一种浮动平台、载板浮动定位装置及载板上料系统制造方法及图纸

技术编号:36074849 阅读:66 留言:0更新日期:2022-12-24 10:46
本申请实施例提供一种浮动平台、载板浮动定位装置及载板上料系统,涉及太阳能电池生产技术领域。浮动平台包括托板和底板,托板和底板之间通过多根卧式的拉簧连接在一起,底板叠加位于托板下方,托板能够直接叠加作用于载板。载板浮动定位装置包括:上述的浮动平台,顶升装置位于浮动平台下方,且能够使得浮动平台升降移动;夹持机构分别对应位于载板的不同边沿外侧,且配置成能够移动载板并固定对应的边沿。浮动平台、载板浮动定位装置及载板上料系统实现对载板精准定位和调平平面,从而提升在载板上布片的准确性。载板上布片的准确性。载板上布片的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种浮动平台、载板浮动定位装置及载板上料系统


[0001]本申请涉及太阳能电池生产
,具体而言,涉及一种浮动平台、载板浮动定位装置及载板上料系统。

技术介绍

[0002]生产太阳能电池的各步骤工序对产品质量均比较重要,在批量硅片薄膜的制备过程中,需要将多片硅片放置在同一面载板上,然后将载板送入镀膜设备中完成硅片薄膜的沉积。为了满足日益增长的批量产能需求,硅片载板的面积尺寸越做越大,长可达1700

1800mm,宽可达1600

1700mm,同时载板的定位精度要求控制在≤
±
0.5mm的范围内,载板庞大的面积尺寸增加了其精准定位的难度。
[0003]另外,目前载板在设备外的大气环境中完成硅片布片后,再进入镀膜设备的镀膜室内完成硅片薄膜的沉积,然后再回到大气环境中进行硅片卸载。大尺寸、金属材质的载板反复受到镀膜室200℃左右的加热和设备外的室温冷却,载板中部通常会下陷2

