粘结卡盘装置制造方法及图纸

一种粘结卡盘装置，通过简单结构的气动机构确实地装卸基板。在保持板（１）的基板侧设有可动膜（３）和粘结部件（４），该可动膜（３）在开设于该基板侧面（１ａ）的开口部（１ｂ）内可向与该基板侧面（１ａ）交叉的方向变形，该粘结构部件（４）与基板（Ａ）相向地进行粘结保持，通过上述可动膜（３）的一次侧空间（５）和二次侧空间（Ｓ）的压力差使该可动膜（３）往复移动，由此粘结部件（４）的粘结表面（４ａ）和基板（Ａ）抵接而粘结保持，同时，通过强制拉开这两者，可不费力地将基板（Ａ）从粘结部件（４）的粘结表面（４ａ）剥离。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种粘结卡盘装置，用于包含基板贴合机的基板组装装置或运送基板的基板运送装置等，上述基板贴合机在例如液晶显示器(LCD)或等离子显示器(PDP)等的平板显示器的制造过程中，粘结保持并贴合CF玻璃、TFT玻璃等的玻璃制基板或合成树脂制基板。详细地涉及相对于保持板通过粘结而装卸自如地保持基板的粘结卡盘装置。
技术介绍
以往，在使两个基板重合的基板贴合机中，通过静电卡盘保持基板，然而，随着近年来基板的大型化，难以制造大尺寸的静电卡盘，而且即使能进行制造的话，成本也会非常高。于是，为了解决这些问题，有着在基板的保持中使用粘结材料的粘结卡盘装置。作为这样的粘结卡盘装置的一例，对于卷取自如地张设在一对滚筒上的粘结片，粘贴保持上基板后，实施上基板和下基板的贴合，此后，利用多个电机的驱动使心轴旋转并卷取粘结片的同时，通过以与其卷取速度同步的速度向该卷取方向水平移动该心轴及一方的滚筒，从上基板的上面慢慢地剥离粘结片(例如，参照专利文献1)。而且，代替上述的由心轴进行的粘结片的卷取，可在贴合两基板并形成元件后，以多个致动器的驱动，使刀具台及刀具底座通过多个致动器上升到刀具刃的下端位置，然后通过向粘结片的宽度方向移动刀具，切断粘贴有上基板的粘结片，取出于该粘有粘结片的元件，在适当的时候，从元件剥离粘结片。作为其他的例子，在上方的加压板上开设多个开孔，在这些开孔内分别设置致动器，在从各致动器向下方伸出的轴的前端粘贴安装有粘结部件，通过上述致动器的动作在开孔内使粘结部件下降，粘结部件的下面与上基板接触时，由其粘结作用以紧密接合到加压板下面的形状得到保持，而且基板贴合后在从上基板剥离粘结材料时，若通过致动器在开孔内使粘结部件上升的话，则开孔的周缘部阻止上基板的移动，将上基板从粘结部件拉开(例如，参照专利文献2)。另外，在上方的加压板设置多个开口，在这些开口内分别具备旋转用的致动器和上下驱动用的致动器，在从各个旋转用的致动器向下方伸出的旋转轴的前端安装有粘结部件，通过上下驱动用致动器的动作在开口内使各粘结部件下降，并通过与这些粘结部件的吸引吸附来保持上基板，进行定位，同时进行贴合，在使粘结部件向加压板内后退时，相对于基板面由旋转用的致动器扭转粘结部件的同时、或在扭转后由上下驱动用的致动器使其后退，将粘结部件从上基板剥离(例如，参照专利文献3)。专利文献1特开2001-133745号公报(第3-5页、图1-图7)专利文献2特开2003-241160号公报(第5页、图7)专利文献3特开2003-273508号公报(第5页、图1-5)然而，在这样的以往的粘结卡盘装置中，在专利文献1的情况下，存在如下问题，即，为了剥离粘结部件和基板，必须在将粘结片卷取的同时，按与卷取速度同步的速度使其向相同的卷取方向水平移动，或者必须使刀具台及刀具底座上升通过刀具来切断粘结片，各个动作需要多个电机或致动器等的驱动源，导致结构复杂化。并且，在专利文献2的情况下，为了在加压板的开孔内使粘结部件上升，在每个粘结部件都分别需要多个致动器，而在专利文献3的情况下，每个粘结部件都分别需要用于使粘结部件边旋转边后退的旋转用的致动器及上下驱动用的致动器，因此导致结构复杂化。因此，专利文献1～3，特别是由于剥离结构复杂，因此不仅故障的发生率高，而且存在如下问题，即，尤其在配置于包含基板贴合机的基板组装装置或基板搬送装置等情况下，难以将原有的静电卡盘等的基板保持机构置换成本专利技术的粘结卡盘装置。而且，存在如下问题，即，上述致动器为例如电机等的电磁电动机时，会容易发热，比如玻璃制的基板对热变化敏感，仅变化1℃也会收缩约4μmm左右，因发热带来的该影响而难以将基板彼此之间正确地对位。并且还存在如下问题，即，在从大气压到规定的真空度的环境气体中进行粘结保持、同时使该粘结剥离而开放时，从大气压变化至规定的真空度，但若使用如电机那样的电磁致动器的话，则在真空中的某一时刻恐怕会引起等离子放电，这会导致玻璃板的破坏。而且存在如下问题，即，上述致动器即使为如汽缸等的驱动源，由于它本身为可以伸缩动作的密封结构，因此难以小型化，于是装置整体成为大型化而引起制造成本的提高。然而，尤其大型的基板容易发生歪曲变形，为了将如此容易变形的基板确实地粘结保持并开放剥离，对于基板需要用以强大的力使粘结部件接触或分离，而为得到如此强大的力必须使致动器大型化，从而导致重量变重。
