磷化铟晶棒参考边加工用定位治具及包含它的加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磷化铟晶棒参考边加工用定位治具及包含它的加工装置，一种磷化铟晶棒参考边加工用定位治具，包括定位块和安装块；安装块包括横向安装块和纵向安装块，纵向安装块长度方向上一端为拼接端、另一端为安装端，横向安装块垂直连接在纵向安装块拼接端端部、使横向安装块和纵向安装块形成L形；定位块为方形块，纵向安装块安装端的上表面设有凹槽，凹槽与定位块相互匹配，定位块安装在凹槽内、且定位块的上表面高出纵向安装块的上表面。上述装置，加工偏差小，精度高，角度偏差在0.02

【技术实现步骤摘要】
磷化铟晶棒参考边加工用定位治具及包含它的加工装置


[0001]本技术涉及一种磷化铟晶棒参考边加工用定位治具及包含它的加工装置，属于磷化铟晶棒参考边的制备领域。

技术介绍

[0002]参考边是单晶棒一项重要的外观指标。磷化铟晶棒通过LEC法、VGF法等方法生长出来后，通过外圆加工后，需要制备参考边。现有技术中，磷化铟晶棒参考边的加工方法为平磨，由于平面磨在取放过程中存在一定的偏差，该方式加工后角度偏差通常在0.02～0.1
°
左右，少量能做到0.02
°
内，加工很不稳定，且不能保证合格率，很难达到客户要求的0.02
°
以内的要求。为了提高加工精度，在国内外甚至采用解理的方式制备，由于解理需要用到外力方式，容易引起晶片90
°
位置解理，因此良率及成品率就成为量产的首要问题。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种磷化铟晶棒参考边加工用定位治具及包含它的加工装置，定位治具结构简单，稳定性好；加工装置，加工偏差小，精度高，稳定性好。
[0004]为解决上述技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磷化铟晶棒参考边加工用定位治具，其特征在于：包括定位块和安装块；安装块包括横向安装块和纵向安装块，纵向安装块长度方向上一端为拼接端、另一端为安装端，横向安装块垂直连接在纵向安装块拼接端端部、使横向安装块和纵向安装块形成L形；定位块为方形块，纵向安装块安装端的上表面设有凹槽，凹槽与定位块相互匹配，定位块安装在凹槽内、且定位块的上表面高出纵向安装块的上表面。2.如权利要求1所述的磷化铟晶棒参考边加工用定位治具，其特征在于：安装块的横向安装块和纵向安装块为一体成型结构。3.如权利要求1或2所述的磷化铟晶棒参考边加工用定位治具，其特征在于：安装块所用材质为铁。4.如权利要求1或2所述的磷化铟晶棒参考边加工用定位治具，其特征在于：定位块所用材质为铁。5.如权利要求1或2所述的磷化铟晶棒参考边加工用定位治具，其特征在于：定位块通过螺栓安装在凹槽内。6.如权利要求1或2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：周锐，柯尊斌，王卿伟，
申请(专利权)人：中锗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：