搬运系统具有搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，该搬运室在减压气氛下搬运基板。搬运室具备：固定在搬运室内，搬运基板的多个机器人；和移动式缓冲器。移动式缓冲器保持基板，在侧壁与机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。机器人通过与移动式缓冲器的移动进行协作而在移动式缓冲器与处理室之间进行基板的交接。动式缓冲器与处理室之间进行基板的交接。动式缓冲器与处理室之间进行基板的交接。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】搬运系统、搬运方法以及搬运装置
[0001]公开的实施方式涉及搬运系统、搬运方法以及搬运装置。
技术介绍
[0002]以往，已知一种搬运系统，其将具有对基板进行保持的手部的机器人配置在减压气氛的搬运室内，并向设置于搬运室的侧壁的处理室搬运基板。
[0003]例如，提出了一种基板处理装置，该基板处理装置利用移动式机器人向设置于搬运室的侧壁的多个处理室搬运基板，其中该移动式机器人通过线性马达的驱动在搬运室内移动(例如参照专利文献1)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2008
‑
028179号公报
技术实现思路
[0007]专利技术所要解决的课题
[0008]但是，在上述现有技术中，担心由于使机器人为移动式而导致的成本增加、以及由于移动机构的复杂化而导致的可用性降低。当可用性降低时，其结果是，基板的搬运效率降低，因此，从提高处理前的基板和处理后的基板的搬运效率的观点出发，存在改进的余地。
[0009]实施方式的一个方式的目的在于，提供一种能够提高基板的搬运效率的搬运系统、搬运方法以及搬运装置。
[0010]用于解决技术问题的手段
[0011]实施方式的一个方面的搬运系统具备搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，所述搬运室在减压气氛下搬运基板。搬运室具备：多个机器人，它们固定在搬运室内，对基板进行搬运；以及移动式缓冲器。移动式缓冲器对基板进行保持，在侧壁和机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。机器人通过与移动式缓冲器的移动进行协作，在移动式缓冲器和处理室之间进行基板的交接。
[0012]实施方式的一个方面的搬运方法使用搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，所述搬运室在减压气氛下搬运基板。搬运室具备：多个机器人，它们固定在搬运室内，对基板进行搬运；以及移动式缓冲器。移动式缓冲器对基板进行保持，在侧壁和机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。进而，实施方式的一个方式的搬运方法通过使机器人和移动式缓冲器的移动协作，在移动式缓冲器和处理室之间进行基板的交接。
[0013]实施方式的一个方面的搬运装置具备多个机器人、移动式缓冲器和控制器。机器人固定于搬运室内，对基板进行搬运，在所述搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，在减压气氛下搬运基板。移动式缓冲器对基板进行保持，在搬运室内，在侧壁与机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。控制器通过使机器人和移动式缓冲
器的移动协作，在移动式缓冲器和处理室之间进行基板的交接。
[0014]专利技术效果
[0015]根据实施方式的一个方面，能够提供一种能够提高基板的搬运效率的搬运系统、搬运方法以及搬运装置。
附图说明
[0016]图1是示出实施方式的搬运系统的概要的俯视示意图。
[0017]图2A是表示装载锁定室的配置例之一的俯视示意图。
[0018]图2B是表示装载锁定室的配置例之二的俯视示意图。
[0019]图3是实施方式的搬运系统的俯视示意图。
[0020]图4是机器人和移动式缓冲器的侧视示意图。
[0021]图5A是表示机器人的结构例之一的俯视示意图。
[0022]图5B是表示机器人的结构例之二的俯视示意图。
[0023]图5C是表示机器人的结构例之三的俯视示意图。
[0024]图5D是表示机器人的结构例之四的俯视示意图。
[0025]图5E是表示机器人的结构例之五的俯视示意图。
[0026]图6是变形例之一的搬运系统的俯视示意图。
[0027]图7是变形例之二的搬运系统的俯视示意图。
[0028]图8是变形例之三的搬运系统的俯视示意图。
[0029]图9是变形例之四的搬运系统的俯视示意图。
[0030]图10是表示机器人以及移动式缓冲器的变形例的图。
[0031]图11是表示搬运装置的结构的框图。
[0032]图12是表示搬运装置执行的处理顺序的流程图。
[0033]图13A是多层式的移动式缓冲器的立体图。
[0034]图13B是移动式缓冲器以及轨道的立体图。
[0035]图14A是搬运室的俯视示意图。
[0036]图14B是搬运室的立体示意图。
[0037]图15是表示多层式的移动式缓冲器的变形例的图。
具体实施方式
