空镀膜机的密封组件。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]但是，现有的真空镀膜机密封组件主要通过密封圈进行密封密封圈长期使用容易变形，导致真空镀膜机密封性降低，破坏真空环境，因此，需要设计一种真空镀膜机的密封组件以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种真空镀膜机的密封组件，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的真空镀膜机密封组件主要通过密封圈进行密封密封圈长期使用容易变形，导致真空镀膜机密封性降低，破坏真空环境的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜机的密封组件，包括：
[0006]镀膜箱，所述镀膜箱的一侧铰接安装有密封门，所述镀膜箱的底端固定安装有底板，所述底板底端的四个拐本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的密封组件，其特征在于，包括：镀膜箱(110)，所述镀膜箱(110)的一侧铰接安装有密封门(120)，所述镀膜箱(110)的底端固定安装有底板(140)，所述底板(140)底端的四个拐角固定安装有承重轮(150)，所述底板(140)的顶端固定安装有防护机构(200)，所述镀膜箱(110)的一侧转动安装有控制面板(130)；密封机构(300)，包括回型橡胶圈(310)，所述镀膜箱(110)一侧的开口固定安装有尼龙凸板(311)，所述密封门(120)的一侧固定安装有回型橡胶圈(310)，所述回型橡胶圈(310)为凹型状，所述密封门(120)的一侧均匀的转动安装有多个卡合板(312)，所述镀膜箱(110)的一侧均匀的固定安装有多个卡槽座(314)，所述卡槽座(314)的内部固定安装有软垫(315)，所述卡槽座(314)的一侧螺纹安装有二号螺栓(313)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的密封组件，其特征在于：所述密封门(120)的正面嵌入安装有视窗(121)，所述视窗(121)的外侧包覆有密封圈。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的密封组件，其特征在于：所述底板...

【专利技术属性】
技术研发人员：张胜利，
申请(专利权)人：镇江超威纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：