一种晶圆切割切口检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆切割切口检测装置，包括底板和电机，所述底板的顶部与所述电机固定连接，所述底板的顶部固定连接有电动推杆，所述电动推杆远离所述底板的一端固定连接有承重板，所述电机的主轴末端固定连接有旋转杆，所述旋转杆的外侧固定连接有旋转块，所述旋转块的外侧设置有放置组件；所以放置组件包括有与所述旋转块外侧固定连接的旋转板。本实用新型专利技术中，电机转动通过旋转杆带动旋转块偏转，旋转块通过旋转板带动放置框和晶圆发生偏转，挡块将晶圆挡住，放置框继续偏转，晶圆滑落至承重板上，根据晶圆是否符合标准，来控制对应的电推杆带动定位板和推板运动，将晶圆推至对应的收集框中。将晶圆推至对应的收集框中。将晶圆推至对应的收集框中。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割切口检测装置


[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体为一种晶圆切割切口检测装置。

技术介绍

[0002]晶圆，是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，晶圆在制造过程中，会将硅晶棒经过切段，滚磨，切割，倒角，抛光，激光刻，然后再经过包装后，即成为硅晶圆片，加工时，在切割这一过程完成后，需要对晶圆的切割切口进行检测。
[0003]现有已授权专利号为CN211179565U的一种晶圆切割切口检测装置，包括操作台，所述操作台侧板的一侧固设有第一暗箱，所述操作台侧板的另一侧固设有第二暗箱，所述第一暗箱和第二暗箱的底部均安设有箱盖。本实用设置了第一暗箱和第二暗箱，而且第二暗箱与第一暗箱相互交替工作，当第一暗箱的内部在对晶圆进行检测的同时，可以对第二暗箱进行下料与上料操作。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为上述的现有检测装置在使用中，需要讲将晶圆放置在平台上，检测完成后再将晶圆取下，操作较为麻烦，因此，本技术提供了一种晶圆切割切口检测装置。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆切割切口检测装置以解决上述
技术介绍
中提出的现有检测装置在使用中，需要讲将晶圆放置在平台上，检测完成后再将晶圆取下，操作较为麻烦的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆切割切口检测装置，包括底板和电机，所述底板的顶部与所述电机固定连接，所述底板的顶部固定连接有电动推杆，所述电动推杆远离所述底板的一端固定连接有承重板，所述电机的主轴末端固定连接有旋转杆，所述旋转杆的外侧固定连接有旋转块，所述旋转块的外侧设置有放置组件；所以放置组件包括有与所述旋转块外侧固定连接的旋转板，所述旋转板的侧面固定连接有放置框，所述放置框的两侧均开设有连通槽，所述承重板的顶部固定连接有固定架，所述固定架的外侧固定连接有挡块，所述挡块的外侧呈弧面设置，所述放置框的外侧开设有一对与所述挡块相适配的槽口。
[0007]优选的，所述放置框的内壁两侧均固定连接有限位板，一对所述限位板呈对称设置。
[0008]优选的，所述底板的顶部固定连接有一对呈对称设置的固定板，一对所述固定板的侧面均固定连接有电推杆。
[0009]优选的，一对所述电推杆的一端均固定连接有定位板，一对所述定位板的外侧均固定连接有推板。
[0010]优选的，所述底板的顶部边缘位置固定连接有支撑板，所述支撑板的侧面固定连接有暗箱，所述暗箱位于所述承重板的上方。
[0011]优选的，所述放置框的底部与所述承重板之间的距离与所述推板的厚度相适配，所述推板为橡胶块设置。
[0012]综上所述，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术中，电机转动通过旋转杆带动旋转块偏转，旋转块通过旋转板带动放置框和晶圆发生偏转，挡块将晶圆挡住，放置框继续偏转，晶圆滑落至承重板上，根据晶圆是否符合标准，来控制对应的电推杆带动定位板和推板运动，将晶圆推至对应的收集框中。
