一种晶圆加工用可调式定位夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆加工用可调式定位夹具，包括第一夹块，所述第一夹块的外侧固定有第一侧板，所述第一夹块的外侧固定有第二侧板，所述第一侧板与第二侧板大小相同，所述第一侧板的外侧固定有连接板，所述第一侧板通过连接板与第二侧板相互连接，所述第一夹块的上端开设有第一橡胶卡槽，所述第一夹块的上端固定有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆对称设置有两个，所述第一螺纹杆的外侧设置有第二夹块。该晶圆加工用可调式定位夹具，将第三夹块外侧的第二滑块沿着第二滑槽滑动至合适的位置，通过第一滑槽与第一滑块的滑动连接对第三夹块进行限位处理，拧紧第三旋钮对第二滑块的位置进行固定，实现了对晶棒的位置调整处理。实现了对晶棒的位置调整处理。实现了对晶棒的位置调整处理。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工用可调式定位夹具


[0001]本技术涉及晶圆设备
，具体为一种晶圆加工用可调式定位夹具。

技术介绍

[0002]晶圆设备是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，具体为一种晶圆定位夹具装置，现有的晶圆定位夹具装置在对晶圆进行夹持时，不能进行稳定的夹持，且在使用过程中，不能对晶圆进行调整，使用起来极为不方便。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种晶圆加工用可调式定位夹具，以解决上述
技术介绍
提出的现有的晶圆定位夹具装置不能对晶圆进行稳定夹持与不能进行调整的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆加工用可调式定位夹具，包括第一夹块，所述第一夹块的外侧固定有第一侧板，所述第一夹块的外侧固定有第二侧板，所述第一侧板与第二侧板大小相同，所述第一侧板的外侧固定有连接板，所述第一侧板通过连接板与第二侧板相互连接，所述第一夹块的上端开设有第一橡胶卡槽，所述第一夹块的上端固定有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆对称设置有两个，所述第一螺纹杆的外侧设置有第二夹块，所述第一螺纹杆与第二夹块为滑动连接，所述第一螺纹杆的外侧设置有第一旋钮，所述第一螺纹杆与第一旋钮为螺纹连接，所述第二夹块的底端开设有第二橡胶卡槽。
[0005]优选的，所述第一橡胶卡槽为弧形结构，所述第二橡胶卡槽为弧形结构，所述第一橡胶卡槽与第二橡胶卡槽大小相同。
[0006]优选的，所述第二侧板的外侧开设有第一滑槽，所述第二侧板的外侧设置有第三夹块，所述第三夹块的外侧固定有第一滑块，所述第一滑块与第一滑槽为滑动连接。
[0007]优选的，所述第三夹块的上端开设有第三橡胶卡槽，所述第三夹块的上端固定有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆对称设置有两个，所述第二螺纹杆的外侧设置有第四夹块，所述第二螺纹杆与第四夹块为滑动连接，所述第二螺纹杆的外侧设置有第二旋钮，所述第二螺纹杆与第二旋钮为螺纹连接，所述第四夹块的底端开设有第四橡胶卡槽，所述第三橡胶卡槽与第四橡胶卡槽大小相同。
[0008]优选的，所述第一侧板的外侧开设有第二滑槽，所述第三夹块的外侧固定有第二滑块，所述第二滑槽与第二滑块为滑动连接，所述第二滑块的外侧设置有第三旋钮。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该晶圆加工用可调式定位夹具，通过将晶棒放置在第三橡胶卡槽与第四橡胶卡槽之间，将第四夹块沿着第二螺纹杆向下滑动，转动第二旋钮沿着第二螺纹杆转动拧紧，第二旋钮对第四夹块进行固定，实现了对晶棒的稳定夹持处理，将第三夹块外侧的第二滑块沿着第二滑槽滑动至合适的位置，通过第一滑
槽与第一滑块的滑动连接对第三夹块进行限位处理，拧紧第三旋钮对第二滑块的位置进行固定，沿着第一螺纹杆拧紧第一旋钮对第二夹块进行固定，对晶棒进行固定，实现了对晶棒的位置调整处理。
附图说明
[0010]图1为本技术立体结构示意图；
[0011]图2为本技术展开结构示意图；
