The utility model relates to a spin chuck comprising a chuck body, a chuck body having a vacuum channel, at least three positioning claw is uniformly provided with the chuck body end face circumference, the vacuum channel in the center of the chuck body, the end surface of the chuck body is provided with at least one annular groove, and the the annular groove and the vacuum passages, the annular groove and the vacuum channel of the concentric annular groove and the vacuum channel communicated with the channel in the same line, the height of the positioning pawl is 1-3mm. The utility model is mainly through the positioning claw and the ring groove design solves the existing rotary coating process, due to the effect of centrifugal force, the chip is easy detachment or shaking, causing the problem of increasing chip breakage or rework rate of photoresist, while avoiding wear long time shaking of the motor shaft brings, and prolonging the service life of equipment the service life and improve the production efficiency and product quality.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种匀胶卡盘领域。
技术介绍
在半导体电子器件生产中，需要对硅片进行光刻胶的匀胶加工，目前大多数工艺采用的是真空吸片的方式吸住硅片，但是在承片台旋转匀胶过程中，由于离心力影响，芯片较容易脱离承片台或发生晃动，造成芯片破损或匀胶的返工率大大增加，长时间的晃动旋转也会对电机的轴带来磨损，发生磨损后晃动更大，造成恶性循环，长时间后就影响了设备的使用寿命和生产效率，基于此种情况，我们需要做出相应改进。现有技术对匀胶机的研究主要是在承片台的真空吸盘上，例如CN101728296A一种承片台，该承片台设有环形台、真空吸盘、槽、真空通道和本体，本体顶部设有环形台，环形台开有可以方便工形机械手进入取送晶片的槽，环形台上表面分布有真空吸盘，本体内开设有与真空吸盘相通的真空通道。该专利技术通过在承片台边缘环形带上分布真空吸盘，对硅片进行真空吸附。虽然上述专利技术对比以往匀胶加工，加大了承片台与硅片之间的吸附力，但由于真空吸盘只是承片台边缘分布，旋转速度较高时仍有可能出现偏移、晃动或掉片情况，对真空吸力的要求也很高。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种匀胶卡盘，解决现有旋转匀胶过程中，由于离心力影响，芯片较容易脱离或发生晃动，造成芯片破损或匀胶的返工率增加的问题，避免长时间的晃动对电机的轴带来的磨损，延长设备的使用寿命和提高生产效率。本技术解决上述技术问题的技术方案如下：...
【技术保护点】
一种匀胶卡盘，其特征在于，包括卡盘本体，所述卡盘本体具有真空通道，所述卡盘本体端面圆周上均匀设有至少三个定位爪。
【技术特征摘要】
1.一种匀胶卡盘，其特征在于，包括卡盘本体，所述卡盘本体具有真空通道，所述卡盘本体端面圆周上均匀设有至少三个定位爪。
2.根据权利要求1所述的一种匀胶卡盘，其特征在于，所述真空通道在所述卡盘本体中心。
3.根据权利要求2所述的一种匀胶卡盘，其特征在于，所述卡盘本体端面开设有至少一个环形凹槽，且所述环形凹槽与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾标琴，徐爱民，高占成，王友锁，陈广辉，
申请(专利权)人：润奥电子扬州制造有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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