一种基于数字孪生的半导体加工车间气体排放检测方法和系统技术方案

本发明专利技术公开了一种基于数字孪生的半导体加工车间气体排放检测方法和系统，包括：在半导体加工车间中每个需要排放废气的工序排放的废气时对有毒物质进行吸附，并对吸附后的废气进行单独采集；对S1所采集到的气体分别进行流量监测以及成分检测，对设备进行检测，分析问题所在；将整体设备制成数字孪生系统，对设备的参数以及各项工序进行实时监控以及调整；工作人员根据S1

【技术实现步骤摘要】
一种基于数字孪生的半导体加工车间气体排放检测方法和系统


[0001]本专利技术涉及一种半导体加工领域，尤其涉及一种基于数字孪生的半导体加工车间气体排放检测方法和系统。

技术介绍

[0002]半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料，从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。在半导体加工车间中由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。
[0003]但是现有技术中，在对半导体进行加工时会产生大量废弃，该废气含有有毒气体，需要经过复杂的处理才能将废气排出，增加了工序的复杂程度，且由于半导体加工工序繁杂，如若出现问题需要注意排查耗时较长。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于数字孪生的半导体加工车间气体排放检测方法，包括：其特征在于，S1:在半导体加工车间中每个需要排放废气的工序排放的废气时对有毒物质进行吸附，并对吸附后的废气进行单独采集；S2:对S1所采集到的气体分别进行流量监测以及成分检测，对设备进行检测，分析问题所在；S3:将整体设备制成数字孪生系统，对设备的参数以及各项工序进行实时监控以及调整；S4:工作人员根据S1
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S3步骤中所分析出的问题逐一作出调整，重复S1
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S2的步骤，直至调试至最适当的参数。2.根据权利要求1所述的一种基于数字孪生的半导体加工车间气体排放检测方法，其特征在于：在S1中所述有毒物质在不同工序中物质所含的有毒物质也不相同。3.根据权利要求1所述的一种基于数字孪生的半导体加工车间气体排放检测方法，其特征在于：在所述S2中的流量监测中根据去除有毒物质后的正常废气排放标准流量进行对比，以此判断当时流量排放的多与少，以此对吸附件或者密封性进行判断问题所在。4.根据权利要求1所述的一种基于数字孪生的半导体加工车间气体排放检测方法，其特征在于：在所述S2中所述成分检测根据正常废气排放标准所含物质含量分别进行检测，以此工序各项参数进行判断问题所在。5.根据权利要求3所述的一种基于数字孪生的半导体加工车间气体排放检测方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：林国义，
申请(专利权)人：苏州紫轼云旸智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：