显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法技术

本发明专利技术提供一种显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法，能够识别通过分割曝光形成的各要素的分割曝光区域的边界位置，能够容易地进行工序管理和评价。显示面板用的基板（１１）上，设有：通过按多个分割曝光区域的每个区域对被曝光区域进行曝光的分割曝光形成、并且上述分割曝光区域的边界位置相互不同的两个以上的薄膜图案；和表示该分割曝光区域的边界位置相互不同的两个以上的薄膜图案中的至少一个薄膜图案的分割曝光区域的边界位置的标记（３ａ）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面 板用的基板的制造方法和显示面板的制造方法，特别是适当地涉及， 通过包括用分割曝光按规定的形状形成光致抗蚀剂图案的工序的制造 方法所制造的显示面板用的基板、包括该基板的显示面板、显示面板 用的基板的制造方法和显示面板的制造方法。
技术介绍
一般的液晶显示面板，具有包括隔开微小的间隔相对配设的两枚 基板、在这些基板之间填充液晶的结构。在这些基板的其中一个基板 的表面上，按矩阵状形成有像素电极，并且在该像素电极上形成有用 于施加电压的薄膜晶体管、数据信号线(源极信号线)、扫描信号线(栅 极信号线)等规定的要素。另外，在另一个基板的表面上，按矩阵状 形成有黑矩阵、以及红色、蓝色、绿色的各色的着色层等要素，在这 些的表面形成透明电极(公共电极)等要素。上述各要素中，有的是用光刻法形成的。例如经过以下工序形成 薄膜晶体管、黑矩阵、各色的着色层，在基板表面涂敷光致抗蚀剂材料的工序；在涂敷的光致抗蚀剂材料上通过光掩模曝光的工序；和除 去光致抗蚀剂材料的不需要的部分的工序等。在上述的涂敷的光致抗蚀剂材料上通过光掩模曝光的工序中，有 的是使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示面板用的基板，其特征在于，包括：　通过按多个分割曝光区域的每个区域对被曝光区域进行曝光的分割曝光形成的薄膜图案；和　表示所述分割曝光区域的边界位置的标记。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川英俊，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]