[0012]图3为本技术俯视结构示意图。
[0013]图中：1、第一夹块；2、第一侧板；3、第二侧板；4、连接板；5、第一橡胶卡槽；6、第一螺纹杆；7、第二夹块；8、第一旋钮；9、第二橡胶卡槽；10、第一滑槽；11、第三夹块；12、第一滑块；13、第三橡胶卡槽；14、第二螺纹杆；15、第四夹块；16、第二旋钮；17、第四橡胶卡槽；18、第二滑槽；19、第二滑块；20、第三旋钮。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种晶圆加工用可调式定位夹具，包括第一夹块1，第一夹块1的外侧固定有第一侧板2，第一夹块1的外侧固定有第二侧板3，第一侧板2与第二侧板3大小相同，第一侧板2的外侧固定有连接板4，第一侧板2通过连接板4与第二侧板3相互连接，第一夹块1的上端开设有第一橡胶卡槽5，第一夹块1的上端固定有第一螺纹杆6，第一螺纹杆6对称设置有两个，第一螺纹杆6的外侧设置有第二夹块7，第一螺纹杆6与第二夹块7为滑动连接，第一螺纹杆6的外侧设置有第一旋钮8，第一螺纹杆6与第一旋钮8为螺纹连接，第二夹块7的底端开设有第二橡胶卡槽9。
[0016]进一步的，第一橡胶卡槽5为弧形结构，第二橡胶卡槽9为弧形结构，第一橡胶卡槽5与第二橡胶卡槽9大小相同，实现了对晶棒的稳定夹持处理，第一橡胶卡槽5与第二橡胶卡槽9为橡胶材质，防止将晶棒压坏。
[0017]进一步的，第二侧板3的外侧开设有第一滑槽10，第二侧板3的外侧设置有第三夹块11，第三夹块11的外侧固定有第一滑块12，第一滑块12与第一滑槽10为滑动连接，实现了对第三夹块11的限位处理。
[0018]进一步的，第三夹块11的上端开设有第三橡胶卡槽13，第三夹块11的上端固定有第二螺纹杆14，第二螺纹杆14对称设置有两个，第二螺纹杆14的外侧设置有第四夹块15，第二螺纹杆14与第四夹块15为滑动连接，第二螺纹杆14的外侧设置有第二旋钮16，第二螺纹杆14与第二旋钮16为螺纹连接，第四夹块15的底端开设有第四橡胶卡槽17，第三橡胶卡槽13与第四橡胶卡槽17大小相同，实现了对晶棒的稳定夹持处理。
[0019]进一步的，第一侧板2的外侧开设有第二滑槽18，第三夹块11的外侧固定有第二滑块19，第二滑槽18与第二滑块19为滑动连接，第二滑块19的外侧设置有第三旋钮20，实现了对第三夹块11位置固定处理。
[0020]工作原理：通过将晶棒放置在第三橡胶卡槽13与第四橡胶卡槽17之间，将第四夹块15沿着第二螺纹杆14向下滑动，转动第二旋钮16沿着第二螺纹杆14转动拧紧，第二旋钮16对第四夹块15进行固定，实现了对晶棒的稳定夹持处理，将第三夹块11外侧的第二滑块19沿着第二滑槽18滑动至合适的位置，通过第一滑槽10与第一滑块12的滑动连接对第三夹块11进行限位处理，拧紧第三旋钮20对第二滑块19的位置进行固定，沿着第一螺纹杆6拧紧第一旋钮8对第二夹块7进行固定，对晶棒进行固定，实现了对晶棒的位置调整处理。
[0021]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用可调式定位夹具，包括第一夹块，其特征在于：所述第一夹块的外侧固定有第一侧板，所述第一夹块的外侧固定有第二侧板，所述第一侧板与第二侧板大小相同，所述第一侧板的外侧固定有连接板，所述第一侧板通过连接板与第二侧板相互连接，所述第一夹块的上端开设有第一橡胶卡槽，所述第一夹块的上端固定有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆对称设置有两个，所述第一螺纹杆的外侧设置有第二夹块，所述第一螺纹杆与第二夹块为滑动连接，所述第一螺纹杆的外侧设置有第一旋钮，所述第一螺纹杆与第一旋钮为螺纹连接，所述第二夹块的底端开设有第二橡胶卡槽。2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具，其特征在于：所述第一橡胶卡槽为弧形结构，所述第二橡胶卡槽为弧形结构，所述第一橡胶卡槽与第二橡胶卡槽大小相同。3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷泽安，殷志鹏，
申请(专利权)人：苏州译品芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：