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本发明涉及一种硅片悬浮传输机构，包括悬浮载台，所述悬浮载台的一侧表面设有多个气孔，以通过所述气孔往外吹出气体和/或将气体抽吸进所述悬浮载台内，以使硅片悬浮于所述悬浮载台设有所述气孔的一侧；所述悬浮载台上设有限位机构，所述限位机构具有可活动的...
该专利属于东方日升（常州）新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方日升（常州）新能源有限公司授权不得商用。

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