硅片悬浮传输机构制造技术

本发明专利技术涉及一种硅片悬浮传输机构，包括悬浮载台，所述悬浮载台的一侧表面设有多个气孔，以通过所述气孔往外吹出气体和/或将气体抽吸进所述悬浮载台内，以使硅片悬浮于所述悬浮载台设有所述气孔的一侧；所述悬浮载台上设有限位机构，所述限位机构具有可活动的止挡件，所述止挡件能够活动至从所述硅片远离所述悬浮载台的一侧挡住所述硅片的边缘部分。本发明专利技术提供的硅片悬浮传输机构，通过设置气孔实现了硅片在悬浮载台一侧表面的悬浮，通过设置限位机构，且限位机构具有可活动的止挡件，可从硅片远离悬浮载台的一侧拦住硅片，从而使得硅片能够始终悬浮在悬浮载台设有气孔的一侧。如此，可降低对气浮控制的要求。可降低对气浮控制的要求。可降低对气浮控制的要求。

【技术实现步骤摘要】
硅片悬浮传输机构


[0001]本专利技术涉及太阳能电池生产设备
，特别是涉及一种硅片悬浮传输机构。

技术介绍

[0002]硅片是太阳能电池的基础元件，在生产制造太阳能电池时，通常需要将硅片从一个位置转移到另一个位置。其中，硅片通常放置在花篮中进行制绒工序，制绒完成后硅片需要转移到载板中进行镀膜工序，因此，硅片完成制绒工序后需要从花篮转移到载板中。通常，硅片从花篮中取出后放置到皮带上，通过皮带进行输送，之后再通过其他移载机构将硅片移载到载板上。然而，通过皮带输送的方式移载硅片时，由于硅片直接放置在皮带上，因此硅片的下表面容易粘上皮带印痕或者皮带上的污渍，从而影响硅片的质量。为此，有人提出采用气浮的方式承载硅片，然而气浮的方式容易将硅片吹跑或者吹偏，对气浮的控制要求较高。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，有必要提供一种硅片悬浮传输机构，通过气浮的方式承载硅片，并且能够降低对气浮的控制要求。
[0004]本专利技术提供一种硅片悬浮传输机构，包括悬浮载台，所述悬浮载台的一侧表面设有多个气孔，以通过所述气孔往外吹出气体和/或将气体抽吸进所述悬浮载台内，以使硅片悬浮于所述悬浮载台设有所述气孔的一侧；所述悬浮载台上设有限位机构，所述限位机构具有可活动的止挡件，所述止挡件能够活动至从所述硅片远离所述悬浮载台的一侧挡住所述硅片的边缘部分。
[0005]在其中一个实施例中，所述悬浮平台上设有挡边部，所述挡边部围成用于容置硅片的容置槽，所述限位机构设于所述挡边部上，且所述止挡件能够转动至挡住硅片的边缘部分。
[0006]在其中一个实施例中，所述止挡件包括偏心轮部以及挡板部，所述偏心轮部连接有转轴，所述止挡件通过所述转轴可转动地安装于所述挡边部，所述挡板部连接于所述偏心轮部一侧且朝向所述容置槽设置，所述挡板部用于挡住硅片的边缘部分。
[0007]在其中一个实施例中，所述止挡件具有将硅片限制在所述容置槽内的限位状态和允许硅片移入或移出所述容置槽的开放状态；当所述止挡件处于限位状态时，所述挡板部远离所述偏心轮部的一端在所述悬浮载台上的投影位于所述容置槽内；当所述止挡件处于开放状态时，所述挡板部远离所述偏心轮部的一端在所述悬浮载台上的投影位于所述容置槽外。
[0008]在其中一个实施例中，所述挡边部上对应所述偏心轮部开设有置物槽，所述限位机构还包括顶杆、第一磁铁以及第二磁铁；所述顶杆可活动地设于所述置物槽内，所述顶杆能够朝靠近或远离所述偏心轮部的方向移动；所述第一磁铁设于所述顶杆朝向所述偏心轮部的一端，所述第二磁铁设于所述偏心轮部远离所述挡板部的一侧，所述第一磁铁与所述