[0014]2、本装置中，放置框的底部与承重板之间的距离与推板的厚度相适配，推板为橡胶块设置，避免推板对晶圆造成损伤。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术的第一视角轴测结构示意图；
[0017]图2为本技术的第二视角轴测结构示意图；
[0018]图3为本技术放置框的结构示意图；
[0019]图4为本技术图1的A处结构示意图。
[0020]图中：1、底板；2、支撑板；3、暗箱；4、固定板；5、电推杆；6、定位板；7、推板；8、承重板；9、旋转板；10、旋转块；11、旋转杆；12、电机；13、电动推杆；14、固定架；15、放置框；16、槽口；17、限位板；18、挡块；19、连通槽。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]参考图1
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4所示的一种晶圆切割切口检测装置，包括底板1和电机12，底板1的顶部与电机12固定连接，底板1的顶部固定连接有电动推杆13，电动推杆13远离底板1的一端固定连接有承重板8，电机12的主轴末端固定连接有旋转杆11，旋转杆11的外侧固定连接有旋转块10，旋转块10的外侧设置有放置组件；所以放置组件包括有与旋转块10外侧固定连接的旋转板9，旋转板9的侧面固定连接有放置框15，放置框15的两侧均开设有连通槽19，承重板8的顶部固定连接有固定架14，固定架14的外侧固定连接有挡块18，挡块18的外侧呈弧面
设置，放置框15的外侧开设有一对与挡块18相适配的槽口16，将需要检测的晶圆放置在放置框15内，一对限位板17对晶圆起支撑作用，启动电机12，电机12转动通过旋转杆11带动旋转块10偏转，旋转块10通过旋转板9带动放置框15和晶圆发生偏转，挡块18将晶圆挡住，放置框15继续偏转，晶圆滑落至承重板8上。
[0024]参考图1
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4，放置框15的内壁两侧均固定连接有限位板17，一对限位板17呈对称设置，底板1的顶部固定连接有一对呈对称设置的固定板4，一对固定板4的侧面均固定连接有电推杆5，一对电推杆5的一端均固定连接有定位板6，一对定位板6的外侧均固定连接有推板7，控制电动推杆13恢复原位，若晶圆符合标准，控制靠近固定架14的电推杆5运动，电推杆5通过定位板6带动推板7运动，将晶圆推至对应的收集框中，若晶圆不符合标准，控制远离固定架14的电推杆5运动，电推杆5通过定位板6带动推板7运动，将晶圆推至另一个对应的收集框中，底板1的顶部边缘位置固定连接有支撑板2，支撑板2的侧面固定连接有暗箱3，暗箱3位于承重板8的上方，放置框15的底部与承重板8之间的距离与推板7的厚度相适配，推板7为橡胶块设置，避免推板7对晶圆造成损伤。
[0025]本技术工作原理：将需要检测的晶圆放置在放置框15内，一对限位板17对晶圆起支撑作用，启动电机12，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割切口检测装置，其特征在于：包括底板(1)和电机(12)，所述底板(1)的顶部与所述电机(12)固定连接，所述底板(1)的顶部固定连接有电动推杆(13)，所述电动推杆(13)远离所述底板(1)的一端固定连接有承重板(8)，所述电机(12)的主轴末端固定连接有旋转杆(11)，所述旋转杆(11)的外侧固定连接有旋转块(10)，所述旋转块(10)的外侧设置有放置组件；所以放置组件包括有与所述旋转块(10)外侧固定连接的旋转板(9)，所述旋转板(9)的侧面固定连接有放置框(15)，所述放置框(15)的两侧均开设有连通槽(19)，所述承重板(8)的顶部固定连接有固定架(14)，所述固定架(14)的外侧固定连接有挡块(18)，所述挡块(18)的外侧呈弧面设置，所述放置框(15)的外侧开设有一对与所述挡块(18)相适配的槽口(16)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割切口检测装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷泽安，殷泽华，殷志鹏，
申请(专利权)人：苏州译品芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：