一种晶圆反应腔去胶机的传输结构制造技术

本实用新型专利技术涉及传输防护技术领域，具体为一种晶圆反应腔去胶机的传输结构，包括防撞机构；防撞机构安装在滑块的侧端，且滑块滑动连接在滑轨的上端，滑轨用于去胶机内部传输构件，本实用新型专利技术通过设置在滑块两侧的防撞机构，通过防撞机构对滑块进行预警，当滑块碰撞到两侧的安装架时，使得抵柱向安装壳体的内部传动收缩，同时收缩的同时抵柱的外壁上连接的搭接板向安装壳体内部收缩，且搭接板与对接板形成搭接，使得警报器与安装电源之间连通，使得安装电源为警报器通电，使得警报器发出警报，通过防撞机构整体的预警装置的设置，在滑块在传输过程中发生碰撞进行有效预警，提高了圆晶盘在传输过程中的安全性，保证了去胶机内部传输的稳定性。部传输的稳定性。部传输的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆反应腔去胶机的传输结构


[0001]本技术涉及传输防护
，具体为一种晶圆反应腔去胶机的传输结构。

技术介绍

[0002]光阻机通常采用电感耦合高密度等离子体（ICP），能快速去除晶圆上之残留光阻（光刻胶），达到晶圆表面洁净，具有蚀刻率高，无电极污染，离子能量低，不损伤基板等优点，然而往往在光阻机的内部往往会在去胶完成后进行进一步的传输防护加工，实现新型胶体的传输防护，实现光阻机的多重加工步骤；
[0003]圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶。
[0004]传统的去胶机内部安装有传输机构，通过传输机构进行去胶机加工的圆晶盘进行传输，通常采用的滑轨传输或传送带传输，在进行滑轨传输时，通过滑轨上端的滑块对圆晶盘进行传输，然而这种通过滑块安装进行传输的过程中，因为滑轨往往是固定在安装架上，在滑块在滑轨上滑动时往往容易导致滑块容易与滑轨两侧的安装架碰撞，容易造成传输过程中圆晶盘损坏。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆反应腔去胶机的传输结构固定用加强机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆反应腔去胶机的传输结构，包括防撞机构；所述的防撞机构安装在滑块的侧端，且所述的滑块滑动连接在滑轨的上端，所述的滑轨用于去胶机内部传输构件。
[0007]优选的，所述的防撞机构包括安装壳体与抵柱，所述的抵柱一端延伸出安装壳体的外部，所述的抵柱的l另一端传动连接在安装壳体的内部，所述的抵柱另一端连接有弹簧件，所述的弹簧件的一端固定在安装壳体的内壁上，所述的抵柱的外壁之间连接有连通杆，且安装在安装壳体内部两侧的抵柱的外壁上连接有搭接板，所述的搭接板的底部设置有环板，所述的搭接板环板与两侧的抵柱的外壁固定连接，且所述两侧的抵柱设置有警报器与安装电源，所述的警报器与安装电源的上端设置有对接板，所述的警报器与安装电源固定安装在安装壳体的侧端壁上。
[0008]优选的，所述的安装壳体还包括套筒与螺杆，所述的安装壳体内壁两侧设置有固定筒，所述的固定筒内部设置有安装槽，所述的螺杆螺旋连接在安装槽内部，且所述的螺杆的另一端与所述的套筒的内部螺旋连接。
[0009]优选的，所述的对接板设置在所述的搭接板的正上方，所述的搭接板的上演到对接板的垂直距离与抵柱的前端到安装壳体的外端部距离一致。
[0010]优选的，所述的抵柱的前端外壁表面设置绝缘层，所述的连通杆与搭接板采用金属材质，所述的对接板与警报器与安装电源内部电源线路连接。
[0011]优选的，所述的安装壳体的外壁固定连接在所述的滑块的两侧外壁上，且所述的安装壳体的底部表面与滑轨的上端面贴合。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、通过设置在滑块两侧的防撞机构，通过防撞机构对滑块进行预警，当滑块碰撞到两侧的安装架时，使得抵柱向安装壳体的内部传动收缩，同时收缩的同时抵柱的外壁上连接的搭接板向安装壳体内部收缩，且搭接板与对接板形成搭接，使得警报器与安装电源之间连通，使得安装电源为警报器通电，使得警报器发出警报，通过防撞机构整体的预警装置的设置，在滑块在传输过程中发生碰撞进行有效预警，提高了圆晶盘在传输过程中的安全性，保证了去胶机内部传输的稳定性。
[0014]2、通过设置的套筒与螺杆，通过套筒与螺杆组合连接在安装壳体的内壁上，提高了安装壳体的稳定性，保证安装壳体内部组件稳定安装在安装壳体的内部，保证了抵柱外壁上的搭接板能够稳定搭接在对接板上。