第二磁铁之间相互吸引，当所述顶杆朝靠近所述顶杆的方向移动时，所述顶杆抵推所述偏心轮部以使所述止挡件沿第一方向转动；当所述顶杆朝远离所述偏心轮部的方向移动时，所述第一磁铁与所述第二磁铁之间的引力作用使得所述止挡件沿第二方向转动；当所述止挡件沿第一方向转动时，所述止挡件能够由开放状态转动至限位状态；当所述止挡件沿第二方向转动时，所述止挡件能够由限位状态转动至开放状态。
[0009]在其中一个实施例中，所述限位机构还包括第一弹性件，所述第一弹性件连接所述顶杆和所述挡边部，以使所述顶杆具有朝向所述偏心轮部移动的趋势。
[0010]在其中一个实施例中，所述置物槽内设有台阶，所述第一弹性件为压缩弹簧，所述顶杆靠近所述偏心轮部的一端设有凸环，所述第一弹性件套设于所述顶杆外侧，且所述第一弹性件的两端分别抵接于所述台阶和所述凸环。
[0011]在其中一个实施例中，所述限位机构还包括牵引件，所述牵引件连接于所述顶杆，以通过所述牵引件带动所述顶杆朝远离所述偏心轮部的方向移动。
[0012]在其中一个实施例中，所述限位机构还包括设于所述挡边部上的限位板，所述限位板位于所述偏心轮部远离所述容置槽且远离所述置物槽的一侧，当所述止挡件处于限位状态时，所述偏心轮部抵靠于所述限位板。
[0013]在其中一个实施例中，所述限位机构还包括第二弹性件，所述第二弹性件连接所述挡板部和所述挡边部，以使所述止挡件具有沿第一方向转动的趋势。
[0014]在其中一个实施例中，所述第二弹性件为拉伸弹簧。
[0015]在其中一个实施例中，所述悬浮载台内设有相互独立的第一腔和第二腔，所述气孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔与所述第一腔连通，所述第二孔与所述第二腔连通。
[0016]在其中一个实施例中，所述悬浮载台还设有第一进出孔，所述第一进出孔连通所述第一腔以通过所述第一进出孔向所述第一腔通入气体或往外抽吸所述第一腔内的气体；所述悬浮载台还设有第二进出孔，所述第二进出孔连通所述第二腔以通过所述第二进出孔向所述第二腔通入气体或往外抽吸所述第二腔内的气体。
[0017]本专利技术提供的硅片悬浮传输机构，通过设置气孔实现了硅片在悬浮载台一侧表面的悬浮，通过设置限位机构，且限位机构具有可活动的止挡件，可从硅片远离悬浮载台的一侧拦住硅片，从而使得硅片能够始终悬浮在悬浮载台设有气孔的一侧。如此，可降低对气浮控制的要求。
附图说明
[0018]图1为本专利技术一实施例的硅片悬浮传输机构的结构示意图；
[0019]图2为本专利技术一实施例的挡边部和限位机构的结构示意图；
[0020]图3为图2所示结构的分解图；
[0021]图4为本专利技术一实施例的硅片悬浮传输机构的局部结构剖视图，止挡件处于限位状态；
[0022]图5为本专利技术一实施例的硅片悬浮传输机构的局部结构剖视图，止挡件处于开放状态；
[0023]图6为本专利技术另一实施例的硅片悬浮传输机构的局部结构剖视图，止挡件处于限位状态；
[0024]图7为本专利技术另一实施例的硅片悬浮传输机构的局部结构剖视图，止挡件处于开放状态；
[0025]图8为本专利技术一实施例的悬浮载台的剖视图；
[0026]图9为本专利技术另一实施例的硅片悬浮传输机构的结构示意图。
[0027]附图标记：100、悬浮载台；101、气孔；1011、第一孔；1012、第二孔；102、容置槽；103、第一腔；104、第二腔；105、第一进出孔；106、第二进出孔；110、挡边部；111、置物槽；1111、台阶；121、第一部分；122、第二部分；200、限位机构；210、止挡件；211、偏心轮部；2111、轴孔；212、挡板部；213、转轴；220、顶杆；221、凸环；230、第一弹性件；240、牵引件；250、第一磁铁；260、第二磁铁；270、限位板；280、第二弹性件；900、硅片。