[0038]下面，参照附图详细说明本申请公开的搬运系统、搬运方法和搬运装置的实施方式。另外，本专利技术并不受以下所示的实施方式限定。
[0039]另外，在以下所示的实施方式中，使用“正交”、“水平”、“铅垂”、“平行”或“对称”这样的表述，但不需要严格地满足这些状态。即，上述的各表述允许在制造精度、设置精度、处理精度、检测精度等的偏差。
[0040]首先，使用图1对实施方式的搬运系统1的概要进行说明。图1是示出实施方式的搬运系统1的概要的俯视示意图。另外，图1相当于从上方观察搬运系统1的示意图。
[0041]另外，在图1中，为了使说明容易理解，示出了以铅垂向上为正方向的Z轴，以沿着设有多个处理室PC的搬运室100的侧壁100sw的方向为X轴，以侧壁100sw的法线方向为Y轴
的三维直角坐标系。该直角坐标系有时也在以下说明中使用的其它附图中示出。另外，在图1中，示出了相当于处理室PC的正面的线CL。线CL相当于侧壁100sw的法线中的、穿过处理室PC中的基板W(参照虚线的圆)的中心的线(在图1中为沿着Y轴的线)。
[0042]如图1所示，在搬运室100的外侧，在侧壁100sw设置有在减压气氛下对基板W进行处理的多个处理室PC。在此，作为处理室PC对基板W进行的处理，有CVD(Chemical Vapor Deposition：化学气相沉积)等成膜处理、蚀刻处理等。另外，一般有时也将减压气氛的环境称为“真空”。另外，图1所示的处理室PC中的双重线的边与能够开闭的开口对应。
[0043]搬运室100与处理室PC同样，室内为减压气氛，在室内配置有多个机器人10和移动式缓冲器110，通过两者的协作来搬运基板W。机器人10是将基板W放入处理室PC或从处理室PC取出基板W这样的进行基板W的搬运的基板搬运机构，例如是水平多关节机器人(SCARA机器人)。
[0044]这里，机器人10是固定于搬运室100的地板100f(参照图4)等的“固定式机器人”，不同于在搬运室100内行进或移动的“移动式机器人”。这样，机器人10不在搬运室100内移动，因此容易对机器人10供电，有助于搬运室100的清洁化。
[0045]移动式缓冲器110是暂时保持基板W的缓冲器，在侧壁100sw与机器人10之间沿着侧壁100sw在水平方向D1上移动。例如，移动式缓冲器110由线性马达等非接触驱动。另外，在图1中，为了参考而示出移动式缓冲器110的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种搬运系统，其特征在于，该搬运系统具备搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，所述搬运室在减压气氛下搬运所述基板，所述搬运室具备：多个机器人，它们固定在所述搬运室内，对所述基板进行搬运；以及移动式缓冲器，其对所述基板进行保持，在所述侧壁和所述机器人之间沿着所述侧壁在水平方向上移动，所述机器人通过与所述移动式缓冲器的移动进行协作，在所述移动式缓冲器和所述处理室之间进行所述基板的交接。2.根据权利要求1所述的搬运系统，其特征在于，所述搬运室在侧壁设置有使内压在减压气氛和大气压气氛之间变动的装载锁定室，多个所述机器人中的至少一个在所述移动式缓冲器与所述处理室或所述装载锁定室之间进行所述基板的交接。3.根据权利要求1或2所述的搬运系统，其特征在于，从所述机器人观察，所述移动式缓冲器能够停止在所述侧壁的正面。4.根据权利要求1、2或3所述的搬运系统，其特征在于，所述搬运室具备固定在所述搬运室内的轨道，所述移动式缓冲器具备：保持组件，其对所述基板进行保持；以及驱动组件，其对应于线性马达中的移动件，所述驱动组件由所述轨道中包含的定子以非接触方式驱动。5.根据权利要求4所述的搬运系统，其特征在于，所述保持组件具备以上下两层对所述基板进行保持的保持部。6.根据权利要求4或5所述的搬运系统，其特征在于，所述侧壁俯视为直线状，分别设置有沿水平方向排列的多个所述处理室，多个所述机器人沿着所述处理室的排列方向设置，所述轨道固定在与所述机器人相比更靠近所述侧壁的位置，是沿所述排列方向的直线轨道。7.根据权利要求6所述的搬运系统，其特征在于，所述直线轨道在两端中的至少一端具有向远离所述侧壁的方向弯曲的弯曲部。8.根据权利要求6或7所述的搬运系统，其特征在于，所述搬运室俯视为矩形形状，具备：与矩形的长边对应的所述侧壁即第一侧壁和第二侧壁；设置在所述第一侧壁与所述机器人之间的所述直线轨道即第一直线轨道；以及设置在所述第二侧壁与所述机器人之间的所述直线轨道即第二直线轨道。9.根据权利要求8所述的搬运系统，其特征在于，所述搬运室具备将所述第一直线轨道及所述第二直线轨道的一端彼此连接起来的第一曲线轨道。10.根据权利要求9所述的搬运系统，其特征在于，
所述搬运室具备将所述第一直线轨道和所述第二直线轨道的另一端彼此连接起来的第二曲线轨道。11.根据权利要求4～10中的任意一项所述的搬运系统，其特征在于，针对一个所述轨道设置有多个所述移动式缓冲器，它们能够分别独立地移动。12.根据权利要求4～10中的任意一项...
【专利技术属性】
技术研发人员：小宫路修，赤江裕光，山口刚，野口忠隆，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：
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