[0015]3、通过弹簧件的设置，保证抵柱收缩使得警报器通电发出预警时，通过弹簧件使得抵柱能够恢复原本的延伸出安装壳体的外部，保证了预警装置能够始终处于工作状态，保证了预警装置能够稳定报警。
附图说明
[0016]图1为本技术防撞机构在滑块与滑轨上组合安装连接结构爆炸图；
[0017]图2为本技术防撞机构的外部连接结构示意图；
[0018]图3为本技术安装壳体内部组件与抵柱连接结构示意图；
[0019]图4为本技术搭接板的整体外部结构图；
[0020]图5为本技术锁套筒与螺杆之间组合连接结构示意图。
[0021]图中：10、滑块；11、防撞机构；111、安装壳体；112、抵柱；113、套筒；114、螺杆；115、搭接板；116、弹簧件；117、连通杆；118、对接板；
[0022]20、滑轨；
[0023]30、警报器；
[0024]40、安装电源。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]所述的警报器30与所述的安装电源40属于现有技术中成熟使用的电子工具，在本技术中未做详细的描述。
实施例
[0027]请参阅图1
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5，图示中的：一种晶圆反应腔去胶机的传输结构，包括防撞机构11；所述的防撞机构11安装在滑块10的侧端，且所述的滑块10滑动连接在滑轨20的上端，所述的滑轨20用于去胶机内部传输构件，所述的防撞机构11包括安装壳体111与抵柱112，所述的抵柱112一端延伸出安装壳体111的外部，所述的抵柱112的l另一端传动连接在安装壳体111的内部，所述的抵柱112另一端连接有弹簧件116，所述的弹簧件116的一端固定在安装壳体111的内壁上，弹簧件116的设置，保证抵柱112收缩形成警报器30发出预警时，通过弹簧件116使得抵柱112能够恢复原本的延伸出安装壳体111的外部，保证了预警装置能够始终处于工作状态，保证了预警装置能够稳定报警，所述的抵柱112的外壁之间连接有连通杆117，且安装在安装壳体111内部两侧的抵柱112的外壁上连接有搭接板115，所述的搭接板115的底部设置有环板，所述的搭接板115环板与两侧的抵柱112的外壁固定连接，且所述两侧的抵柱112设置有警报器30与安装电源40，所述的警报器30与安装电源40的上端设置有对接板118，所述的警报器30与安装电源40固定安装在安装壳体111的侧端壁上，通过防撞机构11对滑块10进行预警，当滑块10碰撞到两侧的安装架时，使得抵柱112向安装壳体111的内部传动收缩，同时收缩的同时抵柱112的外壁上连接的搭接板115向安装壳体111内部收缩，且搭接板115与对接板118形成搭接，使得警报器30与安装电源40之间连通，使得安装电源40为警报器30通电，使得警本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆反应腔去胶机的传输结构，包括防撞机构(11)；其特征在于：所述的防撞机构(11)安装在滑块(10)的侧端，且所述的滑块(10)滑动连接在滑轨(20)的上端，所述的滑轨(20)用于去胶机内部传输构件。2.根据权利要求1所述的一种晶圆反应腔去胶机的传输结构，其特征在于：所述的防撞机构(11)包括安装壳体(111)与抵柱(112)，所述的抵柱(112)一端延伸出安装壳体(111)的外部，所述的抵柱(112)的l另一端传动连接在安装壳体(111)的内部，所述的抵柱(112)另一端连接有弹簧件(116)，所述的弹簧件(116)的一端固定在安装壳体(111)的内壁上，所述的抵柱(112)的外壁之间连接有连通杆(117)，且安装在安装壳体(111)内部两侧的抵柱(112)的外壁上连接有搭接板(115)，所述的搭接板(115)的底部设置有环板，所述的搭接板(115)环板与两侧的抵柱(112)的外壁固定连接，且所述两侧的抵柱(112)设置有警报器(30)与安装电源(40)，所述的警报器(30)与安装电源(40)的上端设置有对接板(118)，所述的警报器(30)与安装电源(40)固定安装在安装壳体(111)的侧端壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟兴进，
申请(专利权)人：广州市鸿浩光电半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：