技术实现思路
本专利技术的技术方案1所述的专利技术，其目的在于，用简单结构的气动机构确实地装卸基板。技术方案2所述的专利技术，其目的在于，加上技术方案1所述的专利技术的目的，获得通过简单结构的气动机构将基板确实地粘结·剥离所需要的力。技术方案3所述的专利技术，其目的在于，加上技术方案1或2所述的专利技术目的，容易实现吸引用配管系统或吸引控制且确实地保持基板。技术方案4所述的专利技术，其目的在于，加上技术方案2或3所述的专利技术目的，使刚体部的往复运动稳定，并谋求提高与基板的粘结性能及剥离性能。技术方案5所述的专利技术，其目的在于，加上技术方案4所述的专利技术目的，与二次侧空间的压力变化无关地粘结保持及剥离开放基板。技术方案6所述的专利技术，其目的在于，加上技术方案1、2、3、4或5所述的专利技术目的，不用大型化可动膜本身，即可确保为了确实地进行粘结·剥离的行程。技术方案7所述的专利技术，其目的在于，加上技术方案1、2、3、4、5或6所述的专利技术目的，容易控制气动机构的压力。为了达成上述目的，在本专利技术的技术方案1所述的专利技术，其特征在于，在保持板的基板侧设有在该基板侧面开设的开口部内可向与该基板侧面交叉的方向变形的可动膜、和与基板相向地进行粘结保持的粘结部件，通过上述可动膜的一次侧空间和二次侧空间的压力差使该可动膜往复运动，使粘结部件的粘结表面和基板抵接而粘结，同时，将这两者强制拉开而剥离。技术方案2所述的专利技术，其特征在于，在技术方案1所述的专利技术的构成上加以下构成，即，在上述可动膜的一部分与基板相向地设置刚体部，通过该可动膜的往复运动使该刚体部的前端面从保持板的开口部出入而与基板抵接。技术方案3所述的专利技术，其特征在于，在技术方案1或2所述的专利技术的构成上加以下构成，即，与基板相向地开设沿上述可动膜的往复运动方向贯通的通气道，从该通气道吸引吸附基板。技术方案4所述的专利技术，其特征在于，在技术方案2或3所述的专利技术的构成上加以下构成，即，在上述可动膜设置与刚体部成一体化的缸部，在基板侧面被开设的开口部内设置与该缸部相向的隔壁，相对于该隔壁往复运动自如地插通并轴支承缸部。技术方案5所述的专利技术，其特征在于，在技术方案4所述的专利技术的构成上加以下构成，即，在上述开口部内设置互相分离的两个可动膜，在这些可动膜插通安装缸部，在两可动膜之间分别划分形成第一气动室和第二气动室，通过该第一气动室和第二气动室的压力差同时变形两可动膜并使其进行往复运动。根据技术方案6所述的专利技术，其特征在于，在技术方案1、2、3、4或5所述的专利技术的构成上加以下构成，即，上述可动膜由可向与保持板的基板侧面交叉的方向变形的风箱构成。技术方案7所述的专利技术，其特征在于，在技术方案1、2、3、4、5或6所述的专利技术的构成上加以下构成，即，设置与上述可动膜关联的施力部件，用该施力部件对该可动膜向其往复运动的任一方向施力。本专利技术中的技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种粘结卡盘装置，其相对于保持板通过粘结而装卸自如地保持基板，其特征在于：在上述保持板的基板侧设有：在开设于该基板侧面的开口部内可向与该基板侧面交叉的方向变形的可动膜、和与基板相向地进行粘结保持的粘结部件；借助由上述可动膜的一次侧空 间与二次侧空间的压力差产生的该可动膜的往复运动使粘结部件的粘结表面与基板抵接而进行粘结，同时，通过强制拉开这两者而进行剥离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：横田道也，大谷义和，板下光邦，
申请(专利权)人：信越工程株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]