4mm左右,而载板中部下陷会增加准确布片的难度。
[0004]因此,硅片精确放入面积尺寸大的载板内往往遇到载板精准定位和调平平面问题。

技术实现思路

[0005]本申请实施例的目的在于提供一种浮动平台、载板浮动定位装置及载板上料系统,实现对载板精准定位和调平平面,从而提升在载板上布片的准确性。
[0006]第一方面,本申请实施例提供了一种浮动平台,用于在载板下方并托住载板,浮动平台包括托板和底板,托板和底板之间通过多根卧式的拉簧连接在一起,底板叠加位于托板下方,托板能够直接叠加作用于载板。
[0007]在上述实现过程中,浮动平台主要由托板、底板和拉簧构成,轻便灵活,拉簧位于底板和托板之间并起到连接作用,使整体外形仍为板状且具有一定强度,能够完全托住载板;同时拉簧在受力后具有回弹力,每根拉簧卧式设置,两个连接端之间的区域均具有较佳的弹性,从而保证浮动平台整体发挥较佳的浮动效果。
[0008]在一种可能的实现方式中,托板分为多个子区域,每个子区域与底板上的叠加区域通过至少三根拉簧连接在一起,所有拉簧排列呈放射状,每根拉簧的一端连接于子区域的中部,另一端连接于底板上的叠加区域;
[0009]和/或,托板是由多块子板平铺组成。
[0010]在上述实现过程中,使浮动平台可以根据区域划分成小浮动平台,每个小浮动平台内均设置有单独的拉簧,且拉簧排成成放射状,可以覆盖整个子区域,从而能够达到一定的浮动效果,从而保证浮动平台整体的支撑效果和浮动效果比较均匀,实现对载板调平平面。
[0011]在一种可能的实现方式中,每个子区域的底面中部具有凸起部,拉簧连接于凸起
部上,底板具有多个用于容置每个凸起部的孔洞。
[0012]在上述实现过程中,托板底面的凸起部便于拉簧的连接设置,底板上的孔洞使凸起部具有一定的活动空间,避免托板和底板之间直接接触产生硬作用力而影响浮动效果。
[0013]在一种可能的实现方式中,托板和底板之间还设置有多个滚珠,每个滚珠通过滚珠座安装于底板上且能够在托板上滚动。
[0014]在上述实现过程中,通过滚珠能够托住托板,避免与底板直接接触,托板和底板之间的变形浮动不会相互影响,尤其是托板在滚珠的作用下能够保持一定的平面性,也减少托板和底板之间的拉簧产生不利影响,使拉簧能够变形拉伸,从而使托板和底板之间能相对移动,从而调平平面。
[0015]第二方面,本申请实施例提供了一种载板浮动定位装置,其包括:
[0016]第一方面提供的浮动平台,浮动平台位于载板下方,且能够托住载板;
[0017]顶升装置,顶升装置位于浮动平台下方,且能够使得浮动平台升降移动;
[0018]夹持机构,夹持机构分别对应位于载板的不同边沿外侧,且配置成能够移动载板并固定对应的边沿。
[0019]在上述实现过程中,载板移动至待定位的上料位置时,刚好位于浮动平台上方,通过顶升装置推动浮动平台升起至托住载板,浮动平台直接作用于载板,且受到侧面的夹持装置推动力后具有回弹力,将顶升装置对载板的硬性作用力转化成柔性作用力,避免直接作用于浮动平台而造成的伤害。最后载板被浮动平台支撑后调平平面,解决载板中部的凹陷问题。
[0020]在载板的不同边沿外侧分别设置不同的夹持机构,在载板调平平面后,通过多组夹持机构配合移动载板至目标位置并固定,实现对载板的精准定位。
[0021]在一种可能的实现方式中,载板的中部区域设置有多个用于放置硅片的硅片槽,浮动平台能够直接托住载板设置硅片槽的中部区域。
[0022]在上述实现过程中,浮动平台对应载板的布片区域,保证对载板凹陷区域的作用效果,实现对载板统一调平平面。
[0023]在一种可能的实现方式中,其还包括用于输送载板的两条并列设置的输送带,载板的两侧边沿分别位于不同的输送带上,载板的两端边沿分别跨设于两条输送带上。
[0024]在上述实现过程中,通过输送带可以使载板自动输送至上料位置进行定位处理,而且不影响顶升装置和浮动平台对载板的作用,也便于设置夹持机构并发挥定位作用。具体地,载板通过输送带输送至上料位置,通过顶升装置和浮动平台托起载板离开输送带,并实现对载板的调平平面;在此基础上,便于夹持机构移动载板完成纠偏并固定,当载板上布片完成后,夹持机构松开载板,载板在浮动平台和顶升装置的作用下又可以快速回归到输送带上,便于自动输送至下一个节点。
[0025]在一种可能的实现方式中,其包括分别位于载板的两侧边沿的两组第一夹持机构,以及分别位于载板的两端边沿的两组第二夹持机构,两组第一夹持机构能够升降移动,且能够相对移动至夹住载板的两侧边沿,两组第二夹持机构能够升降移动,且能够相对移动至夹住载板的两端边沿。
[0026]在上述实现过程中,通过第一夹持机构和第二夹持机构移动载板,夹住载板的边沿后即完成对载板的固定。
[0027]在一种可能的实现方式中,每组第一夹持机构包括能够容置载板的对应边沿的推板以及驱动推板升降的升降驱动机构,至少其中一组第一夹持机构还包括用于推动推板向另一块推板移动的平移驱动机构;
[0028]和/或,第一夹持机构和/或第二夹持机构与载板接触的位置设置有胶轮。
[0029]在上述实现过程中,通过驱动推板移动载板,使载板的边沿进入对应的推板内实现对载板的固定,通过调节推板的位置实现载板位置的精准定位。胶轮减少对载板的摩擦力,而且便于载板的移动。
[0030]第三方面,本申请实施例提供了一种载板上料系统,其包括边长大于1500mm的载板、机械手和第二方面提供的载板浮动定位装置,载板能够移动至载板浮动定位装置的浮动平台上,机械手位于浮动平台旁边用于往载板上布片。
[0031]在上述实现过程中,对大面积尺寸的载板上料,载板浮动定位装置的浮动平台和机械手均位于载板上料处,先通过载板浮动定位装置对载板调平平面和精确定位,再通过机械手对载板进行上料布片。载板浮动定位装置解决了本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种浮动平台,用于在载板下方并托住载板,其特征在于,所述浮动平台包括托板和底板,所述托板和所述底板之间通过多根卧式的拉簧连接在一起,所述底板叠加位于所述托板下方,所述托板能够直接叠加作用于所述载板。2.根据权利要求1所述的浮动平台,其特征在于,所述托板分为多个子区域,每个所述子区域与所述底板上的叠加区域通过至少三根所述拉簧连接在一起,所有所述拉簧排列呈放射状,每根所述拉簧的一端连接于所述子区域的中部,另一端连接于所述底板上的叠加区域;和/或,所述托板是由多块子板平铺组成。3.根据权利要求2所述的浮动平台,其特征在于,每个所述子区域的底面中部具有凸起部,所述拉簧连接于所述凸起部上,所述底板具有多个用于容置每个所述凸起部的孔洞。4.根据权利要求1所述的浮动平台,其特征在于,所述托板和所述底板之间还设置有多个滚珠,每个所述滚珠通过滚珠座安装于所述底板上且能够在所述托板上滚动。5.一种载板浮动定位装置,其特征在于,其包括:如权利要求1至4中任一项所述的浮动平台,所述浮动平台位于载板下方,且能够托住载板;顶升装置,所述顶升装置位于所述浮动平台下方,且能够使得所述浮动平台升降移动;夹持机构,所述夹持机构分别对应位于所述载板的不同边沿外侧,且配置成能够移动载板并固定对应的边沿。6.根据权利要求5所述的载板浮动定位装置,其特征在于,所述载板...

【专利技术属性】
技术研发人员:马胜涛杨伯川蔡涔许明现
申请(专利权)人:东方日升常州新能源有限公司
类型:发明
国别省市:

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