具体实施方式
[0028]下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。
[0029]需要说明的是，当元件被称为“设于”另一个元件，它可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片悬浮传输机构，其特征在于，包括悬浮载台(100)，所述悬浮载台(100)的一侧表面设有多个气孔(101)，所述气孔(101)往外吹出气体和/或将气体抽吸进所述悬浮载台(100)内，以使硅片(900)悬浮于所述悬浮载台(100)设有所述气孔(101)的一侧；所述悬浮载台(100)上设有限位机构(200)，所述限位机构(200)具有可活动的止挡件(210)，所述止挡件(210)能够活动至从所述硅片(900)远离所述悬浮载台(100)的一侧挡住所述硅片(900)的边缘部分。2.根据权利要求1所述的硅片悬浮传输机构，其特征在于，所述悬浮平台上设有挡边部(110)，所述挡边部(110)围成用于容置硅片(900)的容置槽(102)，所述限位机构(200)设于所述挡边部(110)上，且所述止挡件(210)能够转动至挡住硅片(900)的边缘部分。3.根据权利要求2所述的硅片悬浮传输机构，其特征在于，所述止挡件(210)包括偏心轮部(211)以及挡板部(212)，所述偏心轮部(211)连接有转轴(213)，所述止挡件(210)通过所述转轴(213)可转动地安装于所述挡边部(110)，所述挡板部(212)连接于所述偏心轮部(211)一侧且朝向所述容置槽(102)延伸，所述挡板部(212)用于挡住硅片(900)的边缘部分。4.根据权利要求3所述的硅片悬浮传输机构，其特征在于，所述止挡件(210)具有将硅片(900)限制在所述容置槽(102)内的限位状态和允许硅片(900)移入或移出所述容置槽(102)的开放状态；当所述止挡件(210)处于限位状态时，所述挡板部(212)远离所述偏心轮部(211)的一端在所述悬浮载台(100)上的投影位于所述容置槽(102)内；当所述止挡件(210)处于开放状态时，所述挡板部(212)远离所述偏心轮部(211)的一端在所述悬浮载台(100)上的投影位于所述容置槽(102)外。5.根据权利要求4所述的硅片悬浮传输机构，其特征在于，所述挡边部(110)上对应所述偏心轮部(211)开设有置物槽(111)，所述限位机构(200)还包括顶杆(220)、第一磁铁(250)以及第二磁铁(260)；所述顶杆(220)可活动地设于所述置物槽(111)内，所述顶杆(220)能够朝靠近或远离所述偏心轮部(211)的方向移动；所述第一磁铁(250)设于所述顶杆(220)朝向所述偏心轮部(211)的一端，所述第二磁铁(260)设于所述偏心轮部(211)远离所述挡板部(212)的一侧，所述第一磁铁(250)与所述第二磁铁(260)之间相互吸引，当所述顶杆(220)朝靠近所述顶杆(220)的方向移动时，所述顶杆(220)抵推所述偏心轮部(211)以使所述止挡件(210)沿第一方向转动；当所述顶杆(220)朝远离所述偏心轮部(211)的方向移动时，所述第一磁铁(250)与所述第二磁铁(260)之间的引力作用使得...

【专利技术属性】
技术研发人员：许明现，蔡涔，谷士斌，胡林，马胜涛，张杜超，洪昀，
申请(专利权)人：东方日升常州新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：