溅射靶及溅射靶的制造方法技术

本发明专利技术实施例涉及抑制遮挡部件脱落。在溅射靶中，靶主体具有包围筒状衬管的外周面的圆筒状的多个圆筒状的靶部件，多个靶部件的分别以在衬管的中心轴方向上分离的方式排列设置，通过在中心轴方向排列多个靶部件而在相邻的靶部件之间形成的间隙环绕衬管的中心轴周围，在上述衬管侧形成有与间隙连通的凹部。接合材料设置在衬管与上述靶主体之间，将多个靶部件分别与衬管接合。遮挡部件配置在接合材料与靶主体之间，被容纳在凹部，从上述接合材料侧遮挡间隙。挡间隙。挡间隙。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】溅射靶及溅射靶的制造方法


[0001]本专利技术涉及溅射靶及溅射靶的制造方法。

技术介绍

[0002]随着薄型电视的大图像化，制造平板显示器时所使用的溅射靶的大型化也在推进。随之而来地也出现了面积较大的氧化物靶。尤其是正在研发安装有较长的圆筒型氧化物靶的成膜装置。为了得到较长的圆筒型氧化物靶，已有使用接合材料将多个圆筒型氧化物烧结体与圆筒型衬管接合的方法。
[0003]但是，在用多个靶部件构成溅射靶的情况下，有时因靶部件的热膨胀导致相邻的靶部件互相接触而靶部件破裂。为了防止该由接触引起的破裂，有时在相邻的靶部件之间设置间隙(例如，参照专利文献1)。
[0004]然而，当设置有间隙时，也有可能接合材料侵入间隙或衬管从间隙露出，从而靶材以外的成分附着在间隙。当出现这样的现象时，靶材以外的成分混入覆膜并会使覆膜的性质劣化。此外，其也成为在成膜工序中异常放电的起因。
[0005]为了解决这样的问题，也提出有如下方案，例如：在平面型的分割型溅射靶中，从衬管侧向相邻的靶部件之间的间隙贴附遮挡部件，以防止接合材料侵入间隙、背板从间隙露本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种溅射靶，具有：筒状的衬管；靶主体，其具有包围所述衬管的外周面的圆筒状的多个圆筒状的靶部件，所述多个靶部件分别以在所述衬管的中心轴方向上分离的方式排列设置，通过在所述中心轴方向排列所述多个靶部件而在相邻的靶部件之间形成的间隙环绕在所述衬管的中心轴周围，在所述衬管侧形成有与所述间隙连通的所述凹部；接合材料，其设置在所述衬管与所述靶主体之间，将所述多个靶部件分别与所述衬管接合；以及遮挡部件，其配置在所述接合材料与所述靶主体之间，被容纳在所述凹部，从所述接合材料侧遮挡所述间隙。2.根据权利要求1所述的溅射靶，其中，所述相邻的靶部件包括第一靶部件和第二靶部件，所述第一靶部件具有与所述第二靶部件相向的第一端面，所述第二靶部件具有与所述第一靶部件相向的第二端面，所述第一靶部件具有：与所述衬管间隔第一距离且与所述接合材料相向的第一内周面，和与所述第一端面接连设置且与所述衬管间隔比所述第一距离长的第二距离且与所述遮挡部件相向第二内周面；通过所述第一内周面和所述第二内周面形成阶梯，所述第二靶部件具有：与所述衬管间隔所述第一距离且与所述接合材料相向第三内周面，和与所述第二端面接连设置且与所述衬管间隔所述第二距离且与所述遮挡部件相向第四内周面；通过所述第三内周面和所述第四内周面形成阶梯，所述第二内周面和所述第四内周面间隔所述间隙并在所述中心轴方向上排列，由此在所述靶主体形成所述凹部。...

【专利技术属性】
技术研发人员：和田优，斋藤胜仁，川越裕，武末健太郎，高桥一寿，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：