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本实用新型涉及金属镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜设备靶材强制冷却机构，包括镀膜装置主体，所述镀膜装置主体一侧设置有气体回收装置，所述气体回收装置右端和镀膜装置主体左端皆设置有回收管道，右侧所述气体回收装置上设置有回收管道，右侧所述气体回收...
该专利属于镇江超威纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镇江超威纳米科技有限公司授权不得商用。

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