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本发明公开了一种基于数字孪生的半导体加工车间气体排放检测方法和系统，包括：在半导体加工车间中每个需要排放废气的工序排放的废气时对有毒物质进行吸附，并对吸附后的废气进行单独采集；对S1所采集到的气体分别进行流量监测以及成分检测，对设备进行检测...
该专利属于苏州紫轼云旸智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州紫轼云旸智能科技有限公司授权不得商用。

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